Ion boriti sputtering mipako na ion boriti etching

1. Ion boriti sputtering mipako

Uso wa nyenzo hupigwa na boriti ya ioni ya nishati ya kati, na nishati ya ioni haiingii kwenye kimiani ya kioo ya nyenzo, lakini kuhamisha nishati kwa atomi zinazolengwa, na kuzifanya zitoke mbali na uso wa nyenzo, na kisha kuunda filamu nyembamba kwa utuaji kwenye sehemu ya kazi. Kwa sababu ya sputtering inayozalishwa na boriti ya ioni, nishati ya atomi ya safu ya filamu iliyopigwa ni ya juu sana, na nyenzo inayolengwa inapigwa na boriti ya ioni katika utupu wa juu, usafi wa safu ya filamu ni ya juu, na filamu za ubora wa juu zinaweza kuwekwa, wakati uimara wa safu ya filamu ya boriti ya ion inaboreshwa, ambayo inaweza kufikia lengo la optical na kuboresha filamu. Madhumuni ya kunyunyiza boriti ya ion ni kuunda nyenzo mpya za filamu nyembamba.

2. Kuchora boriti ya ion

Ion boriti etching pia ni kati-nishati ion boriti boriti ya uso wa nyenzo kuzalisha sputtering, etching athari kwenye substrate, ni kifaa semiconductor, vifaa optoelectronic na maeneo mengine ya uzalishaji wa teknolojia graphics msingi. Teknolojia ya utayarishaji wa chips katika mizunguko iliyounganishwa ya semiconductor inahusisha utayarishaji wa mamilioni ya transistors kwenye kaki ya silicon ya fuwele yenye kipenyo cha Φ12in (Φ304.8mm). Kila transistor inajengwa kutoka kwa tabaka nyingi za filamu nyembamba na kazi tofauti, inayojumuisha safu ya kazi, safu ya kuhami joto, safu ya kutengwa, na safu ya conductive. Kila safu ya kazi ina muundo wake, kwa hiyo baada ya kila safu ya filamu inayofanya kazi kupandwa, sehemu zisizo na maana zinahitajika kuunganishwa na boriti ya ioni, na kuacha vipengele vya filamu muhimu. Siku hizi, upana wa waya wa chip umefikia 7mm, na etching ya boriti ya ion ni muhimu kuandaa muundo mzuri kama huo. Uwekaji wa boriti ya Ion ni mbinu kikavu ya kudondosha yenye usahihi wa juu wa udondoshaji ikilinganishwa na mbinu ya uwekaji unyevu iliyotumiwa hapo mwanzo.

Teknolojia ya kuweka boriti ya ion na uwekaji wa boriti ya ioni isiyotumika na uwekaji wa boriti ya ioni amilifu na aina mbili. zamani na etching argon ion boriti, ni mali ya mmenyuko kimwili; mwisho na florini ioni sputtering boriti, florini ioni boriti pamoja na nishati ya juu ya kuzalisha jukumu la jambazi, florini ion boriti pia inaweza etched na SiO.₂, Si₃N4, GaAs, W na filamu nyingine nyembamba zina mmenyuko wa kemikali, ni mchakato wa mmenyuko wa kimwili, lakini pia mchakato wa mmenyuko wa kemikali wa teknolojia ya etching ya boriti ya ion, kiwango cha etching ni haraka. Gesi babuzi za mmenyuko ni CF₄, C₂F₆、CCl4、BCl₃, n.k., viitikio vilivyotolewa vya SiF₄, SiCl₄, GCl₃;, na WF₆ gesi babuzi hutolewa. Teknolojia ya kuweka boriti ya ion ni teknolojia muhimu ya kutengeneza bidhaa za hali ya juu.

- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua