ברוכים הבאים צו גואַנגדאָנג זשענהואַ טעכנאָלאָגיע קאָו, לטד.
single_banner

הקדמה פון וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג טעכנאָלאָגיע

אַרטיקל מקור: זשענהואַ וואַקוום
לייענען: 10
פֿאַרעפֿנטלעכט: 22-10-28

פּרינציפּ פון וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג

1, ויסריכט און גשמיות פּראָצעס פון וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג
די וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג ויסריכט איז דער הויפּט קאַמפּאָוזד פון וואַקוום קאַמער און יוואַקיאַוויישאַן סיסטעם.ין די וואַקוום קאַמער, עס זענען יוואַפּעריישאַן מקור (ד"ה יוואַפּעריישאַן כיטער), סאַבסטרייט און סאַבסטרייט ראַם, סאַבסטרייט כיטער, ויסמאַטערן סיסטעם, אאז"ו ו.
די קאָוטינג מאַטעריאַל איז געשטעלט אין די יוואַפּעריישאַן מקור פון די וואַקוום קאַמער, און אונטער הויך וואַקוום טנאָים, עס איז העאַטעד דורך די יוואַפּעריישאַן מקור צו יוואַפּערייט.ווען די דורכשניטלעך פריי קייט פון די פארע מאַלאַקיולז איז גרעסער ווי די לינעאַר גרייס פון די וואַקוום קאַמער, נאָך די אַטאָמס און מאַלאַקיולז פון די פילם פארע אנטרונען פון די ייבערפלאַך פון די יוואַפּעריישאַן מקור, זענען ראַרעלי ימפּידיד דורך די צונויפשטויס פון אנדערע מאַלאַקיולז אָדער אַטאָמס, און גלייַך דערגרייכן די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט צו זיין קאָוטאַד.רעכט צו דער נידעריק טעמפּעראַטור פון די סאַבסטרייט, די פילם פארע פּאַרטיקאַלז קאַנדענס אויף עס און פאָרעם אַ פילם.
אין סדר צו פֿאַרבעסערן די אַדכיזשאַן פון יוואַפּעריישאַן מאַלאַקיולז און סאַבסטרייט, די סאַבסטרייט קענען זיין אַקטיווייטיד דורך געהעריק באַהיצונג אָדער יאָן רייניקונג.וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג גייט דורך די פאלגענדע גשמיות פּראַסעסאַז פון מאַטעריאַל יוואַפּעריישאַן, טראַנספּערטיישאַן צו דעפּאַזישאַן אין אַ פילם.
(1) ניצן פאַרשידן וועגן צו בייַטן אנדערע פארמען פון ענערגיע אין טערמאַל ענערגיע, די פילם מאַטעריאַל איז העאַטעד צו יוואַפּערייט אָדער סאַבלימאַטע אין גאַסאַס פּאַרטיקאַלז (אַטאָמס, מאַלאַקיולז אָדער אַטאָמישע קלאַסטערז) מיט אַ זיכער סומע פון ​​ענערגיע (0.1 צו 0.3 eV).
(2) גאַזעאַס פּאַרטיקאַלז לאָזן די ייבערפלאַך פון דעם פילם און זענען טראַנספּאָרטאַד צו די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט מיט אַ זיכער גיכקייַט פון באַוועגונג, יסענשאַלי אָן צונויפשטויס, אין אַ גלייַך שורה.
(3) די גאַסאַז פון פּאַרטיקאַלז ריטשינג די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט קאָואַלעסס און קערן, און דעמאָלט וואַקסן אין אַ האַרט-פאַסע פילם.
(4) ריאָרגאַנאַזיישאַן אָדער כעמישער באַנדינג פון די אַטאָמס וואָס מאַכן דעם פילם.

הקדמה פון וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג טעכנאָלאָגיע

2、 יוואַפּעריישאַן באַהיצונג

(1) קעגנשטעל באַהיצונג יוואַפּעריישאַן
קעגנשטעל באַהיצונג יוואַפּעריישאַן איז די סימפּלאַסט און מערסט קאַמאַנלי געוויינט באַהיצונג אופֿן, בכלל אָנווענדלעך צו קאָוטינג מאַטעריאַלס מיט מעלטינג פונט ונטער 1500 ℃, הויך מעלטינג פונט מעטאַלס ​​אין דראָט אָדער בויגן פאָרעם (וו, מאָ, טי, טאַ, באָראָן ניטרידע, אאז"ו ו) זענען יוזשאַוואַלי געמאכט אין אַ פּאַסיק פאָרעם פון יוואַפּעריישאַן מקור, לאָודיד מיט יוואַפּעריישאַן מאַטעריאַלס, דורך די דזשאָולע היץ פון עלעקטריק קראַנט צו צעשמעלצן, יוואַפּערייט אָדער סאַבלימאַט די פּלייטינג מאַטעריאַל, די פאָרעם פון יוואַפּעריישאַן מקור כולל דער הויפּט מאַלטי-שטריק ספּיראַליש, ו-שייפּט, סינוס כוואַליע. , דין טעלער, שיפל, שישקע קאָרב, אאז"ו ו. אין דער זעלביקער צייַט, דער אופֿן ריקווייערז די יוואַפּעריישאַן מקור מאַטעריאַל צו האָבן הויך מעלטינג פונט, נידעריק זעטיקונג פארע דרוק, סטאַביל כעמישער פּראָפּערטיעס, נישט האָבן כעמיש אָפּרוף מיט די קאָוטינג מאַטעריאַל אין הויך טעמפּעראַטור, גוט היץ קעגנשטעל, קליין ענדערונג אין מאַכט געדיכטקייַט, אאז"ו ו מעטאַל אַקסיידז (אַזאַ ווי A202, B0) און אנדערע מאַטעריאַלס פֿאַר ומדירעקט באַהיצונג צו יוואַפּערייט.
קעגנשטעל באַהיצונג יוואַפּעריישאַן קאָוטינג האט לימיטיישאַנז: ראַפראַקטערי מעטאַלס ​​האָבן נידעריק פארע דרוק, וואָס איז שווער צו מאַכן דין פילם;עטלעכע עלעמענטן זענען גרינג צו פאָרעם אַ צומיש מיט די באַהיצונג דראָט;עס איז נישט גרינג צו באַקומען אַ מונדיר זאַץ פון די צומיש פילם.ווייַל פון די פּשוט סטרוקטור, נידעריק פּרייַז און גרינג אָפּעראַציע פון ​​קעגנשטעל באַהיצונג יוואַפּעריישאַן אופֿן, עס איז אַ זייער פּראָסט אַפּלאַקיישאַן פון יוואַפּעריישאַן אופֿן.

(2) עלעקטראָן שטראַל באַהיצונג יוואַפּעריישאַן
עלעקטראָן שטראַל יוואַפּעריישאַן איז אַ מעטאָד פון יוואַפּעריישאַן פון די קאָוטינג מאַטעריאַל דורך באָמבאַרדירן עס מיט אַ הויך-ענערגיע געדיכטקייַט עלעקטראָן שטראַל דורך שטעלן עס אין אַ וואַסער-קולד קופּער קרוסאַבאַל.די יוואַפּעריישאַן מקור באשטייט פון אַ עלעקטראָן ימישאַן מקור, אַן עלעקטראָן אַקסעלעריישאַן מאַכט מקור, אַ קרוסאַבאַל (געווענליך אַ קופּער קרוסאַבאַל), אַ מאַגנעטיק פעלד שפּול, און אַ קאָאָלינג וואַסער שטעלן, אאז"ו ו. אין דעם מיטל, די העאַטעד מאַטעריאַל איז געשטעלט אין אַ וואַסער -אויסגעקוילטע קרייז, און דער עלעקטראָן שטראַל באָמבאַרדירט ​​בלויז אַ זייער קליין טייל פון דעם מאַטעריאַל, בשעת רובֿ פון די רוען מאַטעריאַל בלייבט בייַ אַ זייער נידעריק טעמפּעראַטור אונטער די קאָאָלינג ווירקונג פון די קרוסיבלע, וואָס קענען זיין געקוקט ווי די באָמבאַרדעד טייל פון די קרוסיבלע.אזוי, דער מעטאָד פון עלעקטראָן שטראַל באַהיצונג פֿאַר יוואַפּעריישאַן קען ויסמיידן קאַנטאַמאַניישאַן צווישן די קאָוטינג מאַטעריאַל און די יוואַפּעריישאַן מקור מאַטעריאַל.
די סטרוקטור פון די עלעקטראָן שטראַל יוואַפּעריישאַן מקור קענען זיין צעטיילט אין דרייַ טייפּס: גלייַך גאַנז (באָולעס גאַנז), רינג גאַנז (עלעקטריקאַל דיפלעקטיד) און E- גאַנז (מאַגנעטיקלי דיפלעקטיד).איינער אָדער מער קרוסיבלעס קענען זיין געשטעלט אין אַ יוואַפּעריישאַן מעכירעס, וואָס קענען יוואַפּערייט און אַוועקלייגן פילע פאַרשידענע סאַבסטאַנסיז סיימאַלטייניאַסלי אָדער סעפּעראַטלי.

עלעקטראָן שטראַל יוואַפּעריישאַן קוואלן האָבן די פאלגענדע אַדוואַנטידזשיז.
① די הויך שטראַל געדיכטקייַט פון די עלעקטראָן שטראַל באָמבאַרדמענט יוואַפּעריישאַן מקור קענען באַקומען אַ פיל גרעסער ענערגיע געדיכטקייַט ווי די קעגנשטעל באַהיצונג מקור, וואָס קענען יוואַפּערייט הויך מעלטינג פונט מאַטעריאַלס אַזאַ ווי וו, מאָ, אַל2אָ3, עטק.
②די קאָוטינג מאַטעריאַל איז געשטעלט אין אַ וואַסער-קולד קופּער קרוסאַבאַל, וואָס קענען ויסמיידן די יוואַפּעריישאַן פון די יוואַפּעריישאַן מקור מאַטעריאַל און דער אָפּרוף צווישן זיי.
③ היץ קענען זיין מוסיף גלייַך צו די ייבערפלאַך פון די קאָוטינג מאַטעריאַל, וואָס מאכט די טערמאַל עפעקטיווקייַט הויך און די אָנווער פון היץ קאַנדאַקשאַן און היץ ראַדיאַציע נידעריק.
די כיסאָרן פון די עלעקטראָן שטראַל באַהיצונג יוואַפּעריישאַן אופֿן איז אַז די ערשטיק עלעקטראָנס פון די עלעקטראָן ביקס און די צווייטיק עלעקטראָנס פון די ייבערפלאַך פון די קאָוטינג מאַטעריאַל ייאַנייז די יוואַפּערייטינג אַטאָמס און ריזידזשואַל גאַז מאַלאַקיולז, וואָס אַפעקץ די קוואַליטעט פון די פילם מאל.

(3) הויך אָפטקייַט ינדאַקשאַן באַהיצונג יוואַפּעריישאַן
הויך-אָפטקייַט ינדאַקשאַן באַהיצונג יוואַפּעריישאַן איז צו שטעלן די קרוסאַבאַל מיט קאָוטינג מאַטעריאַל אין דעם צענטער פון די הויך-אָפטקייַט ספּיראַליש שפּול, אַזוי אַז די קאָוטינג מאַטעריאַל דזשענערייץ שטאַרק עדי קראַנט און היסטערעסיס ווירקונג אונטער די ינדאַקשאַן פון הויך-אָפטקייַט ילעקטראָומאַגנעטיק פעלד, וואָס ז די פילם שיכטע צו היץ אַרויף ביז עס וואַפּאָריזיז און יוואַפּערייץ.די יוואַפּעריישאַן מקור בכלל באשטייט פון אַ וואַסער-קולד הויך-אָפטקייַט שפּול און אַ גראַפייט אָדער סעראַמיק (מאַגניזיאַם אַקסייד, אַלומינום אַקסייד, באָראַן אַקסייד, אאז"ו ו) קרוסאַבאַל.די הויך אָפטקייַט מאַכט צושטעלן ניצט אַ אָפטקייַט פון צען טויזנט צו עטלעכע הונדערט טויזנט הז, די אַרייַנשרייַב מאַכט איז עטלעכע צו עטלעכע הונדערט קילאוואט, די קלענערער די באַנד פון די מעמבראַנע מאַטעריאַל, די העכער די ינדאַקשאַן אָפטקייַט.ינדאַקשאַן שפּול אָפטקייַט איז יוזשאַוואַלי געמאכט פון וואַסער-קולד קופּער רער.
די כיסאָרן פון הויך-אָפטקייַט ינדאַקשאַן באַהיצונג יוואַפּעריישאַן אופֿן איז אַז עס איז נישט גרינג צו פייַן סטרויערן די אַרייַנשרייַב מאַכט, עס האט די פאלגענדע אַדוואַנטידזשיז.
① הויך יוואַפּעריישאַן קורס
② די טעמפּעראַטור פון די יוואַפּעריישאַן מקור איז מונדיר און סטאַביל, אַזוי עס איז נישט גרינג צו פּראָדוצירן די דערשיינונג פון קאָוטינג דראַפּלאַץ שפּריצן, און עס קענען אויך ויסמיידן די דערשיינונג פון פּינכאָולז אויף די דאַפּאַזיטיד פילם.
③ די יוואַפּעריישאַן מקור איז לאָודיד אַמאָל, און די טעמפּעראַטור איז לעפיערעך גרינג און פּשוט צו קאָנטראָלירן.


פּאָסטן צייט: 28-2022 אקטאבער