Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtújáde afẹ́fẹ́ kẹ́míkà (CVD) jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣẹ̀dá fíìmù tí ó ń lo ìgbóná, ìdàgbàsókè plasma, ìrànlọ́wọ́ fọ́tò àti àwọn ọ̀nà mìíràn láti mú kí àwọn ohun èlò gáàsì ṣe àwọn fíìmù líle lórí ojú ilẹ̀ nípasẹ̀ ìṣe kẹ́míkà lábẹ́ ìfúnpá déédé tàbí ìfúnpá kékeré.
Ni gbogbogbo, iṣe ti reactant jẹ gaasi ati ọkan ninu awọn ọja jẹ ri to ni a npe ni reaction CVD. Ọpọlọpọ awọn iru awọn awọ ti a pese nipasẹ reaction CVD, paapaa ni ilana semiconductor. Fun apẹẹrẹ, ni aaye semiconductor, isọdọtun awọn ohun elo aise, igbaradi ti awọn fiimu kristal semiconductor ti o ga julọ, ati idagbasoke ti awọn fiimu polycrystalline ati amorphous, lati awọn ẹrọ itanna si awọn iyika ti a ti sopọ, gbogbo wọn ni ibatan si imọ-ẹrọ CVD. Ni afikun, itọju dada ti awọn ohun elo ni awọn eniyan fẹran. Fun apẹẹrẹ, awọn ohun elo oriṣiriṣi bii ẹrọ, reactor, aerospace, awọn ẹrọ iṣoogun ati kemikali le ṣee lo lati mura awọn awọ iṣẹ pẹlu resistance ipata, resistance ooru, resistance wọ ati agbara dada nipasẹ ọna ṣiṣe fiimu CVD gẹgẹbi awọn ibeere oriṣiriṣi wọn.
—— Guangdong Zhenhua, olùṣelọpọ kan ni ó gbé àpilẹ̀kọ yìí jádeẹrọ ti a fi bo igbale
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-04-2023