ยินดีต้อนรับสู่บริษัท Guangdong Zhenhua Technology Co.,Ltd.
แบนเนอร์เดี่ยว

ลักษณะและวิธีการสร้างการไหลของอิเล็กตรอนแบบอาร์ก

ที่มาของบทความ:Zhenhua vacuum
อ่าน:10
เผยแพร่: 23-05-31

1.ลักษณะของการไหลของอิเล็กตรอนแสงอาร์ค

ความหนาแน่นของการไหลของอิเล็กตรอน การไหลของไอออน และอะตอมที่เป็นกลางพลังงานสูงในพลาสมาอาร์กที่เกิดจากการคายประจุไฟฟ้าจากอาร์กนั้นสูงกว่าการคายประจุไฟฟ้าจากแสงมาก มีไอออนของก๊าซและไอออนของโลหะที่ถูกทำให้เป็นไอออน อะตอมที่มีพลังงานสูงที่ถูกกระตุ้น และกลุ่มที่ใช้งานต่างๆ ในพื้นที่เคลือบ ซึ่งมีบทบาทสำคัญในขั้นตอนการให้ความร้อน การทำความสะอาด และการเคลือบของกระบวนการเคลือบ รูปแบบการกระทำของการไหลของอิเล็กตรอนแบบอาร์กนั้นแตกต่างจากลำแสงไอออน ซึ่งไม่ใช่ทั้งหมดจะบรรจบกันเป็น "ลำแสง" แต่ส่วนใหญ่จะอยู่ในสถานะแยกออกจากกัน จึงเรียกว่าการไหลของอิเล็กตรอนแบบอาร์ก เนื่องจากอิเล็กตรอนแบบอาร์กไหลไปทางขั้วบวก การไหลของอิเล็กตรอนแบบอาร์กจึงมุ่งไปที่ตำแหน่งที่เชื่อมต่อขั้วบวกของแหล่งจ่ายไฟแบบอาร์ก และขั้วบวกอาจเป็นชิ้นงาน ขั้วบวกเสริม เบ้าหลอม ฯลฯ

 16836148539139113

2. วิธีการสร้างกระแสอิเล็กตรอนแบบอาร์ค

(1) แหล่งแก๊สสร้างการไหลของอิเล็กตรอนส่วนโค้ง: กระแสส่วนโค้งของการคายประจุส่วนโค้งแคโทดกลวงและการคายประจุส่วนโค้งลวดร้อนสามารถไปถึงประมาณ 200A และแรงดันไฟฟ้าของส่วนโค้งคือ 50-70V

(2) แหล่งกำเนิดไฟฟ้าแบบของแข็งจะสร้างกระแสอิเล็กตรอนแบบอาร์ก: แหล่งกำเนิดไฟฟ้าแบบอาร์กแคโทด รวมถึงแหล่งกำเนิดไฟฟ้าแบบอาร์กขนาดเล็ก แหล่งกำเนิดไฟฟ้าแบบอาร์กทรงกระบอก แหล่งกำเนิดไฟฟ้าแบบอาร์กขนาดใหญ่บนระนาบสี่เหลี่ยม ฯลฯ กระแสอาร์กของการคายประจุแหล่งกำเนิดไฟฟ้าแบบอาร์กแคโทดแต่ละแหล่งคือ 80-200A และแรงดันไฟอาร์กคือ 18-25V

การไหลของอิเล็กตรอนอาร์กความหนาแน่นสูงและพลังงานต่ำในพลาสมาดิสชาร์จอาร์กสองประเภทสามารถสร้างการแตกตัวของการชนกันอย่างรุนแรงกับอะตอมของฟิล์มก๊าซและโลหะ ส่งผลให้ได้ไอออนของก๊าซ ไอออนของโลหะ และอะตอมและกลุ่มที่มีพลังงานสูงต่างๆ มากขึ้น จึงช่วยปรับปรุงกิจกรรมโดยรวมของไอออนของชั้นฟิล์มได้

–บทความนี้เผยแพร่โดย Guangdong Zhenhuaผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศ


เวลาโพสต์ : 31 พฤษภาคม 2566