Технологияи таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD) як технологияи плёнкасозӣ мебошад, ки аз гармкунӣ, тақвияти плазма, фотоёрӣ ва дигар воситаҳо истифода мебарад, то моддаҳои газмонанд тавассути реаксияи кимиёвӣ дар зери фишори муқаррарӣ ё паст плёнкаҳои сахтро дар сатҳи субстрат ба вуҷуд оранд.
Умуман, реаксияе, ки дар он реактив газ ва яке аз маҳсулот ҷисми сахт аст, реаксияи CVD номида мешавад. Намудҳои зиёди рӯйпӯшҳо бо реаксияи CVD омода карда мешаванд, махсусан дар раванди нимноқилҳо. Масалан, дар соҳаи нимноқилҳо, коркарди ашёи хом, тайёр кардани плёнкаҳои яккристаллии нимноқилҳои баландсифат ва афзоиши плёнкаҳои поликристаллӣ ва аморфӣ, аз дастгоҳҳои электронӣ то схемаҳои интегралӣ, ҳама ба технологияи CVD алоқаманданд. Илова бар ин, коркарди сатҳи маводҳо аз ҷониби одамон маъқул аст. Масалан, маводҳои гуногун, аз қабили мошинсозӣ, реактор, таҷҳизоти кайҳонӣ, тиббӣ ва кимиёвӣ метавонанд барои тайёр кардани рӯйпӯшҳои функсионалӣ бо муқовимат ба зангзанӣ, муқовимат ба гармӣ, муқовимат ба фарсудашавӣ ва мустаҳкамкунии сатҳ бо усули ташаккули плёнкаи CVD мувофиқи талаботи гуногуни онҳо истифода шаванд.
—— Ин мақола аз ҷониби ширкати Guangdong Zhenhua, истеҳсолкунандаитаҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ
Вақти нашр: 04 марти соли 2023