Химийн уурын хуримтлал (CVD) технологи нь халаах, сийвэнг сайжруулах, гэрэл зургийн тусламжтай болон бусад аргуудыг ашиглан хийн бодисыг хэвийн эсвэл нам даралтын дор химийн урвалаар субстратын гадаргуу дээр хатуу хальс үүсгэдэг хальс үүсгэх технологи юм.
Ерөнхийдөө урвалд орох бодис нь хий, бүтээгдэхүүний аль нэг нь хатуу бодис байх урвалыг CVD урвал гэж нэрлэдэг.ЗСӨ-ийн урвалаар, ялангуяа хагас дамжуулагч процессоор бэлтгэсэн олон төрлийн бүрээсүүд байдаг.Тухайлбал, хагас дамжуулагчийн салбарт түүхий эдийг боловсронгуй болгох, өндөр чанартай хагас дамжуулагч дан болор хальс бэлтгэх, электрон төхөөрөмжөөс эхлээд нэгдсэн хэлхээ хүртэл поликристал болон аморф хальсыг ургуулах зэрэг нь ЗСӨ-ийн технологитой холбоотой.Үүнээс гадна материалын гадаргуугийн боловсруулалт нь хүмүүст таалагддаг.Тухайлбал, машин механизм, реактор, сансар огторгуй, эмнэлгийн болон химийн тоног төхөөрөмж гэх мэт төрөл бүрийн материалыг зэврэлтэнд тэсвэртэй, халуунд тэсвэртэй, элэгдэлд тэсвэртэй, гадаргууг бэхжүүлдэг функциональ бүрээсийг өөр өөр шаардлагад нийцүүлэн CVD хальс үүсгэх аргаар бэлтгэх боломжтой.
—- Энэхүү нийтлэлийг үйлдвэрлэгч Гуандун Жэнхуа нийтэлсэнвакуум бүрэх төхөөрөмж
Шуудангийн цаг: 2023-03-04