Kimyoviy bug'lanishni cho'ktirish (KVD) texnologiyasi - bu gazsimon moddalarning normal yoki past bosim ostida kimyoviy reaksiya orqali substrat yuzasida qattiq plyonkalar hosil qilishini ta'minlash uchun isitish, plazma kuchaytirish, fotoyordam va boshqa vositalardan foydalanadigan plyonka hosil qilish texnologiyasi.
Odatda, reaktiv gaz va mahsulotlardan biri qattiq modda bo'lgan reaksiya CVD reaksiyasi deb ataladi. CVD reaksiyasi orqali tayyorlangan ko'plab qoplamalar mavjud, ayniqsa yarimo'tkazgich jarayonida. Masalan, yarimo'tkazgichlar sohasida xom ashyoni qayta ishlash, yuqori sifatli yarimo'tkazgichli monokristalli plyonkalarni tayyorlash va elektron qurilmalardan integral mikrosxemalargacha polikristalli va amorf plyonkalarni o'stirish CVD texnologiyasi bilan bog'liq. Bundan tashqari, materiallarni sirt bilan ishlov berish odamlar tomonidan afzal ko'riladi. Masalan, mashinasozlik, reaktor, aerokosmik, tibbiy va kimyoviy uskunalar kabi turli xil materiallardan turli talablarga muvofiq CVD plyonka hosil qilish usuli bilan korroziyaga chidamlilik, issiqlikka chidamlilik, aşınmaya bardoshlilik va sirtni mustahkamlovchi funktsional qoplamalarni tayyorlash uchun foydalanish mumkin.
—— Ushbu maqola ishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilganvakuumli qoplama uskunalari
Nashr vaqti: 2023-yil 4-mart