Àgwà nke mkpuchi magnetron sputtering Isi nke 2

Àgwà nke mkpuchi magnetron sputtering

(3) Ike dị ala na-agbapụta. N'ihi obere voltaji kathode etinyere na ihe a na-achọ, a na-ejikọta plasma site na oghere magnet dị n'ime oghere dị nso na kathode ahụ, si otú a na-egbochi ihe ndị nwere ike dị elu n'akụkụ ihe ndị a gbara. Ya mere, oke mmebi nke ihe ndị a na-eme dị ka ngwaọrụ semiconductor nke bọmbụ ihe ndị a na-agbapụta dị ala karịa nke ụzọ ndị ọzọ na-agbapụta ihe kpatara.

(4) Okpomọkụ dị ala nke substrate. Ọkwa mwepụta nke magnetron dị elu, n'ihi na ihe mgbaru ọsọ cathode dị na magnet n'ime mpaghara ahụ, ya bụ, ụzọ mwepụta nke ihe mgbaru ọsọ dị n'ime obere mpaghara mpaghara nke njupụta elektrọn dị elu, ebe n'ime mmetụta magnet n'èzí mpaghara ahụ, karịsịa n'ebe dị anya na ubi magnet nke elu substrate dị nso, njupụta elektrọn n'ihi mgbasa nke dị ala karịa, ọ pụkwara ịdị ala karịa njupụta dipole (n'ihi ọdịiche dị n'etiti nrụgide gas abụọ na-arụ ọrụ nke usoro nha). Ya mere, n'okpuru ọnọdụ njupụta magnetron, njupụta nke elektrọn na-agbawa elu nke substrate ahụ dị nnọọ ala karịa nke na njupụta diode nkịtị, a na-ezerekwa mmụba gabigara ókè na okpomọkụ substrate n'ihi mbelata na ọnụọgụgụ ihe merenụ na substrate ahụ. Tinyere nke ahụ, n'ụzọ magnetron sputtering, enwere ike ịchọta anode nke ngwaọrụ sputtering magnetron gburugburu cathode, a pụkwara ịtọpụ ihe njide substrate ahụ ma nwee ike nkwụsịtụ, ka electrons ghara ịgafe ihe njide substrate ahụ ma gbapụ site na anode ahụ, si otú a na-eme ka electrons ike dị elu na-atụba substrate ahụ a pịrị apị belata, na-ebelata mmụba nke okpomọkụ substrate nke electrons kpatara, ma na-ebelata nke ukwuu nnukwu bọmbụ electron nke abụọ nke substrate nke na-ebute mmepụta okpomọkụ.

(5) Ịdọpụ ihe e ji achọ ihe n'enweghị nha anya. N'ihe e ji achọ ihe e ji achọ ihe n'ọdịdị magnetron, iji ihe e ji achọ ihe n'ọdịdị magnetron eme ihe, iji ihe e ji achọ ihe n'ọdịdị magnetron eme ihe, nke a ga-eme ka ihe e ji achọ ihe n'ọdịdị mpaghara dị mma, ihe a ga-esi na ya pụta bụ na ihe e ji achọ ihe n'ọdịdị ahụ ga-emepụta ihe e ji achọ ihe n'enweghị nha anya. Ọnụego ojiji nke ihe e ji achọ ihe n'ọdịdị ahụ bụ ihe dịka 30%. Iji melite ọsọ ojiji nke ihe e ji achọ ihe n'ọdịdị ahụ, ị ​​nwere ike ime ọtụtụ ihe e ji achọ ihe, dịka imeziwanye ọdịdị na nkesa nke ihe e ji achọ ihe n'ọdịdị magnet ahụ, ka magnet ahụ dị na mmegharị ime cathode ahụ wee gaa n'ihu.

Ihe isi ike dị na ịgbasa ihe ndọta. Ọ bụrụ na e ji ihe nwere nnukwu ikike ndọta mee ihe ndọta, ahịrị ike ndọta ga-agafe ozugbo n'ime ihe ndọta iji mee ihe mberede njikọ magnet, si otú a na-eme ka mwepụta magnetron sie ike. Iji mepụta ebe ndọta oghere, ndị mmadụ emeela ọtụtụ ọmụmụ ihe, dịka ọmụmaatụ, iji mee ka ebe ndọta ahụ ju n'ime ihe ndọta ahụ, na-ahapụ ọtụtụ oghere na ihe ndọta ahụ iji kwalite mmepụta nke mmụba okpomọkụ ndọta ahụ, ma ọ bụ iji belata ikike ndọta nke ihe ndọta ahụ.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua