Химийн ууршуулах (ХУТ) технологи нь халаалт, плазмын сайжруулалт, фото туслалцаа болон бусад хэрэгслийг ашиглан хийн бодисууд нь хэвийн эсвэл нам даралтын дор химийн урвалаар субстратын гадаргуу дээр хатуу хальс үүсгэдэг хальс үүсгэх технологи юм.
Ерөнхийдөө урвалж бодис нь хий, бүтээгдэхүүний нэг нь хатуу бодис байх урвалыг CVD урвал гэж нэрлэдэг. CVD урвалаар бэлтгэсэн олон төрлийн бүрхүүл байдаг, ялангуяа хагас дамжуулагч процесст. Жишээлбэл, хагас дамжуулагчийн салбарт түүхий эдийг цэвэршүүлэх, өндөр чанартай хагас дамжуулагч дан талст хальс бэлтгэх, электрон төхөөрөмжөөс интеграл хэлхээ хүртэл поликристал болон аморф хальсны өсөлт зэрэг нь бүгд CVD технологитой холбоотой. Үүнээс гадна, материалын гадаргуугийн боловсруулалтыг хүмүүс илүүд үздэг. Жишээлбэл, машин механизм, реактор, сансар судлал, анагаах ухаан, химийн тоног төхөөрөмж зэрэг янз бүрийн материалыг ашиглан зэврэлтэнд тэсвэртэй, халуунд тэсвэртэй, элэгдэлд тэсвэртэй, гадаргууг бэхжүүлсэн функциональ бүрхүүлийг тэдгээрийн өөр өөр шаардлагын дагуу CVD хальс үүсгэх аргаар бэлтгэж болно.
—— Энэ нийтлэлийг үйлдвэрлэгч Гуандун Жэнхуа нийтэлсэн.вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 3-р сарын 4