Ngā āhuatanga o te paninga pupuhi magnetron
(3) Te iti o te pūngao e pupuhi ana. Nā te iti o te ngaohiko katote e pā ana ki te ūnga, ka herea te plasma e te papa aukume i te wāhi e tata ana ki te katote, ā, ka ārai i ngā matūriki utu nui-pūngao ki te taha o te papa i pupuhihia e te tangata. Nō reira, ko te nui o te kino ki te papa pēnei i ngā taputapu haurua-ira i puta mai i te pupuhitanga o ngā matūriki utu he iti ake i tērā i puta mai i ētahi atu tikanga pupuhi.
(4) Te pāmahana iti o te papa. He teitei te tere o te pupuhi o te Magnetron, nā te mea he teitei te kukū o te irahiko i roto i te papa aukume i roto i te rohe, arā, te ara tukunga ūnga i roto i te rohe iti o te rohe, i te mea i roto i te pānga aukume i waho o te rohe, inā koa i tawhiti atu i te papa aukume o te mata o te papa e tata ana, ko te kukū o te irahiko nā te marara o te mea he iti rawa, ā, tera pea he iti iho i te pupuhi o te dipole (nā te rerekētanga i waenga i te pēhanga hau mahi e rua o te ota o te nui). Nō reira, i raro i ngā āhuatanga pupuhi o te Magnetron, he iti iho te kukū o ngā irahiko e pupuhi ana i te mata o te papa i tērā i roto i te pupuhi o te diode noa, ā, ka karohia te pikinga nui o te pāmahana o te papa nā te whakaiti i te maha o ngā irahiko e tau ana ki runga i te papa. Hei tāpiritanga, i roto i te tikanga whakapūtanga magnetron, ka taea te whakanoho i te anode o te taputapu whakapūtanga magnetron ki te taha o te cathode, ā, ka taea hoki te wehe i te turanga pupuri me te pupuri i te pūmanawa whakatārewatanga, kia kore ai e taea e ngā irahiko te haere mā roto i te turanga pupuri whenua me te rere atu mā roto i te anode, ā, ka whakaitihia ngā irahiko kaha-teitei e pupuhi ana i te turanga whakakikoruatia, ka whakaitihia te pikinga o te wera o te turanga i puta mai i ngā irahiko, ā, ka tino whakaitihia te pupuhitanga irahiko tuarua o te turanga ka hua ake te whakaputa wera.
(5) Te whakairo kore taurite o te ūnga. I roto i te ūnga tuku iho o te magnetron sputtering, mā te whakamahi i tētahi papa aukume kore taurite, ka puta he pānga huihuinga ā-rohe i te plasma, ka nui te tere o te whakairo sputtering i te tūranga ā-rohe o te ūnga, ko te mutunga iho ka puta he whakairo kore taurite nui i te ūnga. Ko te tere whakamahinga o te ūnga he tata ki te 30%. Hei whakapai ake i te tere whakamahinga o te rauemi ūnga, ka taea e koe te mahi i ngā momo mahi whakapai ake, pēnei i te whakapai ake i te āhua me te tohatoha o te papa aukume ūnga, kia neke ai te aukume i roto i te cathode ūnga me ētahi atu.
He uaua ki te whakapūpū i ngā rauemi aukume ki ngā pūtake. Mena he rauemi teitei te uruhanga aukume i hangaia ai te pūtake whakapūpū, ka tika te haere o ngā rārangi kaha aukume mā roto i te pūtake, ka puta he āhuatanga ara iahiko poto aukume, ā, ka uaua te tukunga o te aukume. Hei whakaputa i te papa aukume o te wāhi, kua whakahaerehia e te tangata he maha ngā rangahau, hei tauira, hei whakakī i te papa aukume ki roto i te rauemi pūtake, ka waiho he maha ngā āputa i roto i te pūtake hei whakatairanga i te putanga ake o te turuturu o te pikinga pāmahana o te pūtake aukume, hei whakaiti rānei i te uruhanga aukume o te rauemi pūtake.
–Nā tekaihanga mīhini paninga korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Hakihea-01-2023