Magnetron püskürtme örtüginiň häsiýetnamalary
(3) Pes energiýaly püskürtme. Nyşana berlen pes katod naprýaženiýesi sebäpli, plazma katodyň golaýyndaky giňişlikde magnit meýdany bilen baglanýar we şeýlelik bilen ýokary energiýaly zarýadly bölejikleriň substratyň tarapyna geçmegine päsgel berýär. Şonuň üçin, zarýadly bölejikleriň bombardman edilmegi netijesinde substrata, ýagny ýarymgeçiriji enjamlara ýetirilýän zyýanyň derejesi beýleki püskürtme usullaryndan ýüze çykýan zyýandan pesdir.
(4) Substratyň pes temperaturasy. Magnetron püskürmesiniň püskürme tizligi ýokary, sebäbi sebitdäki magnit meýdanynda, ýagny kiçi bir ýerli sebitde nyşana boşaltma zolagynda elektron konsentrasiýasy ýokary bolýar, şol bir wagtyň özünde sebitiň daşyndaky magnit täsirinde, esasanam substrat ýüzüniň magnit meýdanyndan uzakda, dispersiýa sebäpli elektron konsentrasiýasy has pes, hatda dipol püskürmesinden hem pes bolup biler (iki işçi gaz basyşynyň arasyndaky tapawut sebäpli). Şonuň üçin, magnetron püskürme şertlerinde, substratyň ýüzüne bombardman edýän elektronlaryň konsentrasiýasy adaty diod püskürmesinden has pes bolýar we substrata düşýän elektronlaryň sanynyň azalmagy sebäpli substratyň temperaturasynyň aşa ýokarlanmagynyň öňüni alýar. Mundan başga-da, magnetron püskürtme usulynda magnetron püskürtme enjamynyň anody katodyň töwereginde ýerleşip bilner we substrat saklaýjy hem topraklanmaýan we asma potensialynda bolup biler, şonuň üçin elektronlar topraklanan substrat saklaýjysyndan geçip, anoddan akyp bilmez, şeýdip örtülen substraty bombalaýan ýokary energiýaly elektronlar azaldylýar, elektronlaryň döredýän substrat gyzgynlygynyň artmagyny azaldýar we substratyň ikinji derejeli elektron bombardmanyny ep-esli gowşadýar, netijede ýylylyk döreýär.
(5) Nyşanyň deň däl aşynmagy. Adaty magnetron püskürtme nyşanynda deň däl magnit meýdanynyň ulanylmagy, şonuň üçin plazma ýerli konwergensiýa täsirini döreder, nyşananyň ýerli ýerleşýän ýerinde püskürtme aşynma tizligini ýokary eder, netijede nyşana uly deň däl aşynma döreder. Nyşanyň ulanylyş tizligi, adatça, takmynan 30% -e deňdir. Nyşanyň materialynyň ulanylyş tizligini ýokarlandyrmak üçin, dürli gowulandyryş çärelerini görüp bilersiňiz, mysal üçin, nyşana magnit meýdanynyň görnüşini we paýlanyşyny gowulandyrmak, şeýlelik bilen nyşanadaky magnitiň katodyň içki hereketi we ş.m.
Magnit material nyşanalaryny püskürtmekde kynçylyk. Püskürtmek nyşana ýokary magnit geçirijiligi bolan materialdan ýasalsa, magnit güýç çyzyklary nyşanalaryň içinden gönüden-göni geçip, magnit gysga zynjyr hadysasyny ýüze çykarar, şeýlelik bilen magnetron boşalmagyny kynlaşdyrar. Kosmos magnit meýdanyny döretmek üçin adamlar dürli barlaglary geçirdiler, mysal üçin, nyşana materialynyň içinde magnit meýdanyny doýurmak, nyşanalarda köp boşluk galdyrmak, magnit nyşanalarynyň temperaturasynyň ýokarlanmagy ýa-da nyşana materialynyň magnit geçirijiligini azaltmak üçin.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 1-nji dekabry