Prionnsabal còmhdach falmhachaidh falamh
1 、 Uidheam agus pròiseas corporra còmhdach falmhachaidh falamh
Tha an uidheamachd còmhdach falmhachaidh falamh sa mhòr-chuid air a dhèanamh suas de sheòmar falamh agus siostam falmhachaidh.Taobh a-staigh an t-seòmar falamh, tha stòr falmhachaidh (ie teasadair falmhachaidh), frèam substrate agus substrate, teasadair substrate, siostam sgaoilidh, msaa.
Tha an stuth còmhdaich air a chuir ann an stòr falmhachaidh an t-seòmar falamh, agus fo chumhachan falamh àrd, tha e air a theasachadh leis an stòr falmhachaidh gus falmhachadh.Nuair a tha an raon cuibheasach an-asgaidh de na moileciuilean bhalbhaichean nas motha na meud sreathach an t-seòmair falamh, às deidh dha dadaman agus moileciuilean an deatach film teicheadh bho uachdar an tobair falmhachaidh, is ann ainneamh a bhios iad a’ cur bacadh air bualadh mholacilean no dadaman eile, agus ruig gu dìreach uachdar an t-substrate a bhith air a chòmhdach.Air sgàth teòthachd ìosal an t-substrate, bidh na gràinean bhalbhaichean film a ’teannachadh air agus a’ cruthachadh film.
Gus piseach a thoirt air gèilleadh moileciuilean falmhachaidh agus substrate, faodar an t-substrate a chuir an gnìomh le teasachadh ceart no glanadh ian.Bidh còmhdach falmhachaidh falamh a’ dol tro na pròiseasan fiosaigeach a leanas bho fhuadach stuthan, còmhdhail gu tasgadh ann am film.
(1) A’ cleachdadh diofar dhòighean air cruthan eile de lùth a thionndadh gu lùth teirmeach, tha an stuth film air a theasachadh gus falmhachadh no sublimate a-steach do ghràineanan gasach (ataman, moileciuilean no cruinneachaidhean atamach) le tomhas sònraichte de lùth (0.1 gu 0.3 eV).
(2) Bidh mìrean gasach a’ fàgail uachdar an fhilm agus gan giùlan gu uachdar an t-substrate aig astar gluasad sònraichte, gu bunaiteach gun a bhith a’ bualadh, ann an loidhne dhìreach.
(3) Bidh na mìrean gasach a tha a’ ruighinn uachdar an t-substrate a ’tighinn còmhla agus a’ nucleate, agus an uairsin a ’fàs gu bhith na fhilm ìre cruaidh.
(4) Ath-eagrachadh no ceangal ceimigeach de na dadaman a tha a’ dèanamh suas am film.
2, teasachadh evaporation
(1) Resistance teas evaporation
Is e falmhachadh teasachaidh an aghaidh an dòigh teasachaidh as sìmplidh agus as cumanta, a tha sa chumantas iomchaidh airson stuthan còmhdaich le puing leaghaidh fo 1500 ℃, meatailtean puing leaghaidh àrd ann an cruth uèir no duilleag (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, msaa) mar as trice air a dhèanamh ann an cumadh iomchaidh de stòr falmhachaidh, air a luchdachadh le stuthan falmhachaidh, tro theas Joule de shruth dealain gus an stuth plating a leaghadh, falmhachadh no sublimate, tha cumadh stòr falmhachaidh sa mhòr-chuid a’ toirt a-steach shnìomhanach ioma-snàithleach, cumadh U, tonn sine , truinnsear tana, bàta, basgaid còn, msaa. Aig an aon àm, tha an dòigh ag iarraidh gum bi puing leaghaidh àrd, cuideam sùghaidh sùghaidh ìosal, feartan ceimigeach seasmhach, gun ath-bhualadh ceimigeach leis an stuth còmhdaich aig teòthachd àrd, aig an aon àm. deagh neart teas, atharrachadh beag ann an dùmhlachd cumhachd, msaa Bidh e a’ gabhail ri sruth àrd tron stòr falmhachaidh gus toirt air an stuth film a theasachadh agus a ghlanadh le teasachadh dìreach, no an stuth film a chuir a-steach don bhreug air a dhèanamh de ghrafait agus cuid de dh ’àrd-teòthachd resistant ocsaidean meatailt (leithid A202, B0) agus stuthan eile airson teasachadh neo-dhìreach gus falmhachadh.
Tha crìochan aig còmhdach falmhachaidh teasachaidh an aghaidh: tha cuideam vapor ìosal aig meatailtean teasairginn, a tha duilich film tana a dhèanamh;tha cuid de na h-eileamaidean furasta a bhith a 'cruthachadh alloy leis an uèir teasachaidh;chan eil e furasta co-dhèanamh èideadh den fhilm alloy fhaighinn.Air sgàth structar sìmplidh, prìs ìosal agus obrachadh furasta an aghaidh modh falmhachaidh teasachaidh, tha e gu math cumanta a chleachdadh evaporation modh.
(2) Gluasad teasachaidh giùlan dealanach
Tha falmhachadh giùlan dealanach mar dhòigh air an stuth còmhdaich a ghlanadh le bhith ga bhomadh le giùlan dealanach dùmhlachd àrd-lùth le bhith ga chuir ann am preas copair air a fhuarachadh le uisge.Tha an stòr falmhachaidh a’ toirt a-steach stòr sgaoilidhean dealanach, stòr cumhachd luathachadh dealanach, ceusadh (crucible copair mar as trice), coil raon magnetach, agus seata uisge fuarachaidh, msaa. Anns an inneal seo, thèid an stuth teasachaidh a chuir ann an uisge. - fuarachadh, agus chan eil an giùlan dealanach a’ spreadhadh ach pàirt glè bheag den stuth, fhad ‘s a tha a’ mhòr-chuid den stuth a tha air fhàgail fhathast aig teòthachd gu math ìosal fo bhuaidh fuarachaidh a ’bhrosnachaidh, a dh’ fhaodar a mheas mar a ’chuibhreann bombarded den bhreug.Mar sin, dh’ fhaodadh an dòigh air teasachadh giùlan dealanach airson falmhachadh truailleadh a sheachnadh eadar an stuth còmhdaich agus an stuth stòr falmhachaidh.
Faodar structar stòr falmhachaidh giùlan dealanach a roinn ann an trì seòrsaichean: gunnaichean dìreach (gunnaichean Boules), gunnaichean fàinne (air an dìon le dealan) agus gunnaichean-d (air an slugadh gu magnetach).Faodar aon no barrachd bhreusgain a chuir ann an goireas falmhachaidh, a dh’ fhaodas mòran diofar stuthan a ghlanadh agus a thasgadh aig an aon àm no leotha fhèin.
Tha na buannachdan a leanas aig stòran falmhachaidh giùlan dealanach.
① Faodaidh dùmhlachd beam àrd an stòr falmhachaidh bomadh giùlan dealanach dùmhlachd lùth fada nas motha fhaighinn na an stòr teasachaidh an aghaidh, a dh’ fhaodas stuthan puing leaghaidh àrd a ghluasad, leithid W, Mo, Al2O3, msaa.
② Tha an stuth còmhdaich air a chuir ann am breabadair copair air a fhuarachadh le uisge, a dh ’fhaodas falmhachadh an stuth stòr falmhachaidh a sheachnadh, agus an ath-bhualadh eatorra.
③ Faodar teas a chuir gu dìreach ri uachdar an stuth còmhdaich, a nì an èifeachdas teirmeach àrd agus call giùlan teas agus rèididheachd teas ìosal.
Is e ana-cothrom an dòigh falmhachaidh teasachaidh giùlan dealanach gum bi na prìomh eleactronan bhon ghunna dealanach agus na dealanan àrd-sgoile bho uachdar an stuth còmhdaich a’ ionachadh na dadaman falmhachaidh agus na moileciuilean gas fuigheall, a bheir buaidh air càileachd an fhilm uaireannan.
(3) Gluasad teasachaidh inntrigidh tricead àrd
Is e falmhachadh teasachaidh inntrigidh àrd-tricead an stuth còmhdaich a chuir ann am meadhan a’ choil shnìomhanach àrd-tricead, gus am bi an stuth còmhdaich a ’gineadh sruth làidir eddy agus buaidh hysteresis fo inntrigeadh raon electromagnetic àrd-tricead, a dh’ adhbhraicheas an còmhdach film airson teasachadh gus am bi e a 'falamhachadh agus a' falmhachadh.Mar as trice tha an stòr falmhachaidh a’ toirt a-steach coil àrd-tricead air a fhuarachadh le uisge agus grafait no ceirmeag (magnesium oxide, alùmanum ogsaid, boron oxide, msaa).Bidh an solar cumhachd àrd-tricead a’ cleachdadh tricead de dheich mìle gu grunn cheudan mìle Hz, tha an cumhachd cuir a-steach grunn gu grunn cheudan kilowatts, mar as lugha meud an stuth membran, is ann as àirde am tricead inntrigidh.Mar as trice bidh tricead coil inntrigidh air a dhèanamh de phìob copair air a fhuarachadh le uisge.
Is e an ana-cothrom a th’ ann an dòigh falmhachaidh teasachaidh inntrigidh àrd-tricead nach eil e furasta an cumhachd cuir a-steach atharrachadh gu ceart, tha na buannachdan a leanas aige.
① Ìre falachaidh àrd
② Tha teòthachd an stòr falmhachaidh èideadh agus seasmhach, agus mar sin chan eil e furasta a bhith a 'toirt a-mach an t-iongnadh a th' ann a bhith a 'frasadh boinneagan còmhdach, agus faodaidh e cuideachd a bhith a' seachnadh coltas pinholes air an fhilm a tha air a thasgadh.
③ Tha an stòr falmhachaidh air a luchdachadh aon uair, agus tha an teòthachd an ìre mhath furasta agus sìmplidh smachd a chumail air.
Ùine puist: Dàmhair-28-2022