Технологияи таҳшини буғҳои кимиёвӣ (CVD) як технологияи ташаккули филм мебошад, ки гармкунӣ, такмил додани плазма, аксбардорӣ ва дигар воситаҳоро истифода мебарад, то моддаҳои газӣ тавассути реаксияи кимиёвӣ дар зери фишори муқаррарӣ ё паст филмҳои сахтро дар сатҳи субстрат тавлид кунанд.
Умуман, реаксияе, ки дар он реактив газ аст ва яке аз маҳсулот сахт аст, реаксияи CVD номида мешавад.Намудҳои зиёди рӯйпӯшҳое мавҷуданд, ки бо реаксияи CVD, махсусан дар раванди нимноқилҳо омода карда шудаанд.Масалан, дар сохаи нимнокилхо тоза кардани ашьёи хом, тайёр кардани плёнкахои монокристалии нимнокилхои аълосифат, афзоиши плёнкахои поликристалй ва аморфй аз аппаратхои электронй то схемахои интегралй ба технологияи CVD дахл доранд.Илова бар ин, коркарди рӯизаминӣ аз ҷониби одамон маъқул аст.Масалан, маводҳои гуногун ба монанди мошинҳо, реакторҳо, аэрокосмосҳо, таҷҳизоти тиббӣ ва кимиёвӣ метавонанд барои тайёр кардани қабатҳои функсионалӣ бо муқовимат ба зангзанӣ, муқовимат ба гармӣ, муқовимат ба фарсудашавӣ ва мустаҳкамкунии сатҳи рӯи усули ташаккули филми CVD мувофиқи талаботи гуногуни онҳо истифода шаванд.
—- Ин маколаро аз тарафи «Гуандун Чжэнхуа», як истехсолкунандаитачхизоти вакуумй пушидан
Вақти фиристодан: 04-04-2023