Himiki bug çökündisi (HBÇ) tehnologiýasy, gaz görnüşli maddalaryň adaty ýa-da pes basyşda himiki reaksiýa arkaly substrat ýüzünde gaty plyonkalary öndürmegini üpjün etmek üçin gyzdyrmak, plazma güýçlendirmek, fotokömek we beýleki serişdeleri ulanýan plyonka emele getirýän tehnologiýadyr.
Umuman alanyňda, reagent gaz we önümleriň biri gaty bolan reaksiýa CVD reaksiýasy diýilýär. CVD reaksiýasy bilen taýýarlanylýan köp görnüşli örtükler bar, esasanam ýarymgeçiriji prosesde. Mysal üçin, ýarymgeçiriji pudagynda çig mallary gaýtadan işlemek, ýokary hilli ýarymgeçiriji bir kristall plyonkalary taýýarlamak we elektron enjamlardan integral mikrosxemalara çenli polikristal we amorf plyonkalaryň ösmegi CVD tehnologiýasy bilen baglanyşyklydyr. Mundan başga-da, materiallaryň ýüzleý işlenilmegi adamlar tarapyndan has gowy görülýär. Mysal üçin, maşynlar, reaktorlar, awiakosmos, lukmançylyk we himiki enjamlar ýaly dürli materiallar dürli talaplaryna laýyklykda CVD plyonka emele getirmek usuly bilen korroziýa garşylygy, ýylylyga garşylygy, aşynma garşylygy we ýüzleý berkidilmegi bolan funksional örtükleri taýýarlamak üçin ulanylyp bilner.
—— Bu makala öndüriji Guangdong Zhenhua tarapyndan çap edildiwakuum örtük enjamlary
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 4-nji marty