Magnitron tüýdük örtüginiň aýratynlyklary
(3) Pes energiýa tüýkürmek. Maksada ulanylýan pes katod naprýa .eniýesi sebäpli, plazma katodyň golaýyndaky magnit meýdany bilen baglanyşdyrylýar we şeýlelik bilen ýokary energiýa zarýadly bölejikleri atylan substratyň tarapyna böwet bolýar. Şonuň üçin zarýadly bölejikleriň bombalanmagy netijesinde dörän ýarymgeçiriji enjamlar ýaly substrata zeper ýetmegiň derejesi beýleki tüýdük usullaryndan has pesdir.
(4) Substratyň pes temperaturasy. Magnitronyň tüýkürme derejesi ýokary, sebäbi sebitdäki magnit meýdanyndaky katod nyşany, ýagny elektron konsentrasiýasynyň kiçi lokallaşdyrylan meýdanyndaky maksatly uçuş-gonuş zolagy ýokarydyr, sebitiň daşyndaky magnit täsiri, esasanam aşaky substratyň magnit meýdanyndan uzakda, elektronyň konsentrasiýasy ep-esli pes ýaýramagy sebäpli bolup biler. Şonuň üçin magnitron tüýdük şertlerinde substratyň üstüne bombalaýan elektronlaryň konsentrasiýasy adaty diodyň dökülmeginden has pesdir we substratda ýüze çykan elektron hadysalarynyň sanynyň azalmagy sebäpli substratyň temperaturasynyň aşa ýokarlanmagynyň öňüni alýar. Mundan başga-da, magnitron tüýdük usulynda, magnitron tüýdük enjamynyň anody katodyň töwereginde ýerleşip biler we substrat saklaýjysy hem asylsyz we asma potensialynda bolup biler, şonuň üçin elektronlar toprakly substrat saklaýjynyň üstünden geçip bilmez we anodyň üstünden ep-esli azalýar, şeýlelik bilen substratyň bombalanmagyna sebäp bolýar. ýylylyk emele getirýän substratyň ikinji derejeli elektron bombasy.
(5) Maksadyň deň däl çyzylmagy. Adaty magnitron tüýdük nyşanynda, deň bolmadyk magnit meýdanynyň ulanylmagy, şonuň üçin plazma ýerli konwergensiýa effektini döreder, nyşany tüýkülik derejesiniň ýerli ýagdaýyna öwürer, netijede nyşanyň ep-esli deňsiz çykarylmagy bolar. Maksadyň ulanylyş derejesi, adatça, 30% töweregi. Maksatly materialyň ulanylyş tizligini ýokarlandyrmak üçin maksatly magnit meýdanynyň görnüşini we paýlanyşyny gowulandyrmak ýaly dürli gowulandyryş çäreleri görüp bilersiňiz, maksatly katodyň içindäki hereketdäki magnit we ş.m.
Magnit material nyşanlaryny dökmekde kynçylyk. Tüýdük nyşany ýokary magnit geçirijiligi bolan materialdan ýasalan bolsa, magnit güýç çyzyklary magnit gysga utgaşma hadysasyny ýüze çykarmak üçin göni nyşanyň içinden geçer we şeýlelik bilen magnitronyň çykmagyny kynlaşdyrar. Kosmos magnit meýdanyny döretmek üçin adamlar dürli gözlegleri geçirdiler, mysal üçin, magnit meýdanyny maksat materialyň içinde doldurmak, magnit maksatly temperaturanyň has köp syzmagyna sebäp bolmak ýa-da maksat materialynyň magnit geçirijiligini peseltmek üçin köp boşluk goýup.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 01-2023-nji dekabry