வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு கொள்கை
1, வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சுக்கான உபகரணங்கள் மற்றும் உடல் செயல்முறை
வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு கருவி முக்கியமாக வெற்றிட அறை மற்றும் வெளியேற்ற அமைப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது.வெற்றிட அறைக்குள், ஆவியாதல் மூல (அதாவது ஆவியாதல் ஹீட்டர்), அடி மூலக்கூறு மற்றும் அடி மூலக்கூறு சட்டகம், அடி மூலக்கூறு ஹீட்டர், வெளியேற்ற அமைப்பு போன்றவை உள்ளன.
பூச்சு பொருள் வெற்றிட அறையின் ஆவியாதல் மூலத்தில் வைக்கப்படுகிறது, மேலும் அதிக வெற்றிட நிலைமைகளின் கீழ், அது ஆவியாகி ஆவியாதல் மூலத்தால் சூடேற்றப்படுகிறது.நீராவி மூலக்கூறுகளின் சராசரி கட்டற்ற வீச்சு வெற்றிட அறையின் நேரியல் அளவை விட பெரியதாக இருக்கும்போது, பட நீராவியின் அணுக்கள் மற்றும் மூலக்கூறுகள் ஆவியாதல் மூலத்தின் மேற்பரப்பில் இருந்து வெளியேறிய பிறகு, மற்ற மூலக்கூறுகள் அல்லது அணுக்களின் மோதலால் அரிதாகவே தடைபடும். மற்றும் பூசப்பட வேண்டிய அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை நேரடியாக அடையும்.அடி மூலக்கூறின் குறைந்த வெப்பநிலை காரணமாக, பட நீராவி துகள்கள் அதன் மீது ஒடுங்கி ஒரு படத்தை உருவாக்குகின்றன.
ஆவியாதல் மூலக்கூறுகள் மற்றும் அடி மூலக்கூறின் ஒட்டுதலை மேம்படுத்த, அடி மூலக்கூறை சரியான வெப்பமாக்கல் அல்லது அயனி சுத்தம் செய்வதன் மூலம் செயல்படுத்தலாம்.வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு, பொருள் ஆவியாதல், போக்குவரத்தில் இருந்து ஒரு படத்துக்குள் படிதல் வரை பின்வரும் இயற்பியல் செயல்முறைகள் வழியாக செல்கிறது.
(1) பிற வகையான ஆற்றலை வெப்ப ஆற்றலாக மாற்ற பல்வேறு வழிகளைப் பயன்படுத்தி, படப் பொருள் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு ஆற்றலுடன் (0.1 முதல் 0.3 eV) வாயுத் துகள்களாக (அணுக்கள், மூலக்கூறுகள் அல்லது அணுக் கொத்துகள்) ஆவியாகவோ அல்லது உச்சிமாவவோ சூடேற்றப்படுகிறது.
(2) வாயுத் துகள்கள் படத்தின் மேற்பரப்பிலிருந்து வெளியேறி, அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பிற்கு ஒரு குறிப்பிட்ட இயக்க வேகத்தில், அடிப்படையில் மோதல் இல்லாமல், ஒரு நேர் கோட்டில் கொண்டு செல்லப்படுகின்றன.
(3) அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை அடையும் வாயுத் துகள்கள் ஒன்றிணைந்து அணுக்கருவாகி, பின்னர் ஒரு திட-கட்ட படமாக வளரும்.
(4)படத்தை உருவாக்கும் அணுக்களின் மறுசீரமைப்பு அல்லது இரசாயனப் பிணைப்பு.
2, ஆவியாதல் வெப்பம்
(1) எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல்
மின்தடை வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் என்பது எளிமையான மற்றும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வெப்பமாக்கல் முறையாகும், பொதுவாக 1500℃ க்கும் குறைவான உருகுநிலை கொண்ட பூச்சுப் பொருட்களுக்குப் பொருந்தும், கம்பி அல்லது தாள் வடிவத்தில் (W, Mo, Ti, Ta, போரான் நைட்ரைடு போன்றவை) உயர் உருகுநிலை உலோகங்கள். பொதுவாக ஆவியாதல் மூலத்தின் பொருத்தமான வடிவமாக, ஆவியாதல் பொருட்களால் ஏற்றப்பட்டு, மின்னோட்டத்தின் ஜூல் வெப்பத்தின் மூலம் உருக, ஆவியாக்க அல்லது முலாம் பூசும் பொருள், ஆவியாதல் மூலத்தின் வடிவம் முக்கியமாக பல இழை சுழல், U- வடிவ, சைன் அலைகளை உள்ளடக்கியது. , மெல்லிய தட்டு, படகு, கூம்பு கூடை போன்றவை. அதே நேரத்தில், ஆவியாதல் மூலப்பொருளுக்கு அதிக உருகுநிலை, குறைந்த செறிவு நீராவி அழுத்தம், நிலையான இரசாயன பண்புகள், அதிக வெப்பநிலையில் பூச்சுப் பொருளுடன் இரசாயன எதிர்வினை இல்லாதது ஆகியவை தேவை. நல்ல வெப்ப எதிர்ப்பு, சக்தி அடர்த்தியில் சிறிய மாற்றம் போன்றவை. இது ஆவியாதல் மூலத்தின் மூலம் அதிக மின்னோட்டத்தை ஏற்று, நேரடியாக சூடாக்கி படப் பொருளை ஆவியாக்குகிறது உலோக ஆக்சைடுகள் (A202, B0 போன்றவை) மற்றும் மறைமுக வெப்பமாக்கலுக்கான பிற பொருட்கள் ஆவியாகின்றன.
எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் பூச்சு வரம்புகளைக் கொண்டுள்ளது: பயனற்ற உலோகங்கள் குறைந்த நீராவி அழுத்தத்தைக் கொண்டுள்ளன, இது மெல்லிய திரைப்படத்தை உருவாக்குவது கடினம்;சில கூறுகள் வெப்பமூட்டும் கம்பியுடன் கலவையை உருவாக்குவது எளிது;அலாய் ஃபிலிமின் சீரான கலவையைப் பெறுவது எளிதல்ல.எளிமையான கட்டமைப்பு, குறைந்த விலை மற்றும் எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் முறையின் எளிதான செயல்பாடு காரணமாக, இது ஆவியாதல் முறையின் மிகவும் பொதுவான பயன்பாடாகும்.
(2) எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல்
எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் என்பது பூச்சுப் பொருளை நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட செப்பு க்ரூசிபிளில் வைப்பதன் மூலம் அதிக ஆற்றல் அடர்த்தி கொண்ட எலக்ட்ரான் கற்றை மூலம் குண்டுவீசி ஆவியாக்கும் ஒரு முறையாகும்.ஆவியாதல் மூலமானது எலக்ட்ரான் உமிழ்வு ஆதாரம், எலக்ட்ரான் முடுக்கம் சக்தி ஆதாரம், ஒரு க்ரூசிபிள் (பொதுவாக ஒரு செப்பு க்ரூசிபிள்) , ஒரு காந்தப்புல சுருள் மற்றும் குளிரூட்டும் நீர் தொகுப்பு போன்றவை. இந்த சாதனத்தில், சூடான பொருள் தண்ணீரில் வைக்கப்படுகிறது. -குளிரூட்டப்பட்ட சிலுவை, மற்றும் எலக்ட்ரான் கற்றை பொருளின் மிகச் சிறிய பகுதியை மட்டுமே தாக்குகிறது, அதே சமயம் மீதமுள்ள பெரும்பாலான பொருட்கள் சிலுவையின் குளிரூட்டும் விளைவின் கீழ் மிகக் குறைந்த வெப்பநிலையில் இருக்கும், இது சிலுவையின் குண்டுவீச்சு பகுதியாக கருதப்படுகிறது.எனவே, எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாக்கும் முறை பூச்சு பொருள் மற்றும் ஆவியாதல் மூலப் பொருளுக்கு இடையே மாசுபடுவதைத் தவிர்க்கலாம்.
எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலத்தின் கட்டமைப்பை மூன்று வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: நேரான துப்பாக்கிகள் (பௌல்ஸ் துப்பாக்கிகள்), மோதிர துப்பாக்கிகள் (மின்சாரம் திசைதிருப்பப்பட்டவை) மற்றும் மின் துப்பாக்கிகள் (காந்தமாக திசைதிருப்பப்பட்டவை) .ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட சிலுவைகளை ஒரு ஆவியாதல் வசதியில் வைக்கலாம், இது ஒரே நேரத்தில் அல்லது தனித்தனியாக பல்வேறு பொருட்களை ஆவியாகி டெபாசிட் செய்யலாம்.
எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலங்கள் பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன.
①எலக்ட்ரான் பீம் குண்டுவீச்சு ஆவியாதல் மூலத்தின் உயர் கற்றை அடர்த்தியானது, எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் மூலத்தை விட அதிக ஆற்றல் அடர்த்தியைப் பெறலாம், இது W, Mo, Al2O3 போன்ற உயர் உருகுநிலைப் பொருட்களை ஆவியாக்குகிறது.
② பூச்சுப் பொருள் நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட செப்புக் குழலில் வைக்கப்படுகிறது, இது ஆவியாதல் மூலப்பொருளின் ஆவியாதல் மற்றும் அவற்றுக்கிடையேயான எதிர்வினை ஆகியவற்றைத் தவிர்க்கலாம்.
③பூச்சுப் பொருளின் மேற்பரப்பில் வெப்பத்தை நேரடியாகச் சேர்க்கலாம், இது வெப்பத் திறனை அதிகமாக்குகிறது மற்றும் வெப்பக் கடத்தல் மற்றும் வெப்பக் கதிர்வீச்சின் இழப்பை குறைக்கிறது.
எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் முறையின் தீமை என்னவென்றால், எலக்ட்ரான் துப்பாக்கியிலிருந்து வரும் முதன்மை எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் பூச்சுப் பொருளின் மேற்பரப்பில் இருந்து வரும் இரண்டாம் நிலை எலக்ட்ரான்கள் ஆவியாகும் அணுக்கள் மற்றும் எஞ்சிய வாயு மூலக்கூறுகளை அயனியாக்கும், இது சில நேரங்களில் படத்தின் தரத்தை பாதிக்கும்.
(3) உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல்
உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் என்பது உயர் அதிர்வெண் கொண்ட சுழல் சுருளின் மையத்தில் பூச்சுப் பொருளுடன் சிலுவையை வைப்பதாகும், இதனால் பூச்சு பொருள் வலுவான சுழல் மின்னோட்டத்தை உருவாக்குகிறது மற்றும் உயர் அதிர்வெண் மின்காந்த புலத்தின் தூண்டலின் கீழ் ஹிஸ்டெரிசிஸ் விளைவை உருவாக்குகிறது. அது ஆவியாகி ஆவியாகும் வரை வெப்பப்படுத்த பட அடுக்கு.ஆவியாதல் மூலமானது பொதுவாக நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட உயர் அதிர்வெண் சுருள் மற்றும் கிராஃபைட் அல்லது பீங்கான் (மெக்னீசியம் ஆக்சைடு, அலுமினியம் ஆக்சைடு, போரான் ஆக்சைடு போன்றவை) க்ரூசிபிள் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது.உயர் அதிர்வெண் மின்சாரம் பத்தாயிரம் முதல் பல லட்சம் ஹெர்ட்ஸ் வரையிலான அதிர்வெண்ணைப் பயன்படுத்துகிறது, உள்ளீட்டு சக்தி பல நூறு கிலோவாட்கள், சவ்வுப் பொருளின் அளவு சிறியது, தூண்டல் அதிர்வெண் அதிகமாகும்.தூண்டல் சுருள் அதிர்வெண் பொதுவாக நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட செப்புக் குழாயால் செய்யப்படுகிறது.
உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் முறையின் தீமை என்னவென்றால், உள்ளீட்டு சக்தியை நன்றாக சரிசெய்வது எளிதானது அல்ல, இது பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.
①அதிக ஆவியாதல் விகிதம்
②ஆவியாதல் மூலத்தின் வெப்பநிலை சீரானது மற்றும் நிலையானது, எனவே பூச்சு நீர்த்துளிகள் தெறிக்கும் நிகழ்வை உருவாக்குவது எளிதானது அல்ல, மேலும் இது டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத்தில் பின்ஹோல்களின் நிகழ்வைத் தவிர்க்கலாம்.
③ஆவியாதல் மூலமானது ஒருமுறை ஏற்றப்படுகிறது, மேலும் வெப்பநிலையானது ஒப்பீட்டளவில் எளிதானது மற்றும் கட்டுப்படுத்த எளிதானது.
இடுகை நேரம்: அக்டோபர்-28-2022