መሳሪያዎቹ የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ቴክኖሎጂን ይጠቀማሉ። ኤሌክትሮኖች ከካቶድ ክር ይወጣሉ እና ወደ አንድ የተወሰነ የጨረር ፍሰት ያተኩራሉ፣ ይህም በካቶድ እና በክሩሲብል መካከል ባለው የሽፋን ቁሳቁስ ለመቅለጥ እና ለማትነን ባለው አቅም ምክንያት የተፋጠነ ነው። ከፍተኛ የኃይል ጥግግት ባህሪያት ያሉት ሲሆን የሽፋን ቁሳቁሱን ከ3000 ℃ በላይ የመቅለጥ ነጥብ ሊያተን ይችላል። ፊልሙ ከፍተኛ ንፅህና እና ከፍተኛ የሙቀት ውጤታማነት አለው።
መሳሪያዎቹ የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጭ፣ የአዮን ምንጭ፣ የፊልም ውፍረት ክትትል ስርዓት፣ የፊልም ውፍረት ማስተካከያ መዋቅር እና የተረጋጋ የጃንጥላ ዎርክፓይት ሽክርክሪት ስርዓት የተገጠመላቸው ናቸው። በአዮን ምንጭ ድጋፍ ሽፋን አማካኝነት የፊልሙ እምቅነት ይጨምራል፣ የማጣቀሻ ኢንዴክስ ይረጋጋል፣ እና በእርጥበት ምክንያት የሞገድ ርዝመት ለውጥ ክስተት ይወገዳል። ሙሉ-አውቶማቲክ የፊልም ውፍረት በእውነተኛ ጊዜ የክትትል ስርዓት የሂደቱን ተደጋጋሚነት እና መረጋጋት ማረጋገጥ ይችላል። በኦፕሬተሩ ክህሎቶች ላይ ያለውን ጥገኝነት ለመቀነስ የራስ-ማቅለጥ ተግባር የተገጠመለት ነው።
መሳሪያው ለተለያዩ ኦክሳይድ እና ለብረት ሽፋን ቁሳቁሶች የሚውል ሲሆን እንደ AR ፊልም፣ ረጅም ሞገድ ማለፊያ፣ አጭር ሞገድ ማለፊያ፣ የሚያብረቀርቅ ፊልም፣ AS/AF ፊልም፣ IRCUT፣ የቀለም ፊልም ስርዓት፣ የግራዲየንት ፊልም ስርዓት፣ ወዘተ ባሉ ባለብዙ ንብርብር ትክክለኛ የኦፕቲካል ፊልሞች ሊሸፈን ይችላል። በAR መነጽሮች፣ በኦፕቲካል ሌንሶች፣ በካሜራዎች፣ በኦፕቲካል ሌንሶች፣ በማጣሪያዎች፣ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪዎች ወዘተ በስፋት ጥቅም ላይ ውሏል።