(3) రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ ప్లాస్మా CVD (RFCVD) RF ను ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేయడానికి రెండు వేర్వేరు పద్ధతులను ఉపయోగించవచ్చు, కెపాసిటివ్ కప్లింగ్ పద్ధతి మరియు ఇండక్టివ్ కప్లింగ్ పద్ధతి. RF ప్లాస్మా CVD 13.56 MHz ఫ్రీక్వెన్సీని ఉపయోగిస్తుంది. RF ప్లాస్మా యొక్క ప్రయోజనం ఏమిటంటే ఇది మైక్రోవేవ్ ప్లాస్మా కంటే చాలా పెద్ద ప్రాంతంలో వ్యాపిస్తుంది. అయితే, RF కెపాసిటివ్గా కపుల్డ్ ప్లాస్మా యొక్క పరిమితి ఏమిటంటే ప్లాస్మా యొక్క ఫ్రీక్వెన్సీ స్పట్టరింగ్కు సరైనది కాదు, ముఖ్యంగా ప్లాస్మాలో ఆర్గాన్ ఉంటే. కెపాసిటివ్గా కపుల్డ్ ప్లాస్మా అధిక నాణ్యత గల డైమండ్ ఫిల్మ్లను పెంచడానికి తగినది కాదు ఎందుకంటే ప్లాస్మా నుండి అయాన్ బాంబర్డ్మెంట్ వజ్రానికి తీవ్ర నష్టాన్ని కలిగిస్తుంది. మైక్రోవేవ్ ప్లాస్మా CVD మాదిరిగానే నిక్షేపణ పరిస్థితులలో RF ప్రేరిత ప్లాస్మాను ఉపయోగించి పాలీక్రిస్టలైన్ డైమండ్ ఫిల్మ్లను పెంచారు. RF-ప్రేరిత ప్లాస్మా-మెరుగైన CVDని ఉపయోగించి సజాతీయ ఎపిటాక్సియల్ డైమండ్ ఫిల్మ్లను కూడా పొందారు.
(4) DC ప్లాస్మా CVD
డైమండ్ ఫిల్మ్ పెరుగుదల కోసం గ్యాస్ సోర్స్ను (సాధారణంగా H2 మరియు హైడ్రోకార్బన్ వాయువు మిశ్రమం) సక్రియం చేయడానికి DC ప్లాస్మా మరొక పద్ధతి. DC ప్లాస్మా-సహాయక CVD డైమండ్ ఫిల్మ్ల యొక్క పెద్ద ప్రాంతాలను పెంచే సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు వృద్ధి ప్రాంతం యొక్క పరిమాణం ఎలక్ట్రోడ్ల పరిమాణం మరియు DC విద్యుత్ సరఫరా ద్వారా మాత్రమే పరిమితం చేయబడింది. DC ప్లాస్మా-సహాయక CVD యొక్క మరొక ప్రయోజనం ఏమిటంటే DC ఇంజెక్షన్ ఏర్పడటం మరియు ఈ వ్యవస్థ ద్వారా పొందిన సాధారణ డైమండ్ ఫిల్మ్లు 80 mm/h రేటుతో జమ చేయబడతాయి. అదనంగా, వివిధ DC ఆర్క్ పద్ధతులు అధిక నిక్షేపణ రేటు వద్ద వజ్రం కాని ఉపరితలాలపై అధిక-నాణ్యత గల డైమండ్ ఫిల్మ్లను జమ చేయగలవు కాబట్టి, అవి డైమండ్ ఫిల్మ్ల నిక్షేపణకు మార్కెట్ చేయగల పద్ధతిని అందిస్తాయి.
(5) ఎలక్ట్రాన్ సైక్లోట్రాన్ రెసొనెన్స్ మైక్రోవేవ్ ప్లాస్మా మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (ECR-MPECVD) ముందు వివరించిన DC ప్లాస్మా, RF ప్లాస్మా మరియు మైక్రోవేవ్ ప్లాస్మా అన్నీ H2 లేదా హైడ్రోకార్బన్లను అణు హైడ్రోజన్ మరియు కార్బన్-హైడ్రోజన్ అణువు సమూహాలుగా విడదీసి కుళ్ళిపోతాయి, తద్వారా డైమండ్ సన్నని ఫిల్మ్ల ఏర్పాటుకు దోహదం చేస్తాయి. ఎలక్ట్రాన్ సైక్లోట్రాన్ రెసొనెన్స్ ప్లాస్మా అధిక సాంద్రత కలిగిన ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేయగలదు కాబట్టి (> 1x1011cm-3), ECR-MPECVD డైమండ్ ఫిల్మ్ల పెరుగుదల మరియు నిక్షేపణకు మరింత అనుకూలంగా ఉంటుంది. అయితే, ECR ప్రక్రియలో ఉపయోగించే తక్కువ వాయువు పీడనం (10-4- నుండి 10-2 టోర్) కారణంగా, దీని ఫలితంగా డైమండ్ ఫిల్మ్ల తక్కువ నిక్షేపణ రేటు ఏర్పడుతుంది, ఈ పద్ధతి ప్రస్తుతం ప్రయోగశాలలో డైమండ్ ఫిల్మ్ల నిక్షేపణకు మాత్రమే అనుకూలంగా ఉంటుంది.
–ఈ వ్యాసం వాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారు గ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా ద్వారా విడుదల చేయబడింది.
పోస్ట్ సమయం: జూన్-19-2024