Хусусиятҳои пӯшиши пошидани магнетронӣ
(3) Пошидани энергияи кам. Аз сабаби шиддати пасти катод, ки ба ҳадаф татбиқ мешавад, плазма аз ҷониби майдони магнитӣ дар фазои наздики катод пайваст мешавад ва бо ин васила зарраҳои зарядноки энергияи баландро ба паҳлӯи субстрат, ки одамон тир мепарронанд, бозмедорад. Аз ин рӯ, дараҷаи осеб ба субстрат, ба монанди дастгоҳҳои нимноқил, ки дар натиҷаи бомбаборони зарраҳои заряднок ба вуҷуд меоянд, нисбат ба дигар усулҳои пошидани энергия камтар аст.
(4) Ҳарорати пасти субстрат. Суръати пошидани магнетрон баланд аст, зеро ҳадафи катод дар майдони магнитӣ дар дохили минтақа, яъне дар хатти холӣшавии ҳадаф дар дохили як минтақаи хурди маҳаллишуда консентратсияи электрон баланд аст, дар ҳоле ки дар таъсири магнитӣ берун аз минтақа, махсусан дур аз майдони магнитии сатҳи субстрат, консентратсияи электрон аз сабаби парокандагии пошидани дипол хеле пасттар аст ва ҳатто метавонад аз пошидани дипол пасттар бошад (аз сабаби фарқияти байни ду фишори гази корӣ дар як тартиби бузургӣ). Аз ин рӯ, дар шароити пошидани магнетрон, консентратсияи электронҳое, ки сатҳи субстратро бомбаборон мекунанд, нисбат ба пошидани диодҳои оддӣ хеле пасттар аст ва аз афзоиши аз ҳад зиёди ҳарорати субстрат пешгирӣ карда мешавад, зеро шумораи электронҳои ба субстрат афтида кам мешавад. Илова бар ин, дар усули пошидани магнетронӣ, аноди дастгоҳи пошидани магнетронӣ метавонад дар атрофи катод ҷойгир бошад ва дорандаи субстрат низ метавонад заминӣ набошад ва дар потенсиали суспензия бошад, то ки электронҳо аз дорандаи субстрати заминӣ нагузаранд ва аз анод берун раванд, ки бо ин васила электронҳои баландэнергияро, ки ба субстрати пластинавӣ бомбаборон мекунанд, кам мекунад, афзоиши гармии субстратро, ки аз ҷониби электронҳо ба вуҷуд меояд, кам мекунад ва бомбаборони дуюмдараҷаи электронии субстратро, ки боиси тавлиди гармӣ мегардад, хеле суст мекунад.
(5) Кандакории нобаробари ҳадаф. Дар ҳадафи анъанавии пошидани магнетронӣ, истифодаи майдони магнитии нобаробар, ки плазма таъсири ҳамгироии маҳаллиро ба вуҷуд меорад, суръати кандакории пошидани ҳадафро дар мавқеи маҳаллӣ хеле хуб мегардонад ва натиҷа ин аст, ки ҳадаф кандакории нобаробари назаррасро ба вуҷуд меорад. Сатҳи истифодаи ҳадаф умуман тақрибан 30% -ро ташкил медиҳад. Барои беҳтар кардани сатҳи истифодаи маводи ҳадаф, шумо метавонед чораҳои гуногуни беҳтаркуниро андешед, ба монанди беҳтар кардани шакл ва тақсимоти майдони магнитии ҳадаф, то ки магнит дар дохили катоди ҳадаф ҳаракат кунад ва ғайра.
Мушкилот дар пошидани ҳадафҳои маводи магнитӣ. Агар ҳадафи пошидани аз маводе сохта шуда бошад, ки қобилияти баланди гузариши магнитӣ дорад, хатҳои қувваи магнитӣ мустақиман аз дохили ҳадаф мегузаранд ва падидаи кӯтоҳи магнитӣ ба вуҷуд меояд, ки боиси ихроҷи магнетрон мегардад. Барои ба вуҷуд овардани майдони магнитии кайҳонӣ, одамон як қатор таҳқиқотро анҷом додаанд, масалан, барои сер кардани майдони магнитӣ дар дохили маводи ҳадаф, ки дар он сӯрохиҳои зиёде дар ҳадаф боқӣ мемонанд, то ба пайдоиши ихроҷи бештари ҳарорати ҳадафи магнитӣ мусоидат кунанд ё қобилияти гузариши магнитии маводи ҳадафро коҳиш диҳанд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 01 декабри соли 2023