Vakuumutvinning är också känt som "vakuumpumpning", vilket hänvisar till användningen av olika vakuumpumpar för att avlägsna luften inuti behållaren, så att trycket inuti utrymmet sjunker till under en atmosfär. För närvarande, för att uppnå vakuum, används vanliga anordningar som roterande lamellvakuumpumpar, rotpumpar, oljediffusionspumpar, kompositmolekylära pumpar, molekylsiktsadsorptionspumpar, titansublimeringspumpar, sputterjonpumpar och kryogena pumpar och så vidare. I dessa pumpar kategoriseras de fyra första pumparna som gasöverföringspumpar (överföringsvakuumpumpar), vilket innebär att gasmolekylerna kontinuerligt sugs in i vakuumpumpen och släpps ut i den yttre miljön för att genomföra evakueringen; de fyra sista pumparna kategoriseras som gasinfångningspumpar (infångningsvakuumpumpar), vilka är molekylärt kondenserade eller kemiskt bundna på pumpkammarens innervägg för att uppnå det erforderliga vakuumet. Gasinfångningspumpar kallas också oljefria vakuumpumpar eftersom de inte använder olja som arbetsmedium. Till skillnad från överföringspumpar, som permanent avlägsnar gasen, är vissa infångningspumpar reversibla, vilket gör att den uppsamlade eller kondenserade gasen kan släppas ut tillbaka i systemet under uppvärmningsprocessen.
Överföringsvakuumpumpar delas in i två huvudkategorier: volumetriska och momentumöverföringspumpar. Volumetriska överföringspumpar inkluderar vanligtvis mekaniska roterande lamellpumpar, vätskeringspumpar, kolvpumpar och rotpumpar; momentumöverföringsvakuumpumpar inkluderar vanligtvis molekylära pumpar, jetpumpar och oljediffusionspumpar. Infångningsvakuumpumpar inkluderar vanligtvis lågtemperaturadsorptions- och sputterjonpumpar.
Generellt sett skiljer sig beläggningsprocessen åt, vakuumnivåerna i vakuumbeläggningskammaren bör nå olika nivåer. Inom vakuumteknik används bakgrundsvakuumet (även känt som inneboende vakuum) för att uttrycka dess nivå. Bakgrundsvakuumet avser vakuumet i vakuumbeläggningskammaren genom vakuumpumpen för att möta beläggningsprocessens behov av det högsta vakuumet, och storleken på detta vakuum beror huvudsakligen på vakuumpumpkapaciteten. Det högsta vakuumet i vakuumbeläggningsrummet genom sitt vakuumsystem kallas gränsvakuum (eller gränstryck). Tabell 1-2 listar arbetstrycksområdet för några vanliga vakuumpumpar och det slutliga trycket som kan erhållas. De skuggade delarna av tabellen representerar de tryck som kan erhållas med varje vakuumpump när den används i kombination med annan utrustning.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 30 augusti 2024