อุปกรณ์นี้ใช้เทคโนโลยีการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน อิเล็กตรอนจะถูกปล่อยออกมาจากเส้นใยแคโทดและโฟกัสไปที่กระแสลำแสงหนึ่ง ซึ่งจะถูกเร่งโดยศักย์ระหว่างแคโทดและเบ้าหลอมเพื่อหลอมและระเหยวัสดุเคลือบ อุปกรณ์นี้มีลักษณะของความหนาแน่นของพลังงานสูงและสามารถระเหยวัสดุเคลือบที่มีจุดหลอมเหลวมากกว่า 3,000 ℃ ฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูงและประสิทธิภาพความร้อนสูง
อุปกรณ์นี้มีแหล่งระเหยลำแสงอิเล็กตรอน แหล่งไอออน ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์ม โครงสร้างแก้ไขความหนาของฟิล์ม และระบบหมุนชิ้นงานร่มที่เสถียร การเคลือบด้วยแหล่งไอออนช่วยเพิ่มความหนาแน่นของฟิล์ม ดัชนีการหักเหของแสงจะคงที่ และหลีกเลี่ยงปรากฏการณ์การเปลี่ยนแปลงความยาวคลื่นเนื่องจากความชื้น ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์อัตโนมัติเต็มรูปแบบสามารถรับประกันการทำซ้ำและความเสถียรของกระบวนการได้ มีฟังก์ชันหลอมละลายอัตโนมัติเพื่อลดการพึ่งพาทักษะของผู้ปฏิบัติงาน
อุปกรณ์นี้สามารถนำไปใช้ได้กับออกไซด์ต่างๆ และวัสดุเคลือบโลหะ และสามารถเคลือบด้วยฟิล์มออปติกความแม่นยำหลายชั้น เช่น ฟิล์ม AR ฟิล์มคลื่นยาว ฟิล์มคลื่นสั้น ฟิล์มเพิ่มความขาว ฟิล์ม AS/AF IRCUT ระบบฟิล์มสี ระบบฟิล์มไล่ระดับสี ฯลฯ โดยได้รับการใช้กันอย่างแพร่หลายในแว่น AR เลนส์ออปติก กล้อง เลนส์ออปติก ฟิลเตอร์ อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และอื่นๆ อีกมากมาย