(3) Радиобасомади плазмаи CVD (RFCVD)RF-ро барои тавлиди плазма бо ду усули гуногун истифода бурдан мумкин аст, усули пайвасткунии иқтидор ва усули пайвасти индуктивӣ. CVD плазмаи РФ басомади 13,56 MHz -ро истифода мебарад. Бартарии плазмаи РБ дар он аст, ки он дар майдони хеле калонтар аз плазмаи микроволновка, маҳдудкунии плазма паҳн мешавад. ин аст, ки басомади плазма барои sputtering оптималии нест, махсусан, агар плазма дорои argon.Capacitively ҷуфтшуда аст, ки барои парвариши филмҳои алмос сифати баланд мувофиқ нест, зеро бомбаборони ion аз плазма метавонад ба зарари ҷиддӣ ба алмос расонад. Плёнкаҳои алмоси поликристаллӣ бо истифода аз плазмаи RF дар шароити таҳшин монанд ба плазмаи микроволновка CVD парвариш карда шуданд. Плёнкаҳои алмоси якхелаи эпитаксиалӣ инчунин бо истифода аз плазма бо RF такмилёфтаи CVD ба даст оварда шуданд.
(4) DC Plasma CVD
Плазмаи DC як усули дигари фаъол кардани манбаи газ (умуман омехтаи H2 ва гази карбогидрид) барои афзоиши филми алмос мебошад. CVD-и плазмаи плазма дорои қобилияти парвариши майдонҳои зиёди плёнкаҳои алмос мебошад ва андозаи майдони афзоиш танҳо бо андозаи электродҳо ва таъмини қувваи доимии доимӣ маҳдуд аст. Бартарии дигари плазмаи доимии плазма ва алмоси доимӣ дар ин ташаккули плазмаи DC мебошад. система бо суръати 80 мм/соат гузошта мешаванд. Илова бар ин, азбаски усулҳои гуногуни камон DC метавонанд филмҳои алмосии баландсифатро дар субстратҳои ғайриалмосӣ бо суръати баланди таҳшин гузоранд, онҳо усули бозоргирро барои таҳшин кардани филмҳои алмос таъмин мекунанд.
(5) Резонанси электронии плазмаи микромавҷӣ таҳшиншавии буғи химиявиро такмил дод (ECR-MPECVD) Плазмаи DC, плазмаи RF ва плазмаи микроволнӣ, ки дар боло тавсиф шудаанд, ҳама H2 ё карбогидридҳоро ба гурӯҳҳои атомии гидроген ва карбон-гидроген ҷудо мекунанд ва таҷзия мекунанд ва ба ин васила ба ташаккули плёнкаҳои алмос мусоидат мекунанд. Азбаски плазмаи резонанси электронии сиклотрон метавонад плазмаи зичии баланд (> 1x1011cm-3) тавлид кунад, ECR-MPECVD барои афзоиш ва ҷойгиркунии филмҳои алмос мувофиқтар аст. Аммо, аз сабаби фишори пасти газ (10-4- то 10-2 Torr), ки дар раванди ECR истифода мешавад, ки дар айни замон танҳо суръати рехтани филми алмос мувофиқ аст. дар лаборатория.
-Ин мақола аз ҷониби истеҳсолкунандаи мошини пӯшиши вакуумӣ Гуандун Чжэнхуа нашр шудааст
Вақти фиристодан: июн-19-2024