Химиялық бу тұндыру (ХБТ) технологиясы - бұл қалыпты немесе төмен қысымдағы химиялық реакция арқылы газ тәрізді заттардың субстрат бетінде қатты қабықшалар түзуіне мүмкіндік беретін қыздыру, плазманы күшейту, фотокөмекші және басқа да құралдарды пайдаланатын қабықша түзу технологиясы.
Жалпы алғанда, реагент газ, ал өнімдердің бірі қатты зат болатын реакция CVD реакциясы деп аталады. CVD реакциясы арқылы дайындалатын көптеген жабындар бар, әсіресе жартылай өткізгіш процесінде. Мысалы, жартылай өткізгіш саласында шикізатты тазарту, жоғары сапалы жартылай өткізгіш монокристалды пленкаларды дайындау және электронды құрылғылардан интегралды схемаларға дейінгі поликристалды және аморфты пленкалардың өсуі CVD технологиясымен байланысты. Сонымен қатар, материалдарды беттік өңдеу адамдар арасында танымал. Мысалы, машиналар, реакторлар, аэроғарыштық, медициналық және химиялық жабдықтар сияқты әртүрлі материалдарды әртүрлі талаптарына сәйкес CVD пленкасын қалыптастыру әдісімен коррозияға, ыстыққа, тозуға төзімді және беттік нығайтуға төзімді функционалды жабындар дайындау үшін пайдалануға болады.
—— Бұл мақаланы өндіруші Гуандун Чжэньхуа жарияладывакуумдық жабын жабдықтары
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 4 наурыз