Makhalidwe a magnetron sputtering covering Chapter 2

Makhalidwe a magnetron sputtering ❖ kuyanika

(3) Kutulutsa mphamvu zochepa. Chifukwa cha mphamvu yochepa ya cathode yomwe imagwiritsidwa ntchito pa cholinga, plasma imamangidwa ndi mphamvu ya maginito yomwe ili pafupi ndi cathode, motero imaletsa tinthu tamphamvu kwambiri tomwe timayikidwa pambali pa substrate yomwe anthu adawombera. Chifukwa chake, kuchuluka kwa kuwonongeka kwa substrate monga zida za semiconductor zomwe zimayambitsidwa ndi bombardment ya tinthu tamphamvu kumakhala kotsika kuposa komwe kumachitika chifukwa cha njira zina zotulutsira.

(4) Kutentha kochepa kwa substrate. Kuchuluka kwa kupopera kwa maginito pa magnetron ndi kwakukulu, chifukwa cholinga cha cathode mu mphamvu ya maginito mkati mwa dera, ndiko kuti, msewu wotulutsira maginito mkati mwa dera laling'ono la kuchuluka kwa maginito ndi kwakukulu, pomwe mphamvu ya maginito kunja kwa dera, makamaka kutali ndi mphamvu ya maginito ya pamwamba pa substrate pafupi, kuchuluka kwa maginito chifukwa cha kufalikira kwa otsika kwambiri, ndipo kungakhale kotsika kuposa kupopera kwa dipole (chifukwa cha kusiyana pakati pa mphamvu ziwiri zogwirira ntchito za mpweya wa dongosolo la kukula). Chifukwa chake, pansi pa mikhalidwe ya kupopera kwa maginito, kuchuluka kwa maginito omwe amaphulika pamwamba pa substrate ndi kotsika kwambiri kuposa komwe kumapopera kwa diode wamba, ndipo kutentha kwa substrate kumapewedwa chifukwa cha kuchepa kwa kuchuluka kwa maginito omwe amachitikira pa substrate. Kuphatikiza apo, mu njira yothira maginito, anode ya chipangizo chothira maginito imatha kupezeka mozungulira cathode, ndipo chogwirira cha substrate chikhozanso kutsegulidwa ndi kuyikidwa mu mphamvu yoyimitsidwa, kotero kuti maginito sangadutse mu chogwirira cha substrate chokhazikika ndikutuluka kudzera mu anode, motero kupangitsa maginito amphamvu kwambiri omwe amathira substrate yophimbidwa kutsika, kuchepetsa kuwonjezeka kwa kutentha kwa substrate komwe kumayambitsidwa ndi maginito, ndikuchepetsa kwambiri kuphulika kwa maginito kwa substrate komwe kumabweretsa kutentha.

(5) Kudula kosagwirizana kwa cholinga. Mu cholinga chachikhalidwe chodulira maginito, kugwiritsa ntchito mphamvu ya maginito yosagwirizana, kotero plasma idzapanga mphamvu yakumaloko yolumikizana, kupangitsa kuti cholingacho chikhale pamalo am'deralo a kuchuluka kwa kudula kwa maginito kukhala kwakukulu, zotsatira zake ndikuti cholingacho chidzapanga kudula kosagwirizana kwakukulu. Kuchuluka kwa kugwiritsa ntchito kwa cholinga nthawi zambiri kumakhala pafupifupi 30%. Kuti muwongolere kuchuluka kwa kugwiritsa ntchito kwa chinthu chomwe chikufunidwa, mutha kutenga njira zosiyanasiyana zowongolera, monga kukonza mawonekedwe ndi kugawa kwa mphamvu ya maginito yomwe ikufunidwa, kuti maginito omwe ali mu cholingacho azitha kuyenda mkati ndi zina zotero.

Kuvuta kwa kupopera zinthu zamaginito. Ngati cholinga chopoperacho chapangidwa ndi chinthu chokhala ndi mphamvu zambiri zamaginito, mizere ya mphamvu zamaginito idzadutsa mwachindunji mkati mwa chandamale kuti pakhale vuto la maginito lalifupi, zomwe zimapangitsa kuti kutulutsa kwa maginito kukhale kovuta. Pofuna kupanga mphamvu yamaginito yamlengalenga, anthu achita maphunziro osiyanasiyana, mwachitsanzo, kuti azitha kudzaza mphamvu yamaginito mkati mwa chinthu chomwe akufuna, ndikusiya mipata yambiri pachinthucho kuti alimbikitse kutulutsa kutentha kwa maginito, kapena kuchepetsa mphamvu yamaginito ya chinthucho.

– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua