Piranti iki nggunakake teknologi penguapan sinar elektron. Elektron dipancarake saka filamen katoda lan difokusake menyang arus sinar tartamtu, sing dipercepat dening potensial antarane katoda lan wadah kanggo nglelehke lan nguapke bahan lapisan. Piranti iki nduweni karakteristik kapadhetan energi sing dhuwur lan bisa nguapke bahan lapisan kanthi titik leleh luwih saka 3000 ℃. Film iki nduweni kemurnian sing dhuwur lan efisiensi termal sing dhuwur.
Piranti iki dilengkapi sumber penguapan sinar elektron, sumber ion, sistem pemantauan kekandelan film, struktur koreksi kekandelan film, lan sistem rotasi benda kerja payung sing stabil. Liwat lapisan sing dibantu sumber ion, kekompakan film mundhak, indeks bias stabil, lan fenomena owah-owahan dawa gelombang amarga kelembapan bisa dihindari. Sistem pemantauan kekandelan film otomatis lengkap kanthi wektu nyata bisa njamin pengulangan lan stabilitas proses kasebut. Dilengkapi fungsi leleh dhewe kanggo nyuda katergantungan marang katrampilan operator.
Piranti iki bisa digunakake kanggo macem-macem oksida lan bahan pelapis logam, lan bisa dilapisi nganggo film optik presisi multi-lapisan, kayata film AR, long wave pass, short wave pass, brightening film, AS/AF film, IRCUT, sistem film warna, sistem film gradien, lan liya-liyane. Piranti iki wis digunakake sacara wiyar ing kacamata AR, lensa optik, kamera, lensa optik, filter, industri semikonduktor, lan liya-liyane.