Pasiuna sa vacuum evaporation coating teknolohiya

2, pagpainit sa evaporation

(1) Resistance pagpainit evaporation
Ang pag-alis sa pagpainit sa resistensya mao ang pinakasimple ug kasagarang gigamit nga pamaagi sa pagpainit, kasagaran magamit sa mga materyales nga adunay sapaw nga adunay lebel sa pagtunaw ubos sa 1500 ℃, taas nga punto sa pagkatunaw nga mga metal sa wire o sheet nga porma (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, ug uban pa) kasagaran gihimo ngadto sa usa ka angay nga porma sa evaporation tinubdan, puno sa evaporation materyales, pinaagi sa Joule kainit sa electric kasamtangan nga matunaw, evaporate o sublimate sa plating materyal, ang porma sa evaporation tinubdan nag-una naglakip sa multi-strand spiral, U-shaped, sine wave , manipis nga plato, sakayan, cone basket, ug uban pa Sa samang higayon, ang pamaagi nagkinahanglan sa evaporation tinubdan nga materyal nga adunay taas nga pagtunaw punto, ubos nga saturation alisngaw pressure, lig-on nga kemikal nga mga kabtangan, walay kemikal nga reaksyon uban sa taklap nga materyal sa taas nga temperatura, maayo nga pagsukol sa kainit, gamay nga pagbag-o sa densidad sa gahum, ug uban pa. Nagsagop kini sa taas nga sulud pinaagi sa gigikanan sa evaporation aron mapainit ug maalisngaw ang materyal sa pelikula pinaagi sa direkta nga pagpainit, o ibutang ang materyal sa pelikula sa tunawan nga gama sa graphite ug pipila ka taas nga resistensya sa temperatura metal oxides (sama sa A202, B0) ug uban pang mga materyales alang sa dili direkta nga pagpainit aron moalisngaw.
Ang pagbatok sa pagpainit sa evaporation coating adunay mga limitasyon: ang mga refractory nga metal adunay ubos nga presyur sa alisngaw, nga lisud sa paghimo sa nipis nga pelikula;ang pipila ka mga elemento dali nga maporma nga usa ka haluang metal nga adunay wire sa pagpainit;dili sayon ​​ang pagkuha og uniporme nga komposisyon sa alloy film.Tungod sa yano nga gambalay, ubos nga presyo ug sayon ​​nga operasyon sa pagsukol pagpainit evaporation pamaagi, kini mao ang usa ka kaayo nga komon nga aplikasyon sa evaporation pamaagi.

(2) Evaporation sa pagpainit sa electron beam
Ang electron beam evaporation usa ka paagi sa pag-evaporate sa coating material pinaagi sa pagpamomba niini gamit ang high-energy density electron beam pinaagi sa pagbutang niini sa water-cooled copper crucible.Ang evaporation source naglangkob sa usa ka electron emission source, usa ka electron acceleration power source, usa ka crucible (kasagaran usa ka copper crucible), usa ka magnetic field coil, ug usa ka cooling water set, ug uban pa. Niini nga device, ang gipainit nga materyal gibutang sa usa ka tubig -cooled crucible, ug ang electron beam bombard lamang sa usa ka gamay kaayo nga bahin sa materyal, samtang ang kadaghanan sa nahabilin nga materyal nagpabilin sa usa ka ubos kaayo nga temperatura ubos sa makapabugnaw nga epekto sa crucible, nga mahimong giisip nga bombarded nga bahin sa crucible.Busa, ang pamaagi sa pagpainit sa electron beam para sa evaporation makalikay sa kontaminasyon tali sa coating material ug sa evaporation source material.
Ang istruktura sa electron beam evaporation source mahimong bahinon ngadto sa tulo ka matang: straight guns (Boules guns), ring guns (electrically deflected) ug e-guns (magnetically deflected) .Ang usa o daghan pang mga crucibles mahimong ibutang sa usa ka pasilidad sa evaporation, nga mahimong moalisngaw ug magdeposito sa daghang lain-laing mga butang nga dungan o gilain.

Ang mga tinubdan sa evaporation sa electron beam adunay mosunod nga mga bentaha.
①Ang high beam density sa electron beam bombardment evaporation source mahimong makakuha og mas dako nga energy density kay sa resistance heating source, nga makaalisngaw sa taas nga melting point nga mga materyales, sama sa W, Mo, Al2O3, etc.
②Ang materyal nga sapaw gibutang sa usa ka tubig-cooled tumbaga crucible, nga makalikay sa evaporation sa evaporation tinubdan materyal, ug ang reaksyon sa taliwala kanila.
③Ang kainit mahimong idugang direkta ngadto sa nawong sa coating nga materyal, nga naghimo sa thermal efficiency nga taas ug ang pagkawala sa heat conduction ug heat radiation ubos.
Ang disbentaha sa electron beam pagpainit paagi evaporation mao nga ang mga nag-unang electron gikan sa electron gun ug ang secondary electron gikan sa nawong sa sapaw nga materyal nga ionize sa evaporating atomo ug residual gas molekula, nga makaapekto sa kalidad sa pelikula usahay.

(3) Taas nga frequency induction heating evaporation
Ang high-frequency induction heating evaporation mao ang pagbutang sa crucible nga adunay coating material sa sentro sa high-frequency spiral coil, aron ang coating material makamugna og lig-on nga eddy current ug hysteresis nga epekto ubos sa induction sa high-frequency electromagnetic field, nga maoy hinungdan sa film layer nga magpainit hangtud nga kini moalisngaw ug moalisngaw.Ang tinubdan sa evaporation kasagaran naglangkob sa usa ka gipabugnaw sa tubig nga high-frequency coil ug usa ka graphite o seramik (magnesium oxide, aluminum oxide, boron oxide, ug uban pa) nga crucible.Ang taas nga frequency nga suplay sa kuryente naggamit sa usa ka frequency nga napulo ka libo ngadto sa pipila ka gatus ka libo nga Hz, ang input nga gahum mao ang pipila ngadto sa pipila ka gatus ka kilowatts, ang mas gamay nga gidaghanon sa materyal nga lamad, mas taas ang induction frequency.Ang frequency sa induction coil sagad gihimo sa tubo nga tumbaga nga gipabugnaw sa tubig.
Ang disbentaha sa high-frequency induction heating evaporation method mao nga dili sayon ​​ang pag-adjust sa input power, kini adunay mosunod nga mga bentaha.
①Taas nga evaporation rate
②Ang temperatura sa tinubdan sa evaporation uniporme ug lig-on, mao nga dili sayon ​​​​ang paghimo sa panghitabo sa coating droplets splash, ug kini usab makalikay sa panghitabo sa mga pinhole sa gibutang nga pelikula.
③Ang tinubdan sa pag-alisngaw gikarga kausa, ug ang temperatura medyo sayon ​​ug yano nga kontrolon.