Vakum meunangkeun ogé katelah "ngompa vakum", nu nujul kana pamakéan numput vakum béda pikeun miceun hawa di jero wadahna, ku kituna tekanan di jero rohangan pakait ka handap hiji atmosfir. Dina hadir, dina raraga neangan vakum jeung alat ilahar dipaké kaasup Rotary vane numput vakum mékanis, numput Akar, numput difusi minyak, numput molekul komposit, numput adsorption tabung molekular, numput sublimation titanium, sputtering pompa ion jeung numput cryogenic jeung saterusna. Dina pompa ieu, opat pompa munggaran anu categorized salaku pompa mindahkeun gas (mindahkeun pompa vakum), nu hartina molekul gas anu terus sedot kana pompa vakum sarta discharged ka lingkungan éksternal pikeun ngawujudkeun évakuasi; opat pompa panungtungan digolongkeun kana gas newak numput (newak numput vakum), nu molekular condensed atawa kimia kabeungkeut dina témbok jero chamber ngompa pikeun ménta vakum diperlukeun. Pompa néwak gas disebut ogé pompa vakum bébas minyak sabab henteu nganggo minyak salaku médium kerja. Beda sareng pompa transfer, anu ngaleungitkeun gas sacara permanén, sababaraha pompa newak tiasa dibalikkeun, ngamungkinkeun gas anu dikumpulkeun atanapi dikondensasikeun deui kana sistem nalika prosés pemanasan.
Pompa vakum mindahkeun dibagi jadi dua kategori utama: volumetric jeung mindahkeun moméntum. Pompa mindahkeun volumetrik biasana kalebet pompa mékanis vane Rotary, pompa ring cair, pompa reciprocating sareng pompa Akar; pompa vakum mindahkeun moméntum biasana ngawengku pompa molekular, pompa jet, pompa difusi minyak. Pompa vakum nangkep biasana kalebet adsorpsi suhu rendah sareng pompa ion sputtering.
Sacara umum, prosés palapis mah béda, vakum palapis chamber vakum kedah ngahontal tingkat béda, sarta dina téhnologi vakum, leuwih kana vakum tukang (ogé katelah vakum intrinsik) pikeun nganyatakeun tingkat na. The vakum tukang nujul kana vakum tina chamber palapis vakum ngaliwatan pompa vakum pikeun minuhan kaperluan prosés palapis tina vakum pangluhurna, sarta ukuran vakum ieu, utamana gumantung kapasitas vakum ngompa. Ruang palapis vakum ku vakum sistem vakum na bisa ngahontal vakum pangluhurna disebut vakum wates (atawa tekanan wates). Méja 1-2 daptar rentang tekanan gawé sababaraha pompa vakum umum jeung tekanan pamungkas nu bisa diala. Bagéan tabel anu diwarnaan ngagambarkeun tekanan anu tiasa didapet ku unggal pompa vakum nalika dianggo digabungkeun sareng alat anu sanés.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Aug-30-2024