Ilana ti a bo igbale evaporation
1, Ẹrọ ati ilana ti ara ti ideri igbale evaporation
Àwọn ohun èlò ìbòrí ìgbóná omi jẹ́ ti yàrá ìgbóná omi àti ètò ìtújáde omi. Nínú yàrá ìgbóná omi, orísun ìgbóná omi wà (bí àpẹẹrẹ ẹ̀rọ ìgbóná omi), férémù ìgbóná omi àti férémù ìgbóná omi, ẹ̀rọ ìgbóná omi, ẹ̀rọ ìgbóná omi, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
A gbé ohun èlò ìbòrí náà sí orísun ìgbóná omi ti yàrá ìgbóná omi, àti lábẹ́ àwọn ipò ìgbóná omi gíga, orísun ìgbóná omi ni a máa ń gbóná rẹ̀ láti gbẹ. Nígbà tí ìwọ̀n àròpín àwọn mọ́líkúùlù ìgbóná omi bá tóbi ju ìwọ̀n ìlà ti yàrá ìgbóná omi lọ, lẹ́yìn tí àwọn átọ̀mù àti mọ́líkúùlù ìgbóná omi ti sá kúrò ní ojú orísun ìgbóná omi, àwọn mọ́líkúùlù tàbí átọ̀mù mìíràn kò sábà máa ń dí wọn lọ́wọ́, wọ́n sì máa ń dé ojú orí ilẹ̀ tí a fẹ́ bò. Nítorí otútù tí ó kéré sí i, àwọn èròjà ìgbóná omi náà máa ń kóra jọ sí i, wọ́n sì máa ń di fíìmù.
Láti mú kí ìsopọ̀ mọ́ àwọn mọ́líkúùlù ìtújáde àti ohun èlò ìtújáde sunwọ̀n síi, a lè mú ohun èlò ìtújáde náà ṣiṣẹ́ nípa gbígbóná tàbí ìwẹ̀nùmọ́ ion tó yẹ. Aṣọ ìtújáde ìtújáde ìtújáde ìgbóná máa ń lọ nípasẹ̀ àwọn ìlànà ti ara wọ̀nyí láti ìtújáde ohun èlò, gbígbé lọ sí ìtújáde sínú fíìmù kan.
(1) Nípa lílo onírúurú ọ̀nà láti yí àwọn irú agbára mìíràn padà sí agbára ooru, a máa ń gbóná ohun èlò fíìmù náà láti gbẹ tàbí láti yọ́ sínú àwọn èròjà gáàsì (àwọn átọ̀mù, mókúlúkùlù tàbí àwọn ìṣùpọ̀ átọ́mù) pẹ̀lú iye agbára kan (0.1 sí 0.3 eV).
(2) Àwọn èròjà gáàsì máa ń jáde kúrò lójú fíìmù náà, wọ́n sì máa ń gbé e lọ sí ojú ilẹ̀ náà ní iyàrá kan pàtó, láìsí ìkọlù, ní ìlà títọ́.
(3) Àwọn èròjà gáàsì tí ó dé ojú ilẹ̀ náà para pọ̀, wọ́n sì ń para pọ̀ di fíìmù aláwọ̀ dúdú.
(4) Àtúntò tàbí ìsopọ̀ kẹ́míkà ti àwọn átọ̀mù tí ó para pọ̀ di fíìmù náà.
2, Alapapo eefin
(1) Ìtújáde ìgbóná ooru tó lágbára
Ìgbóná gbígbóná tó rọrùn jùlọ ni ọ̀nà ìgbóná tó rọrùn jùlọ tí a sì sábà máa ń lò, tó wọ́pọ̀ fún àwọn ohun èlò ìbòrí tí ó ní ibi yíyọ́ tí kò ju 1500℃ lọ, àwọn irin tí wọ́n ní àmì yíyọ́ gíga nínú wáyà tàbí ìrísí ìwé (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) ni a sábà máa ń ṣe sí orísun yíyọ́ tó yẹ, tí a fi àwọn ohun èlò yíyọ́ kún, nípasẹ̀ ooru Joule ti agbára iná mànàmáná láti yọ́, yọ́ tàbí kí ó mú kí ohun èlò yíyọ́ náà yọ́, tí a sì fi sínú rẹ̀, ìrísí orísun yíyọ́ náà ní pàtàkì pẹ̀lú onígun púpọ̀, onígun U, ìgbì omi síne, àwo tín-ín-rín, ọkọ̀ ojú omi, apẹ̀rẹ̀ cone, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ní àkókò kan náà, ọ̀nà náà nílò kí ohun èlò yíyọ́ náà ní ibi yíyọ́ tó ga, ìfúnpá afẹ́fẹ́ tó kéré, àwọn ànímọ́ kẹ́míkà tó dúró ṣinṣin, tí kò ní ìhùwàsí kẹ́míkà pẹ̀lú ohun èlò yíyọ́ náà ní iwọ̀n otútù tó ga, ìdènà ooru tó dára, ìyípadà kékeré nínú ìwọ̀n agbára, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ó gba agbára yíyọ́ tó ga nípasẹ̀ orísun yíyọ́ láti jẹ́ kí ó gbóná kí ó sì yọ́ ohun èlò yíyọ́ náà nípa gbígbóná tààrà, tàbí kí ó fi ohun èlò yíyọ́ náà sínú ìkòkò tí a fi graphite àti àwọn ohun èlò irin tó ní agbára gíga kan ṣe (bíi A202, B0) àti àwọn ohun èlò mìíràn fún gbígbóná láìtaara láti yọ́.
Àwọ̀ ìgbóná tí ó ń gbóná pẹ̀lú agbára ìgbóná ní àwọn ààlà: àwọn irin tí ó ń gbóná ní agbára ìfúnpá afẹ́fẹ́ díẹ̀, èyí tí ó ṣòro láti ṣe fíìmù tín-ín-rín; àwọn èròjà kan rọrùn láti ṣe àwọ̀ pẹ̀lú wáyà ìgbóná; kò rọrùn láti gba àkójọpọ̀ kan náà ti fíìmù àwọ̀ náà. Nítorí ìṣètò tí ó rọrùn, owó tí ó rẹlẹ̀ àti ìṣiṣẹ́ tí ó rọrùn ti ọ̀nà ìgbóná ìgbóná ìgbóná ìgbóná, ó jẹ́ ọ̀nà ìgbóná tí ó wọ́pọ̀ gan-an.
(2) Ìtújáde gbígbóná ìgbóná ẹ̀lẹ́kítírónù
Ìtújáde ìtànṣán ìtànṣán jẹ́ ọ̀nà láti mú kí ohun èlò ìbòrí náà gbẹ nípa fífi iná electron oníwọ̀n agbára gíga bọ́m̀bù sí i nípa gbígbé e sínú iná copper crucible tí a fi omi tutù ṣe. Orísun ìtújáde náà ní orísun ìtújáde electron, orísun agbára ìfàsẹ́yìn electron, crucible (nígbà gbogbo ìtújáde bàbà), coil magnetic field, àti set omi itutu, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Nínú ẹ̀rọ yìí, a gbé ohun èlò ìgbóná náà sínú omi tí a fi omi tutù ṣe, ìtújáde electron náà sì ń fọ́ díẹ̀ lára ohun èlò náà, nígbà tí ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò tí ó kù dúró ní ìwọ̀n otútù kékeré lábẹ́ ipa ìtújáde ti crucible, èyí tí a lè kà sí apá tí a fi bombard ṣe ti crucible. Nítorí náà, ọ̀nà ìgbóná electron beam fún ìtújáde lè yẹra fún ìbàjẹ́ láàárín ohun èlò ìbòrí àti ohun èlò orísun ìtújáde.
A le pin eto orisun isunmi elekitironi si oriṣi mẹta: awọn ibon taara (Awọn ibon Boules), awọn ibon oruka (ti a yipada nipasẹ ina) ati awọn ibon e-gun (ti a yipada nipasẹ magnẹti). A le gbe awọn okun kan tabi diẹ sii sinu ibi isunmi, eyiti o le gbẹ ki o si fi ọpọlọpọ awọn nkan oriṣiriṣi sinu wọn ni akoko kanna tabi lọtọ.
Àwọn orísun ìtújáde ìtànṣán iná elekitironi ní àwọn àǹfààní wọ̀nyí.
①Iwọn giga ti orisun evaporation ti itanna beam bombardment le gba iwuwo agbara ti o tobi ju orisun alapapo resistance lọ, eyiti o le fa awọn ohun elo aaye yo giga, gẹgẹbi W, Mo, Al2O3, ati bẹbẹ lọ.
②A fi ohun èlò ìbòrí náà sínú ohun èlò bàbà tí a fi omi tútù ṣe, èyí tí ó lè yẹra fún ìgbóná omi láti inú ohun èlò ìgbóná omi, àti ìṣesí láàárín wọn.
③A le fi ooru kun taara si oju ohun elo ti a fi bo, eyi ti o mu ki ṣiṣe ooru ga ati pipadanu gbigbe ooru ati itankalẹ ooru kere.
Àléébù tí ọ̀nà ìgbóná ooru electron beam evaporation lò ni pé àwọn elekitironi àkọ́kọ́ láti inú ibon elekitironi àti àwọn elekitironi kejì láti ojú ohun èlò ìbòrí yóò máa ṣe ionize àwọn átọ̀mù tí ń yọ́ àti àwọn molecule gaasi tí ó kù, èyí tí yóò ní ipa lórí dídára fíìmù náà nígbà míì.
(3) Ìtújáde gbígbóná ìgbóná ìgbàlódé gíga
Ìgbóná ooru induction onígbà púpọ̀ ni láti gbé àpò ìkọ́lé pẹ̀lú ohun èlò ìbòrí sí àárín àpò ìgbóná onígbà púpọ̀ gíga, kí ohun èlò ìbòrí náà lè mú kí ìṣàn omi àti hysteresis lágbára wà lábẹ́ ìfàsẹ́yìn pápá electromagnetic onígbà púpọ̀ gíga, èyí tí ó ń mú kí àpò ìbòrí fíìmù náà gbóná títí tí yóò fi di afẹ́fẹ́ tí yóò sì gbẹ. Orísun ìgbóná sábà máa ń ní àpò ìgbóná omi onígbà púpọ̀ àti graphite tàbí seramiki (magnesium oxide, aluminum oxide, boron oxide, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ). Ipèsè agbára ìgbà púpọ̀ gíga náà ń lo ìgba púpọ̀ ẹgbẹ̀rún mẹ́wàá sí ọgọ́rùn-ún ọgọ́rùn-ún ẹgbẹ̀rún Hz, agbára ìtẹ̀wọlé jẹ́ ọgọ́rùn-ún sí ọgọ́rùn-ún kilowatts, bí ìwọ̀n ohun èlò membrane bá kéré sí, bẹ́ẹ̀ ni ìgba púpọ̀ induction náà yóò ga sí i. Ìgba púpọ̀ induction coil sábà máa ń jẹ́ ti bàbà bàbà tí a fi omi tutù ṣe.
Àìlera ọ̀nà ìgbóná ooru onígbà púpọ̀ gíga ni pé kò rọrùn láti ṣàtúnṣe agbára ìtẹ̀síwájú dáadáa, ó ní àwọn àǹfààní wọ̀nyí.
①Iwọn ìtújáde gíga
②Iwọn otutu orisun ìtújáde naa jẹ deede ati iduroṣinṣin, nitorinaa ko rọrun lati ṣe iṣẹlẹ ti awọn isun omi ti a fi bo, ati pe o tun le yago fun iṣẹlẹ ti awọn ihò pin lori fiimu ti a fi silẹ.
③Orísun ìtújáde omi ni a máa ń kó lẹ́ẹ̀kan, ìwọ̀n otútù náà sì rọrùn láti ṣàkóso.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-28-2022