Распршивање је феномен у којем енергетске честице (обично позитивни јони гасова) ударају у површину чврсте материје (у наставку назване циљни материјал), узрокујући да атоми (или молекули) на површини циљног материјала излазе из њега.
Овај феномен је открио Гроув 1842. године када је материјал катоде премештен на зид вакуумске цеви током експеримента за проучавање катодне корозије. Ова метода распршивања у таложењу танких филмова на подлози откривена је 1877. године. Због коришћења ове методе таложења танких филмова у раним фазама, брзина распршивања је ниска, брзина филма мала, потребно је подесити уређај под високим притиском и проћи у афективни гас и друге низове проблема, па је развој веома спор и готово елиминисан, само у хемијски реактивним племенитим металима, ватросталним металима, диелектрицима и хемијским једињењима, материјалима, у малом броју примена. До 1970-их, због појаве магнетронске технологије распршивања, распршивање премаза се брзо развијало, почевши да улази у оживљавање пута. То је зато што метод магнетронског распршивања може бити ограничен ортогоналним електромагнетним пољем на електронима, повећавајући вероватноћу судара електрона и молекула гаса, не само да смањује напон који се додаје катоди, већ побољшава брзину распршивања позитивних јона на циљној катоди, смањујући вероватноћу бомбардовања подлоге електронима, чиме се смањује њена температура, са „великом брзином, ниском температуром“ две главне карактеристике „велике брзине и ниске температуре“.
До 1980-их, иако се појавило само пре дванаест година, издваја се из лабораторије, заиста у област индустријске масовне производње. Са даљим развојем науке и технологије, последњих година у области распршивања премаза и увођењем распршивања побољшаног јонским снопом, коришћење широког снопа јаке струје јонског извора у комбинацији са модулацијом магнетног поља, и са комбинацијом конвенционалног диполног распршивања састављеног од новог режима распршивања; и биће уведено напајање средњефреквентном наизменичном струјом за извор магнетронског распршивања мете. Ова технологија магнетронског распршивања средње фреквентне наизменичне струје, названа распршивање двоструке мете, не само да елиминише ефекат „нестанка“ аноде, већ и решава проблем „тровања“ катоде, што значајно побољшава стабилност магнетронског распршивања и пружа солидну основу за индустријску производњу танких слојева. Ово је значајно побољшало стабилност магнетронског распршивања и пружило солидну основу за индустријску производњу танких слојева. Последњих година, распршивање је постало врућа технологија за припрему филмова, активна у области технологије вакуумског премазивања.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 05.12.2023.