Магнетрон цацалтын бүрхүүлийн шинж чанар
(3) Бага энергитэй цацалт. Байнд бага катодын хүчдэл хэрэглэснээс болж плазм нь катодын ойролцоох орон зайд соронзон оронтой холбогддог тул өндөр энергитэй цэнэгтэй хэсгүүдийг буудсан хүмүүсийн суурийн хажуу талд саатуулдаг. Тиймээс цэнэгтэй хэсгүүдийн бөмбөгдөлтөөс үүдэлтэй хагас дамжуулагч төхөөрөмж гэх мэт суурийн гэмтлийн зэрэг нь бусад цацалтын аргуудаас бага байдаг.
(4) Субстратын бага температур. Магнетрон цацалтын цацалтын хурд өндөр байдаг, учир нь тухайн бүс дэх соронзон орон дахь катодын бай, өөрөөр хэлбэл жижиг орон нутгийн хэсэгт байрлах байны цэнэг алдалтын зурвас дахь электроны концентраци өндөр байдаг бол тухайн бүсийн гаднах соронзон нөлөөнд, ялангуяа ойролцоох субстратын гадаргуугийн соронзон орны зайд электроны концентраци нь дипол цацалтын тархалтаас хамаагүй бага, тэр ч байтугай бага байж болно (учир нь хоёр ажлын хийн даралтын зөрүүний хэмжээнээс хамаарна). Тиймээс магнетрон цацалтын нөхцөлд субстратын гадаргуу дээр бөмбөгдөж буй электронуудын концентраци нь ердийн диод цацалтынхаас хамаагүй бага бөгөөд субстрат дээр тусах электронуудын тоо буурснаас болж субстратын температур хэт их нэмэгдэхээс зайлсхийдэг. Үүнээс гадна, магнетрон цацалтын аргаар магнетрон цацалтын төхөөрөмжийн анод нь катодын ойролцоо байрлаж болох бөгөөд субстрат баригч нь газардуулагдаагүй, түдгэлзүүлэлтийн потенциалтай байж болох тул электронууд газардуулагдсан субстрат баригчаар дамжин анодоор урсахаас сэргийлж, улмаар бүрсэн субстратыг бөмбөгдөж буй өндөр энергийн электронуудыг бууруулж, электронуудаас үүдэлтэй субстратын дулааны өсөлтийг бууруулж, субстратын хоёрдогч электрон бөмбөгдөлтийг ихээхэн сулруулж, улмаар дулаан үүсэхэд хүргэдэг.
(5) Байг жигд бус сийлбэрлэх. Уламжлалт соронзон цацалтын байнд жигд бус соронзон орон ашиглах нь плазм нь орон нутгийн нэгдлийн нөлөөг бий болгож, байг орон нутгийн байрлалд цацалтын сийлбэрийн хурдыг маш сайн болгож, үүний үр дүнд бай мэдэгдэхүйц жигд бус сийлбэр үүсгэх болно. Байг ашиглах түвшин ерөнхийдөө 30% орчим байдаг. Байг ашиглах түвшинг сайжруулахын тулд та зорилтот соронзон орны хэлбэр, тархалтыг сайжруулах, ингэснээр зорилтот катодын доторх соронзыг хөдөлгөөнд оруулах гэх мэт янз бүрийн сайжруулалтын арга хэмжээг авч болно.
Соронзон материалын байг шүршихэд бэрхшээлтэй байдал. Хэрэв шүрших байг өндөр соронзон нэвчилттэй материалаар хийсэн бол соронзон хүчний шугамууд байны дотор талаас шууд дамжин өнгөрч, соронзон богино залгааны үзэгдэл үүсч, улмаар магнетроны цэнэг алдалтыг хүндрүүлнэ. Сансрын соронзон орон үүсгэхийн тулд хүмүүс янз бүрийн судалгаа хийсэн, жишээлбэл, байны доторх соронзон оронг ханаж, байнд олон зай үлдээж, соронзон байны температурын өсөлтийг нэмэгдүүлэх, эсвэл байны соронзон нэвчилтийг бууруулах зэрэг судалгаа хийсэн.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 1