Kunyunyiza ni jambo ambalo chembe chembe chembe chanya (kawaida ioni chanya za gesi) hugonga uso wa kitu kigumu (chini kinachoitwa nyenzo inayolengwa), na kusababisha atomi (au molekuli) kwenye uso wa nyenzo inayolengwa kutoroka kutoka kwayo.
Jambo hili liligunduliwa na Grove mnamo 1842 wakati nyenzo za cathode zilihamishiwa kwenye ukuta wa bomba la utupu wakati wa majaribio ya kusoma kutu ya cathodi. Njia hii ya sputtering katika utuaji substrate ya filamu nyembamba iligunduliwa mwaka 1877, kutokana na kutumia njia hii utuaji wa filamu nyembamba katika hatua za mwanzo za kiwango sputtering ni ya chini, polepole filamu kasi, lazima kuanzisha katika kifaa cha shinikizo la juu na kupita katika gesi affective na mengine mfululizo wa matatizo, hivyo maendeleo ni polepole sana na karibu kuondolewa katika metali tendaji, refracious chuma tu, tendaji. dielectrics, na misombo ya kemikali, vifaa kwenye idadi ndogo ya maombi. Hadi miaka ya 1970, kutokana na kuibuka kwa teknolojia ya magnetron sputtering, mipako sputtering imekuwa haraka maendeleo, ilianza kuingia uamsho wa barabara. Hii ni kwa sababu njia ya sumaku ya sumaku inaweza kuzuiwa na uwanja wa sumaku-umeme wa orthogonal kwenye elektroni, na kuongeza uwezekano wa mgongano wa elektroni na molekuli za gesi, sio tu kupunguza voltage iliyoongezwa kwenye cathode, na kuboresha kiwango cha sputtering ya ions chanya kwenye cathode inayolengwa, kupunguza uwezekano wa elektroni kwenye safu ya chini ya joto, kupunguza uwezekano wa elektroni na kupunguza joto. "kasi ya juu, joto la chini Sifa kuu mbili za "kasi ya juu na joto la chini".
Hadi miaka ya 1980, ingawa ilionekana miaka kadhaa tu, inasimama nje kutoka kwa maabara, kwa kweli katika uwanja wa uzalishaji wa wingi wa viwanda. Pamoja na maendeleo zaidi ya sayansi na teknolojia, katika miaka ya hivi karibuni katika uwanja wa sputtering mipako na kuanzishwa kwa ion boriti kuimarishwa sputtering, matumizi ya boriti pana ya chanzo ioni nguvu ya sasa pamoja na modulering magnetic shamba, na kwa mchanganyiko wa kawaida dipole sputtering linajumuisha sputtering mode mpya; na itakuwa ni utangulizi wa usambazaji wa umeme wa masafa ya kati kwa chanzo kinacholengwa cha magnetron sputtering. Teknolojia hii ya kunyunyiza ya magnetron ya masafa ya kati ya AC, inayoitwa sputtering ya shabaha pacha, sio tu huondoa athari ya "kutoweka" ya anode, lakini pia hutatua tatizo la "sumu" la cathode, ambayo inaboresha sana utulivu wa sputtering ya magnetron, na hutoa msingi imara kwa ajili ya uzalishaji wa viwanda wa filamu nyembamba za kiwanja. Hii imeboresha sana utulivu wa magnetron sputtering na kutoa msingi imara kwa ajili ya uzalishaji wa viwandani wa filamu nyembamba za kiwanja. Katika miaka ya hivi karibuni, sputtering mipako imekuwa moto kujitokeza filamu maandalizi teknolojia, kazi katika uwanja wa teknolojia ya utupu mipako.
- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa kutuma: Dec-05-2023