ลักษณะเฉพาะของการเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์
(3) การสปัตเตอร์พลังงานต่ำ เนื่องจากแรงดันไฟฟ้าแคโทดต่ำที่ใช้กับเป้าหมาย พลาสมาจึงถูกผูกมัดด้วยสนามแม่เหล็กในพื้นที่ใกล้แคโทด จึงยับยั้งอนุภาคที่มีประจุพลังงานสูงที่ด้านข้างของพื้นผิวที่ถูกยิง ดังนั้น ระดับความเสียหายต่อพื้นผิว เช่น อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่เกิดจากการโจมตีด้วยอนุภาคที่มีประจุ จึงต่ำกว่าที่เกิดจากวิธีการสปัตเตอร์อื่นๆ
(4) อุณหภูมิพื้นผิวต่ำ อัตราการสปัตเตอร์ของแมกนีตรอนสูง เนื่องจากเป้าหมายแคโทดในสนามแม่เหล็กภายในพื้นที่ นั่นคือ รันเวย์ปล่อยเป้าหมายภายในพื้นที่เฉพาะที่มีความเข้มข้นของอิเล็กตรอนสูง ในขณะที่เอฟเฟกต์แม่เหล็กภายนอกพื้นที่ โดยเฉพาะห่างจากสนามแม่เหล็กของพื้นผิวพื้นผิวที่อยู่ใกล้เคียง ความเข้มข้นของอิเล็กตรอนเนื่องจากการกระจายตัวของค่าที่ต่ำกว่ามาก และอาจต่ำกว่าการสปัตเตอร์แบบไดโพล (เนื่องจากความแตกต่างระหว่างแรงดันแก๊สทำงานทั้งสองในระดับขนาด) ดังนั้น ภายใต้เงื่อนไขการสปัตเตอร์ของแมกนีตรอน ความเข้มข้นของอิเล็กตรอนที่พุ่งชนพื้นผิวของพื้นผิวจะต่ำกว่าการสปัตเตอร์แบบไดโอดทั่วไปมาก และหลีกเลี่ยงการเพิ่มอุณหภูมิพื้นผิวที่มากเกินไปเนื่องจากการลดจำนวนอิเล็กตรอนที่ตกกระทบพื้นผิวพื้นผิว นอกจากนี้ ในวิธีการสปัตเตอร์แมกนีตรอนนั้น สามารถวางขั้วบวกของอุปกรณ์สปัตเตอร์แมกนีตรอนไว้รอบ ๆ บริเวณใกล้เคียงแคโทดได้ และยังสามารถถอดตัวยึดพื้นผิวออกและอยู่ในศักย์แขวนลอยได้ ดังนั้น อิเล็กตรอนอาจไม่ผ่านตัวยึดพื้นผิวที่ต่อลงดินและไหลออกไปทางขั้วบวก ทำให้อิเล็กตรอนพลังงานสูงที่โจมตีพื้นผิวที่ชุบลดลง ลดการเพิ่มขึ้นของความร้อนพื้นผิวที่เกิดจากอิเล็กตรอน และลดทอนการโจมตีด้วยอิเล็กตรอนรองของพื้นผิวลงอย่างมาก ส่งผลให้เกิดความร้อน
(5) การกัดที่ไม่สม่ำเสมอของเป้าหมาย ในเป้าหมายการสปัตเตอร์แมกนีตรอนแบบดั้งเดิม การใช้สนามแม่เหล็กที่ไม่สม่ำเสมอ ทำให้พลาสมาสร้างเอฟเฟกต์การบรรจบกันในพื้นที่ จะทำให้เป้าหมายมีอัตราการกัดสปัตเตอร์ในพื้นที่สูง ผลลัพธ์คือเป้าหมายจะสร้างการกัดที่ไม่สม่ำเสมออย่างมีนัยสำคัญ อัตราการใช้ประโยชน์ของเป้าหมายโดยทั่วไปอยู่ที่ประมาณ 30% เพื่อปรับปรุงอัตราการใช้ประโยชน์ของวัสดุเป้าหมาย คุณสามารถใช้มาตรการปรับปรุงต่างๆ เช่น การปรับปรุงรูปร่างและการกระจายของสนามแม่เหล็กเป้าหมาย เพื่อให้แม่เหล็กในแคโทดเป้าหมายมีการเคลื่อนไหวภายใน เป็นต้น
ความยากลำบากในการสปัตเตอร์เป้าหมายวัสดุแม่เหล็ก หากเป้าหมายสปัตเตอร์ทำจากวัสดุที่มีค่าการซึมผ่านของแม่เหล็กสูง เส้นแรงแม่เหล็กจะผ่านภายในเป้าหมายโดยตรง ทำให้เกิดปรากฏการณ์ไฟฟ้าลัดวงจรของแม่เหล็ก ทำให้การคายประจุของแมกนีตรอนทำได้ยาก เพื่อสร้างสนามแม่เหล็กในอวกาศ ผู้คนได้ดำเนินการศึกษามากมาย เช่น การทำให้สนามแม่เหล็กภายในวัสดุเป้าหมายอิ่มตัว โดยเว้นช่องว่างจำนวนมากในเป้าหมายเพื่อส่งเสริมการเกิดการรั่วไหลของอุณหภูมิเป้าหมายแม่เหล็กเพิ่มขึ้น หรือเพื่อลดการซึมผ่านของแม่เหล็กของวัสดุเป้าหมาย
–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว
เวลาโพสต์: 01-12-2023