이 장비는 전자빔 증착 기술을 채택하고 있습니다. 음극 필라멘트에서 방출된 전자는 특정 빔 전류로 집속되어 음극과 도가니 사이의 전위차에 의해 가속되어 코팅 재료를 녹이고 증발시킵니다. 이 기술은 높은 에너지 밀도를 특징으로 하며, 3000℃ 이상의 융점을 가진 코팅 재료도 증착할 수 있습니다. 생성된 박막은 높은 순도와 높은 열효율을 갖습니다.
본 장비는 전자빔 증착 소스, 이온 소스, 박막 두께 모니터링 시스템, 박막 두께 보정 구조 및 안정적인 우산형 공작물 회전 시스템을 갖추고 있습니다. 이온 소스 보조 코팅을 통해 박막의 밀도가 향상되고 굴절률이 안정화되며 수분에 의한 파장 변화 현상이 방지됩니다. 완전 자동 박막 두께 실시간 모니터링 시스템은 공정의 반복성과 안정성을 보장합니다. 또한, 자체 용융 기능을 탑재하여 작업자의 숙련도에 대한 의존도를 줄였습니다.
이 장비는 다양한 산화물 및 금속 코팅 재료에 적용 가능하며, AR 필름, 장파장 통과 필름, 단파장 통과 필름, 밝기 향상 필름, AS/AF 필름, IRCUT, 컬러 필름 시스템, 그라데이션 필름 시스템 등과 같은 다층 정밀 광학 필름 코팅이 가능합니다. AR 안경, 광학 렌즈, 카메라, 필터, 반도체 산업 등에서 널리 사용되고 있습니다.