Peralatan ini mengadopsi teknologi penguapan berkas elektron. Elektron dipancarkan dari filamen katoda dan difokuskan menjadi arus berkas tertentu, yang dipercepat oleh potensial antara katoda dan wadah untuk melelehkan dan menguapkan bahan pelapis. Peralatan ini memiliki karakteristik kepadatan energi tinggi dan dapat menguapkan bahan pelapis dengan titik leleh lebih dari 3000 ℃. Film yang dihasilkan memiliki kemurnian tinggi dan efisiensi termal yang tinggi.
Peralatan ini dilengkapi dengan sumber penguapan berkas elektron, sumber ion, sistem pemantauan ketebalan film, struktur koreksi ketebalan film, dan sistem rotasi benda kerja payung yang stabil. Melalui pelapisan berbantuan sumber ion, kekompakan film ditingkatkan, indeks bias distabilkan, dan fenomena pergeseran panjang gelombang akibat kelembapan dihindari. Sistem pemantauan ketebalan film secara otomatis sepenuhnya dan real-time dapat memastikan pengulangan dan stabilitas proses. Peralatan ini dilengkapi dengan fungsi peleburan otomatis untuk mengurangi ketergantungan pada keterampilan operator.
Peralatan ini dapat diaplikasikan pada berbagai oksida dan material pelapis logam, dan dapat dilapisi dengan film optik presisi multi-lapisan, seperti film AR, film tembus gelombang panjang, film tembus gelombang pendek, film pencerah, film AS/AF, IRCUT, sistem film warna, sistem film gradien, dll. Peralatan ini telah banyak digunakan dalam kacamata AR, lensa optik, kamera, filter, industri semikonduktor, dll.