የቫኩም ትነት ሽፋን ቴክኖሎጂ መግቢያ

2, የእንፋሎት ማሞቂያ

(1) የመቋቋም ማሞቂያ ትነት
የመቋቋም ማሞቂያ ትነት በጣም ቀላሉ እና በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የማሞቂያ ዘዴ ሲሆን በአጠቃላይ ከ1500℃ በታች የማቅለጫ ነጥብ ላላቸው የሽፋን ቁሳቁሶች ተፈጻሚ ይሆናል። በሽቦ ወይም በሉህ ቅርፅ (W፣ Mo፣ Ti፣ Ta፣ Boron Nitride፣ ወዘተ) ውስጥ ያሉ ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ ብረቶች ብዙውን ጊዜ ተስማሚ የሆነ የትነት ምንጭ ቅርፅ ሆነው ይሠራሉ፣ በትነት ቁሳቁሶች የተጫኑ፣ የፕላቲኑን ቁሳቁስ ለማቅለጥ፣ ለማንጻት ወይም ለማሳነስ በኤሌክትሪክ ጅረት በኩል። የትነት ምንጭ ቅርፅ በዋናነት ባለብዙ-ክር ጠመዝማዛ፣ U-ቅርጽ ያለው፣ ሳይን ሞገድ፣ ቀጭን ሳህን፣ ጀልባ፣ የኮን ቅርጫት፣ ወዘተ ያካትታል። በተመሳሳይ ጊዜ፣ ዘዴው የትነት ምንጭ ቁሳቁስ ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ፣ ዝቅተኛ የሙሌት ትነት ግፊት፣ የተረጋጋ የኬሚካል ባህሪያት እንዲኖረው ይጠይቃል፣ በከፍተኛ ሙቀት ከሽፋን ቁሳቁስ ጋር የኬሚካል ምላሽ እንዳይኖረው፣ ጥሩ የሙቀት መቋቋም፣ አነስተኛ የኃይል ጥግግት ለውጥ፣ ወዘተ። በትነት ምንጭ በኩል ከፍተኛ ጅረትን ይቀበላል፣ የፊልም ቁሳቁሱን በቀጥታ በማሞቅ እንዲሞቅ እና እንዲያስወግድ ወይም የፊልም ቁሳቁሱን ከግራፋይት እና ከተወሰኑ ከፍተኛ ሙቀት መቋቋም ከሚችሉ የብረት ኦክሳይድ (እንደ A202፣ B0 ያሉ) እና ሌሎች ቁሳቁሶች በተዘዋዋሪ ማሞቂያ እንዲተን ለማድረግ።
የመቋቋም ማሞቂያ የትነት ሽፋን ውስንነቶች አሉት፡- የሚቀጣጠሉ ብረቶች ዝቅተኛ የእንፋሎት ግፊት አላቸው፣ ይህም ቀጭን ፊልም ለመስራት አስቸጋሪ ነው፤ አንዳንድ ንጥረ ነገሮች ከማሞቂያ ሽቦ ጋር ቅይጥ ለመፍጠር ቀላል ናቸው፤ የቅይጥ ፊልሙን አንድ ወጥ የሆነ ቅንብር ማግኘት ቀላል አይደለም። ቀላል መዋቅር፣ ዝቅተኛ ዋጋ እና የመቋቋም ማሞቂያ ትነት ዘዴ ቀላል አሠራር ምክንያት፣ የትነት ዘዴ በጣም የተለመደ አተገባበር ነው።

(2) የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ ትነት
የኤሌክትሮን ጨረር ትነት (Electron beam emission) በውሃ በሚቀዘቅዝ የመዳብ ክሩሲብል ውስጥ በማስቀመጥ ከፍተኛ ኃይል ባለው ጥግግት ኤሌክትሮን ጨረር በመወርወር የመሸፈኛ ቁሳቁሱን የማትነን ዘዴ ነው። የትነት ምንጩ የኤሌክትሮን ልቀት ምንጭ፣ የኤሌክትሮን ፍጥነት የኃይል ምንጭ፣ የክሩሲብል (ብዙውን ጊዜ የመዳብ ክሩሲብል)፣ መግነጢሳዊ መስክ ኮይል እና የማቀዝቀዣ የውሃ ስብስብ ወዘተ ያካትታል። በዚህ መሳሪያ ውስጥ፣ የሚሞቀው ቁሳቁስ በውሃ በሚቀዘቅዝ ክሩሲብል ውስጥ ይቀመጣል፣ እና የኤሌክትሮን ጨረር በጣም ትንሽ የቁሳቁሱን ክፍል ብቻ ይደበድባል፣ የቀረው አብዛኛው ቁሳቁስ ደግሞ በክሩሲብል የማቀዝቀዣ ውጤት ስር በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ላይ ይቆያል፣ ይህም እንደ ቦምባርድ ...
የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጭ አወቃቀር በሦስት ዓይነቶች ሊከፈል ይችላል፡ ቀጥ ያሉ ጠመንጃዎች (ቡልስ ጠመንጃዎች)፣ የቀለበት ጠመንጃዎች (በኤሌክትሪክ አቅጣጫ የተገለበጡ) እና ኢ-ጠመንጃዎች (በማግኔቲክ አቅጣጫ የተገለበጡ)። አንድ ወይም ከዚያ በላይ ክሩብልሎች በትነት ተቋም ውስጥ ሊቀመጡ ይችላሉ፣ ይህም በአንድ ጊዜ ወይም በተናጠል ብዙ የተለያዩ ንጥረ ነገሮችን ሊተን እና ሊያስቀምጥ ይችላል።

የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጮች የሚከተሉት ጥቅሞች አሏቸው።
①የኤሌክትሮን ጨረር ቦምብ ፍንዳታ የትነት ምንጭ ከፍተኛ የጨረር ጥግግት ከተከላካይ ማሞቂያ ምንጭ የበለጠ ከፍተኛ የኃይል ጥግግት ሊያገኝ ይችላል፣ ይህም እንደ W፣ Mo፣ Al2O3፣ ወዘተ ያሉ ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ ቁሳቁሶችን ሊያተን ይችላል።
②የመሸፈኛው ቁሳቁስ በውሃ በሚቀዘቅዝ የመዳብ ክሩሲብል ውስጥ ይቀመጣል፣ ይህም የትነት ምንጭ ቁሱ እንዳይተን እና በመካከላቸው ያለውን ምላሽ እንዳይፈጠር ይከላከላል።
③ሙቀት በቀጥታ ወደ መሸፈኛው ቁሳቁስ ወለል ላይ ሊጨመር ይችላል፣ ይህም የሙቀት ቅልጥፍናን ከፍ ያደርገዋል እና የሙቀት ማስተላለፊያ እና የሙቀት ጨረር መጥፋት ዝቅተኛ ያደርገዋል።
የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ የትነት ዘዴ ጉዳቱ ከኤሌክትሮን ሽጉጥ የተገኙት ዋና ዋና ኤሌክትሮኖች እና ከሽፋን ቁሱ ወለል ላይ የሚገኙት ሁለተኛ ደረጃ ኤሌክትሮኖች የሚተኑትን አቶሞች እና የቀሩ የጋዝ ሞለኪውሎችን ionize ያደርጉታል፣ ይህም አንዳንድ ጊዜ የፊልሙን ጥራት ይነካል።

(3) ከፍተኛ ድግግሞሽ የኢንዳክሽን ማሞቂያ ትነት
ከፍተኛ ድግግሞሽ ያለው የኢንደስትሪ ማሞቂያ ትነት የሚተከለውን ክሩሲብል ከሽፋን ቁሳቁስ ጋር በከፍተኛ ድግግሞሽ ስፒራል ኮይል መሃል ላይ ማስቀመጥ ነው፣ ስለዚህ የሽፋን ቁሱ ከፍተኛ ድግግሞሽ ኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ ኢንደስትሪንግ ስር ጠንካራ የኤዲ ጅረት እና የሃይስቴሬሲስ ውጤት ይፈጥራል፣ ይህም የፊልም ንብርብር እስኪተን እና እስኪተን ድረስ እንዲሞቅ ያደርገዋል። የትነት ምንጩ በአጠቃላይ በውሃ የሚቀዘቅዝ ከፍተኛ ድግግሞሽ ኮይል እና ግራፋይት ወይም ሴራሚክ (ማግኒዚየም ኦክሳይድ፣ አሉሚኒየም ኦክሳይድ፣ ቦሮን ኦክሳይድ፣ ወዘተ) ክሩሲብል ያካትታል። ከፍተኛ ድግግሞሽ ያለው የኃይል አቅርቦት ከአስር ሺህ እስከ ብዙ መቶ ሺህ Hz ድግግሞሽ ይጠቀማል፣ የግብዓት ኃይሉ ከብዙ እስከ ብዙ መቶ ኪሎዋት ነው፣ የሽፋኑ ቁሳቁስ መጠን አነስተኛ ሲሆን የኢንደስትሪ ድግግሞሽ ከፍ ይላል። የኢንደስትሪ ኮይል ድግግሞሽ ብዙውን ጊዜ ከውሃ ከሚቀዘቅዝ የመዳብ ቱቦ የተሰራ ነው።
የከፍተኛ ድግግሞሽ የኢንዳክሽን ማሞቂያ ትነት ዘዴ ጉዳቱ የግቤት ኃይልን ማስተካከል ቀላል አለመሆኑ ነው፣ የሚከተሉት ጥቅሞች አሉት።
①ከፍተኛ የትነት መጠን
②የትነት ምንጭ የሙቀት መጠን ወጥ እና የተረጋጋ ነው፣ ስለዚህ የሽፋን ጠብታዎች የሚረጩበትን ክስተት መፍጠር ቀላል አይደለም፣ እንዲሁም በተቀመጠው ፊልም ላይ የፒንሆልድ ክስተትን ማስቀረት ይችላል።
③የትነት ምንጭ አንድ ጊዜ ይጫናል፣ እና የሙቀት መጠኑ በአንጻራዊነት ቀላል እና ለመቆጣጠር ቀላል ነው።