స్పట్టరింగ్ అనేది ఒక దృగ్విషయం, దీనిలో శక్తివంతమైన కణాలు (సాధారణంగా వాయువుల సానుకూల అయాన్లు) ఘన పదార్థం యొక్క ఉపరితలాన్ని (క్రింద లక్ష్య పదార్థం అని పిలుస్తారు) తాకి, లక్ష్య పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై ఉన్న అణువులు (లేదా అణువులు) దాని నుండి తప్పించుకునేలా చేస్తాయి.
కాథోడిక్ తుప్పును అధ్యయనం చేయడానికి ఒక ప్రయోగంలో కాథోడ్ పదార్థాన్ని వాక్యూమ్ ట్యూబ్ గోడకు తరలించినప్పుడు 1842లో గ్రోవ్ ఈ దృగ్విషయాన్ని కనుగొన్నాడు. సన్నని పొరల ఉపరితల నిక్షేపణలో ఈ స్పట్టరింగ్ పద్ధతి 1877లో కనుగొనబడింది, ఈ పద్ధతిని ఉపయోగించడం వలన సన్నని పొరల నిక్షేపణ ప్రారంభ దశలో స్పట్టరింగ్ రేటు తక్కువగా ఉంటుంది, నెమ్మదిగా పొర వేగం ఉంటుంది, అధిక పీడన పరికరంలో అమర్చాలి మరియు ప్రభావిత వాయువులోకి వెళుతుంది మరియు ఇతర సమస్యల శ్రేణిని కలిగి ఉండాలి, కాబట్టి అభివృద్ధి చాలా నెమ్మదిగా ఉంటుంది మరియు దాదాపుగా తొలగించబడుతుంది, రసాయనికంగా రియాక్టివ్ విలువైన లోహాలు, వక్రీభవన లోహాలు, డైఎలెక్ట్రిక్స్ మరియు రసాయన సమ్మేళనాలు, తక్కువ సంఖ్యలో అనువర్తనాలపై ఉన్న పదార్థాలలో మాత్రమే. 1970ల వరకు, మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ టెక్నాలజీ ఆవిర్భావం కారణంగా, స్పట్టరింగ్ పూత వేగంగా అభివృద్ధి చెందింది, రహదారి పునరుద్ధరణలోకి ప్రవేశించడం ప్రారంభించింది. ఎందుకంటే మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ పద్ధతిని ఎలక్ట్రాన్లపై ఆర్తోగోనల్ విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రం ద్వారా పరిమితం చేయవచ్చు, ఎలక్ట్రాన్లు మరియు వాయువు అణువుల ఢీకొనే సంభావ్యతను పెంచుతుంది, కాథోడ్కు జోడించిన వోల్టేజ్ను తగ్గించడమే కాకుండా, లక్ష్య కాథోడ్పై సానుకూల అయాన్ల స్పట్టరింగ్ రేటును మెరుగుపరుస్తుంది, ఉపరితలంపై ఎలక్ట్రాన్ల బాంబు దాడి సంభావ్యతను తగ్గిస్తుంది, తద్వారా దాని ఉష్ణోగ్రతను తగ్గిస్తుంది, "అధిక వేగం, తక్కువ ఉష్ణోగ్రత" "అధిక వేగం మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత" యొక్క రెండు ప్రధాన లక్షణాలు.
1980ల నాటికి, ఇది కేవలం ఒక డజను సంవత్సరాల క్రితం మాత్రమే కనిపించినప్పటికీ, ఇది ప్రయోగశాల నుండి, నిజంగా పారిశ్రామికీకరించబడిన సామూహిక ఉత్పత్తి రంగంలోకి నిలుస్తుంది. సైన్స్ మరియు టెక్నాలజీ యొక్క మరింత అభివృద్ధితో, ఇటీవలి సంవత్సరాలలో స్పట్టరింగ్ పూత రంగంలో మరియు అయాన్ బీమ్ మెరుగైన స్పట్టరింగ్ పరిచయంతో, అయస్కాంత క్షేత్ర మాడ్యులేషన్తో కలిపి బలమైన కరెంట్ అయాన్ మూలం యొక్క విస్తృత పుంజం వాడకం మరియు కొత్త స్పట్టరింగ్ మోడ్తో కూడిన సాంప్రదాయ డైపోల్ స్పట్టరింగ్ కలయికతో; మరియు మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ టార్గెట్ సోర్స్కు ఇంటర్మీడియట్-ఫ్రీక్వెన్సీ ఆల్టర్నేటింగ్ కరెంట్ విద్యుత్ సరఫరాను పరిచయం చేస్తుంది. ట్విన్ టార్గెట్ స్పట్టరింగ్ అని పిలువబడే ఈ మీడియం-ఫ్రీక్వెన్సీ AC మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ టెక్నాలజీ, యానోడ్ యొక్క "అదృశ్యం" ప్రభావాన్ని తొలగించడమే కాకుండా, కాథోడ్ యొక్క "విషప్రయోగం" సమస్యను కూడా పరిష్కరిస్తుంది, ఇది మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ యొక్క స్థిరత్వాన్ని బాగా మెరుగుపరుస్తుంది మరియు కాంపౌండ్ థిన్ ఫిల్మ్ల పారిశ్రామిక ఉత్పత్తికి బలమైన పునాదిని అందిస్తుంది. ఇది మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ యొక్క స్థిరత్వాన్ని బాగా మెరుగుపరిచింది మరియు కాంపౌండ్ థిన్ ఫిల్మ్ల పారిశ్రామిక ఉత్పత్తికి బలమైన పునాదిని అందించింది. ఇటీవలి సంవత్సరాలలో, స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ అనేది వాక్యూమ్ కోటింగ్ టెక్నాలజీ రంగంలో చురుకుగా ఉపయోగించే ఒక హాట్ ఎమర్జింగ్ ఫిల్మ్ తయారీ టెక్నాలజీగా మారింది.
–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-05-2023