Charakterystyka powłoki napylanej magnetronowo
(3) Rozpylanie niskoenergetyczne. Dzięki niskiemu napięciu katody przyłożonemu do tarczy, plazma jest wiązana przez pole magnetyczne w przestrzeni w pobliżu katody, co hamuje przepływ wysokoenergetycznych cząstek naładowanych po stronie podłoża, w którą strzelają ludzie. W związku z tym stopień uszkodzenia podłoża, takiego jak urządzenia półprzewodnikowe, spowodowany bombardowaniem cząstkami naładowanymi, jest mniejszy niż w przypadku innych metod rozpylania.
(4) Niska temperatura podłoża. Szybkość rozpylania magnetronowego jest wysoka, ponieważ katoda znajduje się w polu magnetycznym w tym obszarze, czyli w pasie wyładowania docelowego w małym, zlokalizowanym obszarze, gdzie stężenie elektronów jest wysokie. Natomiast w efekcie magnetycznym poza obszarem, zwłaszcza z dala od pola magnetycznego pobliskiej powierzchni podłoża, stężenie elektronów jest znacznie niższe, a nawet niższe niż w przypadku rozpylania dipolowego (ze względu na różnicę ciśnień między dwoma gazami roboczymi rzędu wielkości). Dlatego w warunkach rozpylania magnetronowego stężenie elektronów bombardujących powierzchnię podłoża jest znacznie niższe niż w przypadku zwykłego rozpylania diodowego, a nadmierny wzrost temperatury podłoża jest eliminowany dzięki zmniejszeniu liczby elektronów padających na podłoże. Ponadto w metodzie rozpylania magnetronowego anoda urządzenia do rozpylania magnetronowego może być umieszczona w pobliżu katody, a uchwyt podłoża może być nieuziemiony i znajdować się w potencjale zawieszenia, tak aby elektrony nie mogły przejść przez uziemiony uchwyt podłoża i odpłynąć przez anodę, co powoduje zmniejszenie ilości elektronów o wysokiej energii bombardujących platerowane podłoże, co z kolei zmniejsza wzrost ciepła podłoża wywoływany przez elektrony i znacznie osłabia wtórne bombardowanie podłoża elektronami, skutkujące wytwarzaniem ciepła.
(5) Nierównomierne trawienie tarczy. W tradycyjnym tarczy do rozpylania magnetronowego, zastosowanie nierównomiernego pola magnetycznego, dzięki któremu plazma wywołuje efekt lokalnej konwergencji, powoduje, że tarcza w lokalnym położeniu względem szybkości trawienia rozpylania jest bardzo duża, w rezultacie tarcza będzie generować znacząco nierównomierne trawienie. Stopień wykorzystania tarczy wynosi zazwyczaj około 30%. Aby poprawić stopień wykorzystania materiału tarczy, można podjąć szereg działań, takich jak poprawa kształtu i rozkładu pola magnetycznego tarczy, tak aby magnes w katodzie tarczy poruszał się swobodnie i tak dalej.
Trudności w rozpylaniu tarcz z materiału magnetycznego. Jeśli tarcza rozpylająca jest wykonana z materiału o wysokiej przenikalności magnetycznej, linie sił magnetycznych przechodzą bezpośrednio przez jej wnętrze, powodując zjawisko zwarcia magnetycznego, co utrudnia wyładowanie magnetronowe. Aby wygenerować pole magnetyczne w przestrzeni kosmicznej, przeprowadzono szereg badań, na przykład w celu nasycenia pola magnetycznego wewnątrz materiału tarczy, pozostawiając wiele szczelin w tarczy, co sprzyjałoby generowaniu większego wycieku magnetycznego w przypadku wzrostu temperatury tarczy, lub w celu zmniejszenia przenikalności magnetycznej materiału tarczy.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 01-12-2023