Kimyəvi Buxar Çökdürmə (KÇÇ) texnologiyası, normal və ya aşağı təzyiq altında kimyəvi reaksiya yolu ilə qaz halındakı maddələrin substrat səthində bərk təbəqələr əmələ gətirməsi üçün qızdırma, plazma gücləndirmə, fotoköməkli və digər vasitələrdən istifadə edən bir film əmələ gətirmə texnologiyasıdır.
Ümumiyyətlə, reaktivin qaz, məhsullardan birinin isə bərk maddə olduğu reaksiyaya CVD reaksiyası deyilir. CVD reaksiyası ilə hazırlanan bir çox örtük növü var, xüsusən də yarımkeçirici prosesdə. Məsələn, yarımkeçirici sahəsində xammalın emalı, yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici tək kristal filmlərin hazırlanması və elektron cihazlardan inteqral sxemlərə qədər polikristal və amorf filmlərin yetişdirilməsi CVD texnologiyası ilə əlaqədardır. Bundan əlavə, materialların səthi işlənməsi insanlar tərəfindən daha çox sevilir. Məsələn, maşınqayırma, reaktor, aerokosmik, tibbi və kimyəvi avadanlıqlar kimi müxtəlif materiallardan müxtəlif tələblərinə uyğun olaraq CVD film əmələ gətirmə üsulu ilə korroziyaya, istiliyə, aşınmaya və səth möhkəmləndirilməsinə malik funksional örtüklər hazırlamaq üçün istifadə edilə bilər.
—— Bu məqalə istehsalçısı Guangdong Zhenhua tərəfindən dərc olunubvakuum örtük avadanlığı
Yazı vaxtı: 04 Mart 2023