Prionsabal na sciath galú bhfolús
1 、 Trealamh agus próiseas fisiceach sciath galú bhfolús
Tá an trealamh sciath galú bhfolús comhdhéanta den chuid is mó de seomra folúis agus córas aslonnaithe.Taobh istigh den seomra folúis, tá foinse galú (ie téitheoir galú), fráma tsubstráit agus tsubstráit, téitheoir tsubstráit, córas sceite, etc.
Cuirtear an t-ábhar sciath i bhfoinse galú an tseomra folúis, agus faoi choinníollacha folúsacha ard, téitear é ag an bhfoinse galú chun galú.Nuair a bhíonn meán-raoin saor na móilíní gaile níos mó ná méid líneach an tseomra folúis, tar éis do na hadaimh agus na móilíní gaile scannáin éalú ó dhromchla na foinse galú, is annamh a chuireann imbhualadh móilíní nó adamh eile bac orthu, agus dromchla an tsubstráit a bheith brataithe a bhaint amach go díreach.Mar gheall ar theocht íseal an tsubstráit, comhdhlúthaíonn na cáithníní gaile scannáin air agus cruthaíonn siad scannán.
D'fhonn feabhas a chur ar greamaitheacht na móilíní galú agus an tsubstráit, is féidir an tsubstráit a ghníomhachtú trí théamh cuí nó glanadh ian.Téann sciath galú folúis trí na próisis fhisiceacha seo a leanas ó ghalú ábhar, ó iompar go dtí sil-leagan isteach i scannán.
(1) Ag baint úsáide as bealaí éagsúla chun cineálacha eile fuinnimh a thiontú go fuinneamh teirmeach, téitear an t-ábhar scannáin chun galú nó sublimate i gcáithníní gásacha (adaimh, móilíní nó braislí adamhacha) le méid áirithe fuinnimh (0.1 go 0.3 eV).
(2) Fágann cáithníní gásacha dromchla an scannáin agus iompraítear iad go dtí dromchla an tsubstráit ag luas áirithe gluaisne, go bunúsach gan imbhualadh, i líne dhíreach.
(3) Comhtháthaíonn agus núiclítear na cáithníní gásacha a shroicheann dromchla an tsubstráit, agus ansin fásann siad ina scannán soladach-chéim.
(4) Atheagrú nó nascadh ceimiceach na n-adamh atá sa scannán.
2, téamh galú
(1) Galú teasa friotaíochta
Is é galú teasa friotaíochta an modh téimh is simplí agus is coitianta a úsáidtear, is infheidhme go ginearálta maidir le hábhair bhrataithe le leáphointe faoi bhun 1500 ℃, miotail leáphointe ard i gcruth sreinge nó leatháin (W, Mo, Ti, Ta, nítríde bórón, etc.) a dhéantar de ghnáth i gcruth oiriúnach foinse galú, luchtaithe le hábhair galú, tríd an teas Joule de sruth leictreach a leá, galú nó sublimate an t-ábhar plating, folaíonn an cruth foinse galú go príomha bíseach il-snáithe, U-chruthach, tonn sine , pláta tanaí, bád, ciseán cón, etc. Ag an am céanna, éilíonn an modh go bhfuil pointe leá ard, brú gaile saturation íseal, airíonna ceimiceacha cobhsaí, nach bhfuil imoibriú ceimiceach leis an ábhar sciath ag teocht ard, ag an am céanna, friotaíocht teasa maith, athrú beag ar dhlús cumhachta, srl. Glacann sé sruth ard tríd an bhfoinse galú chun é a dhéanamh teas suas agus galú an ábhair scannáin trí théamh díreach, nó an t-ábhar scannáin a chur isteach sa bhreogán déanta as graifít agus resistant teocht ard áirithe ocsaídí miotail (cosúil le A202, B0) agus ábhair eile chun téamh indíreach a ghalú.
Tá teorainneacha ag sciath galú teasa friotaíochta: tá brú íseal gaile ag miotail teasfhulangacha, rud atá deacair scannán tanaí a dhéanamh;tá roinnt eilimintí éasca le cóimhiotal a fhoirmiú leis an sreang teasa;níl sé éasca comhdhéanamh aonfhoirmeach den scannán cóimhiotail a fháil.Mar gheall ar an struchtúr simplí, an praghas íseal agus an modh galú teasa friotaíochta a oibriú go héasca, is modh galú an-choitianta é.
(2) Galú téimh bhíoma leictreon
Is modh é galú léas leictreoin chun an t-ábhar brataithe a ghalú trína thuamadh le léas leictreoin ard-dlúis trí é a chur i breogán copair uisce-fhuaraithe.Is éard atá sa fhoinse galú ná foinse astaíochta leictreoin, foinse cumhachta luasghéaraithe leictreon, breogán (breogán copair de ghnáth), corna réimse maighnéadach, agus sraith uisce fuaraithe, etc. Sa ghléas seo, cuirtear an t-ábhar téite in uisce -cooled breogán, agus an léas leictreon bombards ach cuid an-bheag den ábhar, agus fanann an chuid is mó den ábhar atá fágtha ag teocht an-íseal faoi éifeacht fuaraithe an breogán, ar féidir a mheas mar chuid bombarded an breogán.Mar sin, d'fhéadfadh an modh teasa leictreon-léas le haghaidh galú éilliú a sheachaint idir an t-ábhar brataithe agus an bunábhar galú.
Is féidir struchtúr foinse galú an bhíoma leictreon a roinnt ina thrí chineál: gunnaí díreacha (gunnaí Boules), gunnaí fáinne (sraonadh go leictreach) agus r-gunnaí (sraonadh go maighnéadach).Is féidir breogán amháin nó níos mó a chur i saoráid ghalaithe, ar féidir léi go leor substaintí éagsúla a ghalú agus a thaisceadh go comhuaineach nó go leithleach.
Tá na buntáistí seo a leanas ag foinsí galú léas leictreon.
①Is féidir le dlús bhíoma ard foinse galú bombardú bhíoma leictreon dlús fuinnimh i bhfad níos mó a fháil ná an fhoinse téimh friotaíochta, a fhéadfaidh ábhair leáphointe ard a ghalú, mar shampla W, Mo, Al2O3, etc.
② Cuirtear an t-ábhar brataithe i breogán copair uisce-fhuaraithe, rud a d'fhéadfadh galú an bhunábhair galú a sheachaint, agus an t-imoibriú eatarthu.
③Is féidir teas a chur go díreach le dromchla an ábhair sciath, rud a fhágann go bhfuil an éifeachtacht teirmeach ard agus go gcailltear seoltacht teasa agus radaíocht teasa íseal.
Is é an míbhuntáiste a bhaineann leis an modh galú téimh bhíoma leictreon ná go ndéanfaidh na leictreoin phríomha ón gunna leictreon agus na leictreoin tánaisteacha ó dhromchla an ábhair sciath na hadaimh ghalúcháin agus na móilíní gáis iarmharacha a ianú, rud a chuireann isteach ar chaighdeán an scannáin uaireanta.
(3) Galú teasa ionduchtaithe ardmhinicíochta
Is éard atá i gceist le galú teasa ionduchtaithe ard-minicíochta ná an breogán le hábhar brataithe a chur i lár an choil bíseach ard-minicíochta, ionas go gcruthóidh an t-ábhar brataithe sruth láidir eddy agus éifeacht hysteresis faoi ionduchtú réimse leictreamaighnéadach ard-minicíochta, rud is cúis leis an ciseal scannáin a théamh suas go dtí go vaporizes sé agus evaporates.Is éard atá sa fhoinse galú go ginearálta corna ard-minicíochta uisce-fuaraithe agus breogán graifít nó ceirmeach (ocsaíd mhaignéisiam, ocsaíd alúmanaim, ocsaíd bóróin, etc.).Úsáideann an soláthar cumhachta ardmhinicíochta minicíocht ó dheich míle go cúpla céad míle Hz, is é an chumhacht ionchuir ó roinnt go cúpla céad cileavata, is lú méid an ábhair membrane, is airde an minicíocht ionduchtaithe.De ghnáth déantar minicíocht coil ionduchtúcháin de fheadán copair uisce-fuaraithe.
Is é an míbhuntáiste a bhaineann le modh galú teasa ionduchtaithe ard-minicíochta ná nach bhfuil sé éasca an chumhacht ionchuir a choigeartú go fíneáil, tá na buntáistí seo a leanas aige.
① Ráta galú ard
② Tá teocht an fhoinse galú aonfhoirmeach agus cobhsaí, agus mar sin níl sé éasca feiniméan na splanc braoiníní sciath a tháirgeadh, agus is féidir leis an bhfeiniméan bioráin ar an scannán taiscthe a sheachaint freisin.
③ Tá an fhoinse galú luchtaithe uair amháin, agus tá an teocht sách éasca agus simplí a rialú.
Am postála: Oct-28-2022