Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd میں خوش آمدید۔
سنگل_بینر

ویکیوم وانپیکرن کوٹنگ ٹیکنالوجی کا تعارف

مضمون کا ماخذ: زینہوا ویکیوم
پڑھیں: 0
شائع شدہ: 22-10-28

ویکیوم وانپیکرن کوٹنگ کا اصول

1، ویکیوم وانپیکرن کوٹنگ کا سامان اور جسمانی عمل
ویکیوم وانپیکرن کوٹنگ کا سامان بنیادی طور پر ویکیوم چیمبر اور انخلاء کے نظام پر مشتمل ہے۔ ویکیوم چیمبر کے اندر، بخارات کا ذریعہ (یعنی بخارات کا ہیٹر)، سبسٹریٹ اور سبسٹریٹ فریم، سبسٹریٹ ہیٹر، ایگزاسٹ سسٹم وغیرہ ہیں۔
کوٹنگ کا مواد ویکیوم چیمبر کے وانپیکرن ماخذ میں رکھا جاتا ہے، اور اعلی ویکیوم حالات میں، اسے بخارات بننے کے لیے بخارات کے ذریعہ سے گرم کیا جاتا ہے۔ جب بخارات کے مالیکیولز کی اوسط فری رینج ویکیوم چیمبر کے لکیری سائز سے بڑی ہوتی ہے، جب فلمی بخارات کے ایٹم اور مالیکیول بخارات کے منبع کی سطح سے نکل جاتے ہیں، تو وہ شاذ و نادر ہی دوسرے مالیکیولز یا ایٹموں کے تصادم کی وجہ سے رکاوٹ بنتے ہیں، اور براہ راست ذیلی سطح تک پہنچ جاتے ہیں۔ سبسٹریٹ کے کم درجہ حرارت کی وجہ سے، فلمی بخارات کے ذرات اس پر گاڑھے ہو کر فلم بناتے ہیں۔
بخارات کے مالیکیولز اور سبسٹریٹ کے چپکنے کو بہتر بنانے کے لیے، سبسٹریٹ کو مناسب حرارتی یا آئن کی صفائی کے ذریعے چالو کیا جا سکتا ہے۔ ویکیوم بخارات کی کوٹنگ مادی بخارات سے لے کر فلم میں جمع ہونے تک نقل و حمل کے درج ذیل جسمانی عمل سے گزرتی ہے۔
(1) توانائی کی دوسری شکلوں کو تھرمل انرجی میں تبدیل کرنے کے مختلف طریقوں کا استعمال کرتے ہوئے، فلمی مواد کو ایک خاص مقدار (0.1 سے 0.3 eV) کے ساتھ گیسی ذرات (ایٹم، مالیکیولز یا ایٹم کلسٹرز) میں بخارات بننے یا سرفہرست کرنے کے لیے گرم کیا جاتا ہے۔
(2)گیس کے ذرات فلم کی سطح کو چھوڑ کر سبسٹریٹ کی سطح پر حرکت کی ایک خاص رفتار سے، بنیادی طور پر بغیر تصادم کے، ایک سیدھی لکیر میں منتقل ہوتے ہیں۔
(3) گیسی ذرات سبسٹریٹ کی سطح پر پہنچتے ہیں اور نیوکلیٹ، اور پھر ایک ٹھوس فیز فلم میں بڑھتے ہیں۔
(4) فلم بنانے والے ایٹموں کی تنظیم نو یا کیمیائی بندھن۔

ویکیوم وانپیکرن کوٹنگ ٹیکنالوجی کا تعارف

2، وانپیکرن ہیٹنگ

(1) مزاحمتی حرارتی بخارات
مزاحمتی حرارتی بخارات کا استعمال سب سے آسان اور عام طور پر استعمال ہونے والا حرارتی طریقہ ہے، جو عام طور پر 1500℃ سے نیچے پگھلنے کے نقطہ والے کوٹنگ مواد پر لاگو ہوتا ہے، تار یا شیٹ کی شکل میں اعلی پگھلنے والی دھاتیں (W, Mo, Ti, Ta، بوران نائٹرائڈ، وغیرہ) کو عام طور پر بخارات کے ذریعہ کی مناسب شکل میں بنایا جاتا ہے، جو الیکٹرک کرنٹ کے ذریعے بخارات کے مواد سے بھری ہوئی ہے چڑھانے والے مواد کو بخارات بنائیں یا اسے سرسبز کریں، بخارات کے ماخذ کی شکل میں بنیادی طور پر ملٹی اسٹرینڈ سرپل، یو شیپڈ، سائن ویو، پتلی پلیٹ، کشتی، کون کی ٹوکری وغیرہ شامل ہیں۔ ایک ہی وقت میں، طریقہ کار کے لیے بخارات کے ماخذ کے مواد کو زیادہ پگھلنے کا مقام، کم سنترپتی بخارات، کیمیائی رد عمل کے دباؤ کے ساتھ اعلی درجہ حرارت کے ساتھ مواد کو مستحکم کرنے کی ضرورت ہوتی ہے۔ مزاحمت، بجلی کی کثافت میں چھوٹی تبدیلی، وغیرہ۔ یہ بخارات کے ذریعہ سے زیادہ کرنٹ کو اپناتا ہے تاکہ اسے براہ راست ہیٹنگ کے ذریعے فلمی مواد کو گرم اور بخارات بنایا جا سکے، یا فلمی مواد کو گریفائٹ اور بعض اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحم دھاتی آکسائیڈز (جیسے A202، B0) اور دیگر مواد کو بالواسطہ حرارتی طور پر بخارات بنانے کے لیے کروسیبل میں ڈالیں۔
مزاحمتی حرارتی بخارات کی کوٹنگ کی حدود ہوتی ہیں: ریفریکٹری دھاتوں میں بخارات کا دباؤ کم ہوتا ہے، جس سے پتلی فلم بنانا مشکل ہوتا ہے۔ کچھ عناصر حرارتی تار کے ساتھ مرکب بنانے کے لئے آسان ہیں؛ الائے فلم کی یکساں ترکیب حاصل کرنا آسان نہیں ہے۔ سادہ ساخت، کم قیمت اور مزاحمتی حرارتی بخارات کے طریقہ کار کے آسان آپریشن کی وجہ سے، یہ بخارات کے طریقہ کار کا ایک بہت عام استعمال ہے۔

(2) الیکٹران بیم حرارتی بخارات
الیکٹران بیم کا بخارات کوٹنگ کے مواد کو پانی سے ٹھنڈے ہوئے تانبے کی کروسیبل میں رکھ کر اسے اعلی توانائی کی کثافت والے الیکٹران بیم کے ساتھ بمباری کرکے بخارات بنانے کا ایک طریقہ ہے۔ بخارات کا ماخذ الیکٹران کے اخراج کا ذریعہ، ایک الیکٹران ایکسلریشن پاور سورس، ایک کروسیبل (عام طور پر ایک تانبے کی کروسیبل)، ایک مقناطیسی فیلڈ کوائل، اور کولنگ واٹر سیٹ وغیرہ پر مشتمل ہوتا ہے۔ اس ڈیوائس میں، گرم مواد کو پانی سے ٹھنڈا کروسیبل میں رکھا جاتا ہے، اور الیکٹران بیم صرف ایک بہت ہی چھوٹے مواد پر مشتمل ہوتا ہے، جب کہ الیکٹران کی شعاعیں صرف ایک بہت ہی چھوٹے مواد پر مشتمل ہوتی ہیں۔ کروسیبل کے کولنگ اثر کے تحت کم درجہ حرارت، جسے کروسیبل کے بمباری والے حصے کے طور پر شمار کیا جا سکتا ہے۔ اس طرح، بخارات کے لیے الیکٹران بیم کو گرم کرنے کا طریقہ کوٹنگ مواد اور بخارات کے ماخذ مواد کے درمیان آلودگی سے بچ سکتا ہے۔
الیکٹران بیم کے بخارات کے ماخذ کی ساخت کو تین اقسام میں تقسیم کیا جا سکتا ہے: سیدھی بندوقیں (بولز گنز)، رنگ گنز (برقی طور پر ڈیفلیکٹڈ) اور ای گنز (مقناطیسی طور پر ڈیفلیکٹڈ)۔ ایک یا زیادہ کروسیبلز کو بخارات کی سہولت میں رکھا جا سکتا ہے، جو بیک وقت یا الگ الگ بہت سے مختلف مادوں کو بخارات بنا کر جمع کر سکتا ہے۔

الیکٹران بیم بخارات کے ذرائع کے درج ذیل فوائد ہیں۔
① الیکٹران بیم بمباری بخارات کے ذریعہ کی اعلی بیم کی کثافت مزاحمتی حرارتی ذریعہ سے کہیں زیادہ توانائی کی کثافت حاصل کر سکتی ہے، جو اعلی پگھلنے والے نقطہ مواد، جیسے W, Mo, Al2O3، وغیرہ کو بخارات بنا سکتی ہے۔
② کوٹنگ کا مواد پانی سے ٹھنڈے ہوئے تانبے کے کروسیبل میں رکھا جاتا ہے، جو بخارات کے ماخذ مواد کے بخارات اور ان کے درمیان ہونے والے رد عمل سے بچ سکتا ہے۔
③ حرارت کو کوٹنگ مواد کی سطح پر براہ راست شامل کیا جا سکتا ہے، جس سے تھرمل کارکردگی زیادہ ہوتی ہے اور حرارت کی ترسیل اور حرارت کی تابکاری کا نقصان کم ہوتا ہے۔
الیکٹران بیم حرارتی بخارات کے طریقہ کار کا نقصان یہ ہے کہ الیکٹران گن سے بنیادی الیکٹران اور کوٹنگ مواد کی سطح سے ثانوی الیکٹران بخارات بننے والے ایٹموں اور گیس کے بقایا مالیکیولز کو آئنائز کریں گے، جو کبھی کبھی فلم کے معیار کو متاثر کرے گا۔

(3) ہائی فریکوئنسی انڈکشن ہیٹنگ وانپیکرن
ہائی فریکوئینسی انڈکشن ہیٹنگ ایوپیریشن کا مقصد کوٹنگ میٹریل کے ساتھ کروسیبل کو ہائی فریکوئینسی سرپل کوائل کے بیچ میں رکھنا ہے، تاکہ کوٹنگ میٹریل ہائی فریکوئینسی برقی مقناطیسی فیلڈ کے انڈکشن کے تحت مضبوط ایڈی کرنٹ اور ہسٹریسیس اثر پیدا کرے، جس کی وجہ سے فلم کی پرت گرم ہو جاتی ہے اور بخارات بن کر بخارات بن جاتی ہے۔ بخارات کا ذریعہ عام طور پر پانی سے ٹھنڈا ہوا ہائی فریکوئنسی کوائل اور گریفائٹ یا سیرامک ​​(میگنیشیم آکسائیڈ، ایلومینیم آکسائیڈ، بوران آکسائیڈ، وغیرہ) پر مشتمل ہوتا ہے۔ ہائی فریکوئنسی پاور سپلائی دس ہزار سے کئی لاکھ ہرٹز کی فریکوئنسی کا استعمال کرتی ہے، ان پٹ پاور کئی سے کئی سو کلو واٹ ہوتی ہے، جھلی کے مواد کا حجم جتنا چھوٹا ہوتا ہے، انڈکشن فریکوئنسی اتنی ہی زیادہ ہوتی ہے۔ انڈکشن کوائل فریکوئنسی عام طور پر واٹر کولڈ کاپر ٹیوب سے بنی ہوتی ہے۔
ہائی فریکوئنسی انڈکشن ہیٹنگ بخارات کے طریقہ کار کا نقصان یہ ہے کہ ان پٹ پاور کو ٹھیک کرنا آسان نہیں ہے، اس کے درج ذیل فوائد ہیں۔
①اعلی بخارات کی شرح
② بخارات کے ذریعہ کا درجہ حرارت یکساں اور مستحکم ہے، لہذا کوٹنگ کی بوندوں کے چھڑکنے کے رجحان کو پیدا کرنا آسان نہیں ہے، اور یہ جمع شدہ فلم پر پن ہولز کے رجحان سے بھی بچ سکتا ہے۔
③ بخارات کا ذریعہ ایک بار لوڈ ہوتا ہے، اور درجہ حرارت نسبتاً آسان اور کنٹرول کرنا آسان ہے۔


پوسٹ ٹائم: اکتوبر-28-2022