Магнетрондук чачыратуу каптамасынын мүнөздөмөлөрү
(3) Аз энергиялуу чачыратуу. Бутага берилген төмөнкү катоддук чыңалуудан улам, плазма катоддун жанындагы мейкиндиктеги магнит талаасы менен байланышып, ошентип, адамдар атып жаткан субстраттын капталына жогорку энергиялуу заряддалган бөлүкчөлөрдүн өтүшүнө тоскоол болот. Ошондуктан, заряддуу бөлүкчөлөр менен бомбалоонун натыйжасында субстратка, мисалы, жарым өткөргүч түзүлүштөргө келтирилген зыяндын деңгээли башка чачыратуу ыкмаларына караганда төмөн.
(4) Субстраттын төмөн температурасы. Магнетрондук чачыратуу ылдамдыгы жогору, анткени катоддук бута аймактын ичиндеги магнит талаасындагы, башкача айтканда, кичинекей локалдашкан аймактагы максаттуу разряддоо тилкесиндеги электрондордун концентрациясы жогору, ал эми аймактын сыртындагы магниттик эффектте, айрыкча жакын жердеги субстраттын бетинин магнит талаасынан алыс жайгашканда, электрондордун концентрациясы диполдук чачыратуудан бир топ төмөн жана ал тургай төмөн болушу мүмкүн (эки жумушчу газ басымынын ортосундагы айырмачылыктан улам). Ошондуктан, магнетрондук чачыратуу шарттарында, субстраттын бетине тийген электрондордун концентрациясы кадимки диоддук чачыратуудагыга караганда бир топ төмөн жана субстратка түшкөн электрондордун санынын азайышынан улам субстраттын температурасынын ашыкча жогорулашынан качууга болот. Мындан тышкары, магнетрондук чачыратуу ыкмасында магнетрондук чачыратуу түзүлүшүнүн аноду катоддун айланасында жайгашышы мүмкүн, ал эми субстрат кармагычы да жерге туташтырылбаган жана суспензия потенциалында болушу мүмкүн, ошондуктан электрондор жерге туташтырылган субстрат кармагычынан өтүп, анод аркылуу агып кетпеши мүмкүн, ошону менен капталган субстратты бомбалаган жогорку энергиялуу электрондордун санын азайтып, электрондордун пайда кылган субстраттын ысыгынын көбөйүшүн азайтып, субстраттын экинчилик электрондук бомбалоосун бир топ басаңдатат, натыйжада жылуулук пайда болот.
(5) Бутаны бирдей эмес оюу. Салттуу магнетрондук чачыратуу бутасында бирдей эмес магнит талаасын колдонуу плазманын жергиликтүү конвергенция эффектин пайда кылат, бул бутанын жергиликтүү абалдагы чачыратуу оюу ылдамдыгын жогорулатат, натыйжада бута олуттуу бирдей эмес оюу пайда болот. Бутаны пайдалануу көрсөткүчү жалпысынан 30% түзөт. Максаттуу материалды пайдалануу көрсөткүчүн жакшыртуу үчүн, максаттуу магнит талаасынын формасын жана таралышын жакшыртуу сыяктуу ар кандай жакшыртуу чараларын көрүүгө болот, ошондо максаттуу катоддогу магниттин ички кыймылы ж.б.у.с.
Магниттик материалдык буталарды чачыратууда кыйынчылык. Эгерде чачыратуучу бута жогорку магниттик өткөрүмдүүлүгү бар материалдан жасалган болсо, анда магниттик күч сызыктары түз эле бутанын ички бөлүгү аркылуу өтүп, магниттик кыска туташуу кубулушун пайда кылат, ошентип магнетрондук разрядды кыйындатат. Мейкиндик магнит талаасын түзүү үчүн адамдар ар кандай изилдөөлөрдү жүргүзүшкөн, мисалы, бута материалынын ичиндеги магнит талаасын каныктыруу, магниттик бута температурасынын жогорулашына алып келүүчү агып кетүүнүн пайда болушуна көмөктөшүү же бута материалынын магниттик өткөрүмдүүлүгүн азайтуу үчүн бутада көптөгөн боштуктарды калтыруу.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 1-декабры