Awọn abuda ti a bo magnetron sputtering
(3) Ìfọ́ agbára díẹ̀. Nítorí pé fóltéèjì katódì tó kéré tí a lò sí ibi tí a fẹ́ dé, a so plasma náà mọ́ àyè mágnẹ́ẹ̀tì ní àyè tó wà nítòsí katódì náà, èyí sì ń dí àwọn èròjà agbára gíga tí wọ́n ti gba agbára lọ́wọ́ wọn lọ́wọ́ àwọn tí wọ́n ti yìnbọn sí ẹ̀gbẹ́ substrate náà. Nítorí náà, ìwọ̀n ìbàjẹ́ tí ó bá substrate náà bí àwọn ẹ̀rọ semiconductor tí ìbọn patikulu tí a ti gba agbára fà kéré ju èyí tí àwọn ọ̀nà ìfọ́ mìíràn ń fà lọ.
(4) Iwọn otutu kekere ti substrate. Iwọn sputtering magnetron sputtering ga, nitori pe afojusun katode ninu aaye oofa laarin agbegbe naa, iyẹn ni, oju opopona itusilẹ afojusun laarin agbegbe kekere ti ifọkansi elekitironi ga, lakoko ti ipa oofa ni ita agbegbe naa, paapaa kuro ni aaye oofa ti dada substrate nitosi, ifọkansi elekitironi nitori itankale ti isalẹ pupọ, ati pe o le paapaa kere ju sputtering dipole lọ (nitori iyatọ laarin titẹ gaasi iṣẹ meji ti o ni aṣẹ ti iwọn). Nitorinaa, labẹ awọn ipo sputtering magnetron, ifọkansi elekitironi ti o bombarding dada substrate kere pupọ ju ti ni sputtering diode lasan lọ, ati ilosoke pupọ ninu iwọn otutu substrate ni a yago fun nitori idinku ninu nọmba awọn iṣẹlẹ elekitironi lori substrate naa. Ní àfikún, nínú ọ̀nà ìfọ́nrán magnetron, anode ti ẹ̀rọ ìfọ́nrán magnetron le wà ní àyíká àyíká cathode, àti pé a le tú ìfọ́nrán substrate náà sílẹ̀ kí ó sì wà ní agbára ìdádúró, kí àwọn electrons má baà kọjá nípasẹ̀ ohun èlò ìfọ́nrán tí a fì ilẹ̀ ṣe kí wọ́n sì ṣàn lọ nípasẹ̀ anode, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń mú kí àwọn electrons tí ó ní agbára gíga tí wọ́n ń bombarding substrate tí a fi bò dínkù, ó ń dín ìbísí nínú ooru substrate tí àwọn electrons ń fà kù, ó sì ń dín ìbọn electron kejì ti substrate náà kù gidigidi, èyí tí ó ń yọrí sí ìṣẹ̀dá ooru.
(5) Ìfọ́nrán tí kò dọ́gba ti àfojúsùn náà. Nínú àfojúsùn ìfọ́nrán magnetron ìbílẹ̀, lílo pápá mágnẹ́ẹ̀tì tí kò dọ́gba, nítorí náà plasma yóò mú ipa ìdàpọ̀ agbègbè jáde, yóò mú kí àfojúsùn náà wà ní ipò àdúgbò ti ìwọ̀n ìfọ́nrán sputtering jẹ́ ohun ńlá, àbájáde rẹ̀ ni pé àfojúsùn náà yóò mú ìfọ́nrán tí kò dọ́gba jáde. Ìwọ̀n lílo ti àfojúsùn náà sábà máa ń jẹ́ nǹkan bí 30%. Láti lè mú ìwọ̀n lílo ohun èlò ìfọ́nrán sunwọ̀n síi, o lè ṣe onírúurú ìgbésẹ̀ ìdàgbàsókè, bíi mímú ìrísí àti ìpínkiri pápá mágnẹ́ẹ̀tì tí a fojú sí dára, kí mágnẹ́ẹ̀tì tí ó wà nínú katódì ìfọ́nrán inú àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ìṣòro láti tú àwọn ohun èlò mágnẹ́ẹ̀tì jáde. Tí ohun èlò tí ó ní agbára mágnẹ́ẹ̀tì gíga bá jẹ́ ohun èlò tí ó ní agbára mágnẹ́ẹ̀tì gíga, àwọn ìlà agbára mágnẹ́ẹ̀tì yóò kọjá tààrà nípasẹ̀ inú ibi-àfojúsùn náà láti ṣẹlẹ̀ ìṣẹ̀lẹ̀ mágnẹ́ẹ̀tì kúkúrú, èyí tí yóò mú kí ìtújáde mágnẹ́ẹ̀tì ṣòro. Láti lè mú pápá mágnẹ́ẹ̀tì àlàfo jáde, àwọn ènìyàn ti ṣe onírúurú ìwádìí, fún àpẹẹrẹ, láti mú kí pápá mágnẹ́ẹ̀tì kún inú ohun èlò tí a fojú sí, tí ó fi ọ̀pọ̀lọpọ̀ àlàfo sílẹ̀ nínú ibi-àfojúsùn náà láti mú kí ìtújáde ìwọ̀n otútù mágnẹ́ẹ̀tì pọ̀ sí i, tàbí láti dín agbára mágnẹ́ẹ̀tì ààmì tí ohun èlò náà ní kù.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-01-2023