میگنیٹران سپٹرنگ کوٹنگ کی خصوصیات
(3) کم توانائی کا پھونکنا۔ ہدف پر لاگو ہونے والے کم کیتھوڈ وولٹیج کی وجہ سے، پلازما کیتھوڈ کے قریب کی جگہ میں مقناطیسی میدان سے جکڑا جاتا ہے، اس طرح لوگوں کو گولی مارنے والے سبسٹریٹ کی طرف زیادہ توانائی والے ذرات کو روکتا ہے۔ لہٰذا، سبسٹریٹ کو پہنچنے والے نقصان کی ڈگری جیسے سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز چارجڈ پارٹیکل بمباری کی وجہ سے ہونے والے اسپٹرنگ طریقوں سے کم ہے۔
(4) کم سبسٹریٹ درجہ حرارت۔ Magnetron sputtering sputtering کی شرح زیادہ ہے، کیونکہ خطے کے اندر مقناطیسی میدان میں کیتھوڈ کا ہدف، یعنی الیکٹران کے ارتکاز کے ایک چھوٹے سے مقامی علاقے کے اندر ٹارگٹ ڈسچارج رن وے زیادہ ہے، جبکہ مقناطیسی اثر میں، خاص طور پر قریبی سطح کے سبسٹریٹ کے مقناطیسی میدان سے دور، الیکٹران کا ارتکاز بہت کم ہونے کی وجہ سے، sputter کے پھیلاؤ اور پھیلاؤ سے بھی کم ہو سکتا ہے۔ (کیونکہ دو کام کرنے والے گیس کے دباؤ کے درمیان فرق کی وجہ سے ایک آرڈر کی شدت)۔ لہذا، میگنیٹران سپٹرنگ کے حالات میں، سبسٹریٹ کی سطح پر بمباری کرنے والے الیکٹرانوں کا ارتکاز عام ڈایڈڈ سپٹرنگ کے مقابلے میں بہت کم ہے، اور سبسٹریٹ پر الیکٹران کے واقعات کی تعداد میں کمی کی وجہ سے سبسٹریٹ کے درجہ حرارت میں ضرورت سے زیادہ اضافے سے گریز کیا جاتا ہے۔ اس کے علاوہ، میگنیٹران سپٹرنگ کے طریقہ کار میں، میگنیٹران سپٹرنگ ڈیوائس کا انوڈ کیتھوڈ کے ارد گرد واقع ہو سکتا ہے، اور سبسٹریٹ ہولڈر کو بھی بے بنیاد اور معطلی کی صلاحیت میں رکھا جا سکتا ہے، تاکہ الیکٹران گراؤنڈڈ سبسٹریٹ ہولڈر سے نہ گزریں اور انوڈ کے ذریعے بہہ سکیں، اس طرح الیکٹرانز کو کم کر دیا جائے گا، اور اس کے نتیجے میں سبسٹریٹ ہولڈر کو کم کر دیا جائے گا۔ الیکٹرانوں کی وجہ سے سبسٹریٹ گرمی میں اضافہ، اور سبسٹریٹ کے ثانوی الیکٹران بمباری کو بہت کم کرنا جس کے نتیجے میں گرمی پیدا ہوتی ہے۔
(5) ہدف کی ناہموار نقاشی۔ روایتی magnetron sputtering ہدف میں، ایک ناہموار مقناطیسی میدان کا استعمال، لہذا پلازما ایک مقامی کنورجنسی اثر پیدا کرے گا، اسپٹرنگ اینچنگ کی شرح کی مقامی پوزیشن پر ہدف بنائے گا، نتیجہ یہ ہے کہ ہدف ایک اہم ناہموار اینچنگ پیدا کرے گا۔ ہدف کے استعمال کی شرح عام طور پر تقریباً 30% ہے۔ ہدف کے مواد کے استعمال کی شرح کو بہتر بنانے کے لیے، آپ مختلف قسم کے بہتری کے اقدامات کر سکتے ہیں، جیسے ہدف کے مقناطیسی میدان کی شکل اور تقسیم کو بہتر بنانا، تاکہ ہدف کیتھوڈ میں مقناطیس کی اندرونی حرکت وغیرہ۔
مقناطیسی مواد کے اہداف کو پھٹنے میں دشواری۔ اگر پھٹنے والا ہدف اعلی مقناطیسی پارگمیتا والے مواد سے بنا ہے تو، مقناطیسی قوت کی مقناطیسی لکیریں براہ راست ہدف کے اندرونی حصے سے گزریں گی تاکہ مقناطیسی شارٹ سرکٹ کا واقعہ پیش آئے، اس طرح میگنیٹران خارج ہونے کو مشکل بناتا ہے۔ خلائی مقناطیسی میدان پیدا کرنے کے لیے، لوگوں نے مختلف قسم کے مطالعے کیے ہیں، مثال کے طور پر، ہدف کے مواد کے اندر مقناطیسی میدان کو سیر کرنا، مقناطیسی ہدف کے درجہ حرارت میں اضافے کے زیادہ رساو کو فروغ دینے کے لیے، یا ہدف کے مواد کی مقناطیسی پارگمیتا کو کم کرنے کے لیے ہدف میں بہت سے خلاء کو چھوڑ کر۔
-یہ مضمون جاری کیا گیا ہے۔ویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا
پوسٹ ٹائم: دسمبر-01-2023