Магнетрон сиптерү каплавының үзенчәлекләре
(3) Түбән энергияле сиптерү. Максатка түбән катод көчәнеше бирелгәнлектән, плазма катод янындагы киңлектәге магнит кыры белән бәйләнгән, шулай итеп, югары энергияле зарядлы кисәкчәләрнең атылган субстрат ягына үтеп керүен тоткарлый. Шуңа күрә, зарядлы кисәкчәләр белән бомбага тоту нәтиҗәсендә субстратка, мәсәлән, ярымүткәргеч җайланмаларга зыян килү дәрәҗәсе башка сиптерү ысуллары белән чагыштырганда түбәнрәк.
(4) Түбән субстрат температурасы. Магнетрон сиптерү сиптерү тизлеге югары, чөнки катод максаты магнит кырындагы өлкә эчендә, ягъни максат разряд полосасында электрон концентрациясе зур, ә өлкәдән тыш магнит эффектында, бигрәк тә якындагы субстрат өслегенең магнит кырыннан еракта, дисперсия аркасында электрон концентрациясе диполь сиптерүеннән күпкә түбәнрәк, хәтта түбәнрәк булырга мөмкин (ике эш газы басымы арасындагы аерма зурлык тәртибендә). Шуңа күрә, магнетрон сиптерү шартларында, субстрат өслегенә һөҗүм итүче электроннар концентрациясе гадәти диод сиптерүенә караганда күпкә түбәнрәк, һәм субстратка төшкән электроннар саны кимү сәбәпле, субстрат температурасының артык артуыннан сакланырга мөмкин. Моннан тыш, магнетрон сиптерү ысулында магнетрон сиптерү җайланмасының анодын катод тирәсендә урнаштырырга мөмкин, һәм субстрат тотучысын да җир белән тоташтырмыйча һәм суспензия потенциалында урнаштырырга мөмкин, шуңа күрә электроннар җир белән тоташтырылган субстрат тотучысыннан үтеп, анод аша агып китмәскә мөмкин, шуның белән плитәләнгән субстратны бомбага тотучы югары энергияле электроннар кими, электроннар китергән субстрат җылылыгы артуын киметә һәм субстратны икенчел электрон бомбага тотуны сизелерлек киметә, нәтиҗәдә җылылык барлыкка килә.
(5) Максатның тигез булмаган герметизациясе. Традицион магнетрон сиптерү максатларында тигез булмаган магнит кыры кулланыла, шуңа күрә плазма локаль конвергенция эффектын тудыра, максатның локаль позициясендә сиптерү герметизациясе тизлеге югары була, нәтиҗәдә максат зур тигез булмаган герметизациягә китерә. Максатның куллану дәрәҗәсе, гадәттә, якынча 30% тәшкил итә. Максат материалының куллану дәрәҗәсен яхшырту өчен, төрле яхшырту чараларын күрергә мөмкин, мәсәлән, максат магнит кырының формасын һәм таралышын яхшырту, шулай итеп, максат катодындагы магнит эчке хәрәкәткә керә һ.б.
Магнит материалы белән максатларны сиптерүдә кыенлыклар. Әгәр сиптерү максаты югары магнит үткәрүчәнлеге булган материалдан ясалган булса, магнит көч сызыклары турыдан-туры максатның эчке өлеше аша үтеп, магнит кыска ялганышы күренеше барлыкка киләчәк, шуның белән магнетрон разрядын кыенлаштыра. Фаза магнит кырын булдыру өчен кешеләр төрле тикшеренүләр үткәрделәр, мәсәлән, максат материалы эчендәге магнит кырын туендыру, максатта күп бушлыклар калдыру, магнит максат температурасы артуының күбрәк агып чыгуын стимуллаштыру яки максат материалының магнит үткәрүчәнлеген киметү.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2023 елның 1 декабре