Litšobotsi tsa ho roala ha magnetron sputtering
(3) Ho qhalana ha matla a tlase. Ka lebaka la motlakase o tlase oa cathode o sebelisoang ho sepheo, plasma e tlangwa ke matla a makenete sebakeng se haufi le cathode, ka hona e thibela likaroloana tse nang le matla a mangata lehlakoreng la substrate tseo batho ba thuntsoeng ba li thuntseng. Ka hona, tekanyo ea tšenyo ho substrate joalo ka lisebelisoa tsa semiconductor tse bakoang ke ho phatloha ha likaroloana tse nang le matla e tlase ho feta e bakoang ke mekhoa e meng ea ho qhalana.
(4) Mocheso o tlase wa substrate. Sekgahla sa ho phunya ha magnetron se hodimo, hobane sepheo sa cathode tshimong ya makenete ka hara sebaka seo, ke hore, tsela eo sepheo se ntshang ka yona sebakeng se senyenyane sa mahloriso a dieleketerone e hodimo, ha ka tshusumetso ya makenete ka ntle ho sebaka seo, haholoholo hole le matla a makenete a bokahodimo ba substrate bo haufi, mahloriso a dieleketerone ka lebaka la ho hasana ha karolo e tlase haholo, mme e ka ba tlase ho feta ho phunya ha dipole (ka lebaka la phapang pakeng tsa kgatello e mmedi ya kgase e sebetsang ya tatellano ya boholo). Ka hona, tlasa maemo a phunya ha magnetron, mahloriso a dieleketerone tse hlaselang bokahodimo ba substrate a tlase haholo ho feta a phunyang diode e tloaelehileng, mme keketseho e feteletseng ya mocheso wa substrate e qojwa ka lebaka la phokotso ya palo ya dieleketerone tse etsahalang substrate. Ho phaella moo, mokgweng wa ho phunya ha magnetron, anode ya sesebediswa sa ho phunya ha magnetron e ka fumaneha ho potoloha sebaka sa cathode, mme setshwari sa substrate se ka boela sa phunya le ho ba le bokgoni ba ho fanyeha, e le hore dielektrone di se ke tsa feta ka hara setshwari sa substrate se thehilweng fatshe mme tsa phalla ka hara anode, ka hona tsa etsa hore dielektrone tse nang le matla a mangata tse hlaselang substrate e phuthetsweng di fokotsehe, e leng se fokotsang keketseho ya mocheso wa substrate o bakwang ke dielektrone, mme sa fokotsa haholo ho phunya ha dielektrone tsa bobedi tsa substrate ho fellang ka tlhahiso ya mocheso.
(5) Ho se leka-lekane ha sepheo. Sepheo sa setso sa ho phunya sa magnetron, tšebeliso ea matla a makenete a sa lekanang, kahoo plasma e tla hlahisa phello ea ho kopana ha sebaka, e tla etsa hore sepheo se be boemong ba sebaka sa sekhahla sa ho phunya sa ho phunya se be seholo, sephetho ke hore sepheo se tla hlahisa ho se leka-lekane ho hoholo. Sekhahla sa tšebeliso ea sepheo ka kakaretso ke hoo e ka bang 30%. E le ho ntlafatsa sekhahla sa ts'ebeliso ea thepa ea sepheo, u ka nka mehato e fapaneng ea ntlafatso, joalo ka ho ntlafatsa sebopeho le kabo ea matla a makenete a reretsoeng, e le hore makenete a sepheong a katolose motsamao oa ka hare le tse ling.
Bothata ba ho phunya dipheo tsa thepa ya makenete. Haeba sepheo sa ho phunya se entswe ka thepa e nang le ho kenella ho hoholo ha makenete, mela ya matla a makenete e tla feta ka ho toba kahare ho sepheo ho etsa ketsahalo ya potoloho e kgutshwane ya makenete, ka hona ho etsa hore ho be thata ho ntsha magnetron. E le ho hlahisa matla a makenete a sebaka, batho ba entse dithuto tse fapaneng, mohlala, ho tlatsa matla a makenete ka hare ho thepa e shebilweng, ho siya dikgeo tse ngata sepheong ho kgothaletsa tlhahiso ya ho dutla ho eketsehileng ha keketseho ya mocheso wa sepheo sa makenete, kapa ho fokotsa ho kenella ha matla a makenete a thepa e shebilweng.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Tshitwe-01-2023