மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சின் பண்புகள்
(3) குறைந்த ஆற்றல் சிதறல். இலக்கிற்குப் பயன்படுத்தப்படும் குறைந்த எதிர்மின்முனை மின்னழுத்தத்தின் காரணமாக, பிளாஸ்மா எதிர்மின்முனைக்கு அருகிலுள்ள இடத்தில் காந்தப்புலத்தால் பிணைக்கப்படுகிறது, இதனால் அதிக ஆற்றல் கொண்ட மின்னூட்டப்பட்ட துகள்கள் அடி மூலக்கூறின் பக்கமாகச் சுடப்படுவதைத் தடுக்கிறது. எனவே, மின்னூட்டப்பட்ட துகள் தாக்குதலால் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் போன்ற அடி மூலக்கூறுகளுக்கு ஏற்படும் சேதத்தின் அளவு, மற்ற சிதறல் முறைகளால் ஏற்படுவதை விட குறைவாக உள்ளது.
(4) குறைந்த அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கில் ஸ்பட்டரிங் வீதம் அதிகமாக உள்ளது, ஏனெனில் காந்தப்புலத்திற்குள் உள்ள பகுதியில் கேத்தோடு இலக்கு, அதாவது, இலக்கு வெளியேற்ற ஓடுபாதையின் ஒரு சிறிய உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட பகுதிக்குள் எலக்ட்ரான் செறிவு அதிகமாக உள்ளது, அதேசமயம் காந்த விளைவு பகுதிக்கு வெளியே, குறிப்பாக காந்தப்புலத்திலிருந்து தொலைவில் உள்ள அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புக்கு அருகில், சிதறல் காரணமாக எலக்ட்ரான் செறிவு மிகவும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் இது டைபோல் ஸ்பட்டரிங்கை விட குறைவாகவும் இருக்கலாம் (ஏனெனில் இரண்டு வேலை செய்யும் வாயு அழுத்தங்களுக்கு இடையே ஒரு வரிசை அளவு வேறுபாடு உள்ளது). எனவே, மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் நிலைமைகளின் கீழ், அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் மோதும் எலக்ட்ரான்களின் செறிவு சாதாரண டையோடு ஸ்பட்டரிங்கில் இருப்பதை விட மிகவும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் அடி மூலக்கூறில் விழும் எலக்ட்ரான்களின் எண்ணிக்கை குறைவதால் அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையில் அதிகப்படியான அதிகரிப்பு தவிர்க்கப்படுகிறது. மேலும், மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் முறையில், மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் சாதனத்தின் ஆனோடை கேத்தோடின் அருகாமையில் அமைக்கலாம். அத்துடன், சப்ஸ்ட்ரேட் ஹோல்டரையும் தரை இணைப்பு இல்லாமல் சஸ்பென்ஷன் பொட்டன்ஷியலில் வைக்கலாம். இதனால், எலக்ட்ரான்கள் தரை இணைப்பு செய்யப்பட்ட சப்ஸ்ட்ரேட் ஹோல்டர் வழியாகச் செல்லாமல் ஆனோடு வழியாக வெளியேறிவிடும். இதன் விளைவாக, பூசப்பட்ட சப்ஸ்ட்ரேட்டின் மீது மோதும் உயர் ஆற்றல் எலக்ட்ரான்களின் எண்ணிக்கை குறைக்கப்படுகிறது. எலக்ட்ரான்களால் ஏற்படும் சப்ஸ்ட்ரேட் வெப்ப அதிகரிப்பும் தணிக்கப்படுகிறது. மேலும், சப்ஸ்ட்ரேட்டின் மீது ஏற்படும் இரண்டாம் நிலை எலக்ட்ரான் தாக்குதலால் உருவாகும் வெப்பமும் பெருமளவில் தணிக்கப்படுகிறது.
(5) இலக்கின் சீரற்ற அரிப்பு. பாரம்பரிய மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கில், சீரற்ற காந்தப்புலம் பயன்படுத்தப்படுவதால், பிளாஸ்மா ஒரு உள்ளூர் குவிப்பு விளைவை உருவாக்கும். இது இலக்கின் உள்ளூர் நிலையில் ஸ்பட்டரிங் அரிப்பு விகிதத்தை அதிகமாக்கும், இதன் விளைவாக இலக்கில் குறிப்பிடத்தக்க சீரற்ற அரிப்பு ஏற்படும். இலக்கின் பயன்பாட்டு விகிதம் பொதுவாக சுமார் 30% ஆகும். இலக்குப் பொருளின் பயன்பாட்டு விகிதத்தை மேம்படுத்துவதற்காக, இலக்கு காந்தப்புலத்தின் வடிவம் மற்றும் பரவலை மேம்படுத்துதல், இலக்கு எதிர்மின்வாயில் உள்ள காந்தத்தின் உள் இயக்கத்தை மேம்படுத்துதல் போன்ற பல்வேறு மேம்பாட்டு நடவடிக்கைகளை எடுக்கலாம்.
காந்தப் பொருள் இலக்குகளை ஸ்பட்டரிங் செய்வதில் உள்ள சிரமம். ஸ்பட்டரிங் இலக்கானது அதிக காந்த ஊடுதிறன் கொண்ட ஒரு பொருளால் செய்யப்பட்டிருந்தால், காந்த விசைக்கோடுகள் இலக்கின் உட்புறம் வழியாக நேரடியாகச் சென்று ஒரு காந்தக் குறுக்குச் சுற்று நிகழ்வை ஏற்படுத்தும், இதனால் மேக்னட்ரான் வெளியேற்றம் கடினமாகிறது. விண்வெளிக் காந்தப்புலத்தை உருவாக்குவதற்காக, மக்கள் பல்வேறு ஆய்வுகளை மேற்கொண்டுள்ளனர், எடுத்துக்காட்டாக, இலக்குப் பொருளின் உள்ளே காந்தப்புலத்தை நிறைவுறச் செய்வது, இலக்கில் அதிக இடைவெளிகளை விட்டு காந்த இலக்கின் வெப்பநிலை அதிகரிப்பை ஊக்குவிப்பது, அல்லது இலக்குப் பொருளின் காந்த ஊடுதிறனைக் குறைப்பது.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர்-01-2023