பொதுவாக CVD எதிர்வினைகள் அதிக வெப்பநிலையைச் சார்ந்துள்ளன, எனவே இது வெப்பமாக உற்சாகப்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு (TCVD) என்று அழைக்கப்படுகிறது. இது பொதுவாக கனிம முன்னோடிகளைப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் சூடான-சுவர் மற்றும் குளிர்-சுவர் உலைகளில் செய்யப்படுகிறது. அதன் வெப்ப முறைகளில் ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) வெப்பமாக்கல், அகச்சிவப்பு கதிர்வீச்சு வெப்பமாக்கல், எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் போன்றவை அடங்கும்.
சூடான சுவர் வேதியியல் நீராவி படிவு
உண்மையில், சூடான-சுவர் வேதியியல் நீராவி படிவு உலை என்பது ஒரு தெர்மோஸ்டாடிக் உலை ஆகும், இது பொதுவாக இடைப்பட்ட உற்பத்திக்காக எதிர்ப்பு கூறுகளால் சூடேற்றப்படுகிறது. சிப் கருவி பூச்சுக்கான சூடான-சுவர் வேதியியல் நீராவி படிவு உற்பத்தி வசதியின் வரைபடம் பின்வருமாறு காட்டப்பட்டுள்ளது. இந்த சூடான-சுவர் வேதியியல் நீராவி படிவு TiN, TiC, TiCN மற்றும் பிற மெல்லிய படலங்களை பூசலாம். உலையை போதுமான அளவு பெரியதாக வடிவமைக்க முடியும், பின்னர் அதிக எண்ணிக்கையிலான கூறுகளை வைத்திருக்க முடியும், மேலும் படிவுக்கான நிலைமைகளை மிகவும் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தலாம். படம் 1 குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியின் சிலிக்கான் டோப்பிங்கிற்கான ஒரு எபிடாக்சியல் அடுக்கு சாதனத்தைக் காட்டுகிறது. துகள்களால் படிவு மேற்பரப்பு மாசுபடுவதைக் குறைக்கவும், உற்பத்தி ஏற்றுதலை பெரிதும் அதிகரிக்கவும் உலையில் உள்ள அடி மூலக்கூறு செங்குத்து திசையில் வைக்கப்படுகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான சூடான-சுவர் உலைகள் பொதுவாக குறைந்த அழுத்தங்களில் இயக்கப்படுகின்றன.
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-08-2022