Selelekela sa theknoloji ea ho roala mouoane oa vacuum

2, ho futhumatsa ha mouoane

(1) Ho hanyetsa mouoane oa ho futhumatsa
Mouoane oa ho futhumatsa o hanyetsanang ke mokhoa o bonolo ka ho fetisisa le o sebelisoang haholo oa ho futhumatsa, o sebelisoang haholo ho lisebelisoa tsa ho roala tse nang le ntlha ea ho qhibiliha e ka tlase ho 1500℃, litšepe tse nang le ntlha ea ho qhibiliha e phahameng ka sebopeho sa terata kapa lakane (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, jj.) hangata li etsoa ka sebopeho se loketseng sa mohloli oa mouoane, li tletse lisebelisoa tsa mouoane, ka mocheso oa Joule oa motlakase oa hona joale ho qhibilihisa, ho mouoane kapa ho fokotsa thepa ea ho roala, sebopeho sa mohloli oa mouoane se kenyelletsa haholo-holo spiral ea likhoele tse ngata, e bōpehileng joaloka U, leqhubu la sine, poleiti e tšesaane, sekepe, baskete ea khoune, jj. Ka nako e ts'oanang, mokhoa ona o hloka hore thepa ea mohloli oa mouoane e be le ntlha ea ho qhibiliha e phahameng, khatello e tlase ea mouoane, thepa e tsitsitseng ea lik'hemik'hale, e se ke ea e-ba le karabelo ea lik'hemik'hale le thepa ea ho roala mochesong o phahameng, ho hanyetsa mocheso o motle, phetoho e nyane ea matla a motlakase, jj. E sebelisa motlakase o phahameng ka mohloli oa mouoane ho etsa hore e futhumale 'me e monye thepa ea filimi ka ho futhumatsa ka kotloloho, kapa e behe thepa ea filimi ka har'a sebopi se entsoeng ka graphite le li-oxide tse itseng tsa tšepe tse hanelang mocheso o phahameng (joalo ka A202, B0) le lisebelisoa tse ling bakeng sa ho futhumatsa ka tsela e sa tobang ho monya.
Sekoahelo sa ho tjhesa mouoane se hanyetsanang le ho futhumatsa se na le mefokolo: ditshipi tse hanyetsang di na le kgatello e tlase ya mouoane, e leng ntho e thata ho e etsa filimi e tshesane; dielemente tse ding di bonolo ho etsa motswako ka terata ya ho futhumatsa; ha ho bonolo ho fumana sebopeho se tshwanang sa filimi ya motswako. Ka lebaka la sebopeho se bonolo, theko e tlase le tshebetso e bonolo ya mokgwa wa ho tjhesa mouoane o hanyetsanang le ho futhumatsa, ke tshebediso e tlwaelehileng haholo ya mokgwa wa ho tjhesa mouoane.

(2) Mouoane oa ho futhumatsa mahlaseli a elektrone
Mouoane oa lehlaseli la elektrone ke mokhoa oa ho fetola thepa ea ho roala hore e be mouoane ka ho e hlasela ka lehlaseli la elektrone le nang le matla a mangata ka ho e beha ka har'a sebopi sa koporo se pholileng ka metsi. Mohloli oa mouoane o na le mohloli oa ho ntša li-elektrone, mohloli oa matla a ho potlakisa li-elektrone, sebopi sa koporo (hangata sebopi sa koporo), khoele ea matla a makenete, le sete ea metsi a pholileng, jj. Sesebedisweng sena, thepa e futhumetseng e beoa ka har'a sebopi sa ho roala se pholileng ka metsi, 'me lehlaseli la elektrone le hlasela karolo e nyane haholo ea thepa, ha boholo ba thepa e setseng e ntse e le mochesong o tlase haholo tlas'a phello ea ho pholisa ea sebopi sa ho roala, e ka nkoang e le karolo e robehileng ea sebopi sa ho roala. Kahoo, mokhoa oa ho futhumatsa lehlaseli la elektrone bakeng sa mouoane o ka qoba tšilafalo pakeng tsa thepa ea ho roala le thepa ea mohloli oa mouoane.
Sebopeho sa mohlodi wa mouoane wa mahlasedi a dielektrone se ka arolwa ka mefuta e meraro: dithunya tse otlolohileng (dithunya tsa Boules), dithunya tse leketlileng (tse fapohileng ka motlakase) le dithunya tsa elektrone (tse fapohileng ka makenete). Sethunya se le seng kapa ho feta se ka bewa setsing sa mouoane, se ka mouoane mme sa kenya dintho tse ngata tse fapaneng ka nako e le nngwe kapa ka thoko.

Mehloli ea mouoane oa mahlaseli a elektrone e na le melemo e latelang.
①Bongata ba mahlaseli a phahameng a mohlodi wa mouoane wa di-electron beam bombardment bo ka fumana matla a mangata ho feta mohlodi wa ho futhumatsa o hanyetsang, o ka fetolang mouoane thepa e nang le ntlha e phahameng ya ho qhibiliha, jwalo ka W, Mo, Al2O3, jj.
②Thepa ea ho koahela e kenngoa ka har'a sebopi sa koporo se pholileng ka metsi, se ka qobang mouoane oa thepa ea mohloli oa mouoane, le karabelo lipakeng tsa tsona.
③Mocheso o ka eketsoa ka ho toba holim'a thepa ea ho roala, e leng se etsang hore katleho ea mocheso e be holimo le tahlehelo ea ho tsamaisa mocheso le mahlaseli a mocheso e be tlase.
Bothata ba mokhoa oa ho futhumatsa mahlaseli a elektrone ke hore lielektrone tsa mantlha tse tsoang sethunyeng sa elektrone le lielektrone tsa bobeli tse tsoang holim'a thepa ea ho roala li tla etsa hore liathomo tse fetohang mouoane le limolek'hule tsa khase tse setseng li be le ioni, e leng se tla ama boleng ba filimi ka linako tse ling.

(3) Mouoane oa ho futhumatsa ka maqhubu a phahameng
Mouoane oa ho futhumatsa o nang le maqhubu a phahameng ke ho beha sekoaelo se nang le thepa ea ho roala bohareng ba koili ea spiral e nang le maqhubu a phahameng, e le hore thepa ea ho roala e hlahise phello e matla ea eddy current le hysteresis tlas'a ho kenngoa ha tšimo ea electromagnetic e nang le maqhubu a phahameng, e leng se etsang hore lera la filimi le chese ho fihlela le fetoha mouoane le ho fetoha mouoane. Mohloli oa mouoane ka kakaretso o na le koili ea maqhubu a phahameng e pholileng ka metsi le koili ea graphite kapa ceramic (magnesium oxide, aluminium oxide, boron oxide, jj.). Phepelo ea motlakase e nang le maqhubu a phahameng e sebelisa maqhubu a Hz a likete tse leshome ho isa ho makholo a likete a 'maloa, matla a ho kenya ke li-kilowatts tse 'maloa ho isa ho makholo a' maloa, ha bophahamo ba thepa ea lera bo le bonyenyane, maqhubu a induction a phahame. Hangata maqhubu a koili ea induction a etsoa ka tube ea koporo e pholileng ka metsi.
Bothata ba mokhoa oa ho fetoha ha mouoane oa ho futhumatsa ka mokhoa o phahameng ke hore ha ho bonolo ho lokisa matla a ho kenya, o na le melemo e latelang.
①Sekhahla se phahameng sa mouoane
②Mocheso oa mohloli oa mouoane o ts'oana ebile o tsitsitse, kahoo ha ho bonolo ho hlahisa ketsahalo ea marotholi a koahelang a phatsimang, 'me e ka boela ea qoba ketsahalo ea masoba a pinhole filiming e kentsoeng.
③Mohloli oa mouoane o kenngoa hang feela, 'me mocheso o bonolo ebile o bonolo ho o laola.