La tecnologia di deposizione chimica da fase vapore (CVD) è una tecnologia di formazione di film che utilizza riscaldamento, potenziamento al plasma, foto-assistenza e altri mezzi per far sì che sostanze gassose producano film solidi sulla superficie del substrato attraverso una reazione chimica a pressione normale o bassa.
In generale, la reazione in cui il reagente è un gas e uno dei prodotti è un solido è chiamata reazione CVD. Esistono molti tipi di rivestimenti preparati tramite reazione CVD, soprattutto nel settore dei semiconduttori. Ad esempio, nel campo dei semiconduttori, la raffinazione delle materie prime, la preparazione di film monocristallini di semiconduttori di alta qualità e la crescita di film policristallini e amorfi, dai dispositivi elettronici ai circuiti integrati, sono tutti processi correlati alla tecnologia CVD. Inoltre, il trattamento superficiale dei materiali è molto richiesto. Ad esempio, diversi materiali come macchinari, reattori, apparecchiature aerospaziali, mediche e chimiche possono essere utilizzati per preparare rivestimenti funzionali con resistenza alla corrosione, al calore, all'usura e rinforzo superficiale mediante il metodo di deposizione di film CVD, a seconda delle diverse esigenze.
— Questo articolo è pubblicato da Guangdong Zhenhua, un produttore diattrezzature per rivestimento sottovuoto
Data di pubblicazione: 4 marzo 2023