1. அயன் கற்றை தெளித்தல் பூச்சு
பொருளின் மேற்பரப்பு ஒரு நடுத்தர ஆற்றல் அயனி கற்றை மூலம் தாக்கப்படுகிறது, மேலும் அயனிகளின் ஆற்றல் பொருளின் படிக லட்டியில் நுழையாது, ஆனால் இலக்கு அணுக்களுக்கு ஆற்றலை மாற்றுகிறது, இதனால் அவை பொருளின் மேற்பரப்பில் இருந்து விலகிச் சென்று, பின்னர் பணிப்பொருளில் படிவதன் மூலம் ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன. அயன் கற்றையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் தெளிப்பு காரணமாக, தெளிக்கப்பட்ட படல அடுக்கு அணுக்களின் ஆற்றல் மிக அதிகமாக உள்ளது, மேலும் இலக்கு பொருள் அதிக வெற்றிடத்தில் அயன் கற்றை மூலம் தாக்கப்படுகிறது, பட அடுக்கின் தூய்மை அதிகமாக உள்ளது, மேலும் உயர்தர படலங்களை டெபாசிட் செய்ய முடியும், அதே நேரத்தில் அயன் கற்றை பட அடுக்கின் நிலைத்தன்மை மேம்படுத்தப்படுகிறது, இது பட அடுக்கின் ஒளியியல் மற்றும் இயந்திர பண்புகளை மேம்படுத்தும் நோக்கத்தை அடைய முடியும். அயன் கற்றை தெளிப்பின் நோக்கம் புதிய மெல்லிய படலப் பொருட்களை உருவாக்குவதாகும்.
2. அயன் கற்றை பொறித்தல்
அயன் கற்றை பொறித்தல் என்பது பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒரு நடுத்தர ஆற்றல் அயன் கற்றை தாக்குதலாகும், இது அடி மூலக்கூறில் தெளித்தல், பொறித்தல் விளைவை உருவாக்குகிறது, இது ஒரு குறைக்கடத்தி சாதனம், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் மற்றும் கிராபிக்ஸ் கோர் தொழில்நுட்பத்தின் உற்பத்தியின் பிற பகுதிகள். குறைக்கடத்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் சில்லுகளுக்கான தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம் Φ12in (Φ304.8 மிமீ) விட்டம் கொண்ட ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் வேஃபரில் மில்லியன் கணக்கான டிரான்சிஸ்டர்களைத் தயாரிப்பதை உள்ளடக்கியது. ஒவ்வொரு டிரான்சிஸ்டரும் ஒரு செயலில் உள்ள அடுக்கு, ஒரு காப்பு அடுக்கு, ஒரு தனிமைப்படுத்தும் அடுக்கு மற்றும் ஒரு கடத்தும் அடுக்கு ஆகியவற்றைக் கொண்ட பல்வேறு செயல்பாடுகளைக் கொண்ட மெல்லிய படலங்களின் பல அடுக்குகளிலிருந்து கட்டமைக்கப்படுகிறது. ஒவ்வொரு செயல்பாட்டு அடுக்குக்கும் அதன் சொந்த வடிவம் உள்ளது, எனவே செயல்பாட்டு படத்தின் ஒவ்வொரு அடுக்கு பூசப்பட்ட பிறகு, பயனற்ற பாகங்களை ஒரு அயன் கற்றை மூலம் பொறிக்க வேண்டும், இதனால் பயனுள்ள படக் கூறுகள் அப்படியே இருக்கும். இப்போதெல்லாம், சிப்பின் கம்பி அகலம் 7 மிமீ எட்டியுள்ளது, மேலும் அத்தகைய நுண்ணிய வடிவத்தைத் தயாரிக்க அயன் கற்றை பொறித்தல் அவசியம். அயன் கற்றை பொறித்தல் என்பது ஆரம்பத்தில் பயன்படுத்தப்பட்ட ஈரமான பொறித்தல் முறையுடன் ஒப்பிடும்போது அதிக பொறித்தல் துல்லியத்துடன் கூடிய உலர் பொறித்தல் முறையாகும்.
செயலற்ற அயன் கற்றை பொறித்தல் மற்றும் இரண்டு வகையான செயலில் உள்ள அயன் கற்றை பொறித்தல் கொண்ட அயன் கற்றை பொறித்தல் தொழில்நுட்பம். ஆர்கான் அயன் கற்றை பொறித்தல் கொண்ட முந்தையது, இயற்பியல் வினையைச் சேர்ந்தது; பிந்தையது ஃப்ளோரின் அயன் கற்றை தெளிப்புடன், அதிக ஆற்றலுடன் கூடுதலாக ஃப்ளோரின் அயன் கற்றை டிராம்பின் பங்கை உருவாக்குகிறது, ஃப்ளோரின் அயன் கற்றை SiO உடன் பொறிக்கப்படலாம்.2、ஐ3N4、GaAs、W மற்றும் பிற மெல்லிய படலங்கள் ஒரு வேதியியல் எதிர்வினையைக் கொண்டுள்ளன, இது இயற்பியல் எதிர்வினை செயல்முறையாகும், ஆனால் அயன் கற்றை பொறித்தல் தொழில்நுட்பத்தின் வேதியியல் எதிர்வினை செயல்முறையும் கூட, பொறித்தல் விகிதம் வேகமானது. எதிர்வினை பொறித்தல் அரிக்கும் வாயுக்கள் CF ஆகும்4, சி2F6、CCl4、BCl3, முதலியன, SiF க்கான உருவாக்கப்பட்ட வினைபடுபொருட்கள்4、SiCl4ஜி.சி.எல்.3;、மற்றும் WF6 அரிக்கும் வாயுக்கள் பிரித்தெடுக்கப்படுகின்றன. அயன் கற்றை பொறித்தல் தொழில்நுட்பம் உயர் தொழில்நுட்ப தயாரிப்புகளை உற்பத்தி செய்வதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும்.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: அக்டோபர்-24-2023