Премазивање распршивањем јонским снопом и нагризање јонским снопом

1. Премаз распршивањем јонским снопом

Површина материјала се бомбардује јонским снопом средње енергије, при чему енергија јона не улази у кристалну решетку материјала, већ преноси енергију на циљне атоме, узрокујући њихово распршивање са површине материјала, а затим формирање танког филма таложењем на радном предмету. Због распршивања које производи јонски сноп, енергија атома распршеног слоја филма је веома висока, а циљни материјал се бомбардује јонским снопом у високом вакууму, чистоћа слоја филма је висока и могу се таложити висококвалитетни филмови, док се стабилност слоја филма јонског снопа побољшава, што може постићи циљ побољшања оптичких и механичких својстава слоја филма. Сврха распршивања јонским снопом је формирање нових танкослојних материјала.

2. Нагризање јонским снопом

Нагризање јонским снопом је такође бомбардовање површине материјала јонским снопом средње енергије ради стварања распршивања, ефекта нагризања на подлогу, што је производња полупроводничких уређаја, оптоелектронских уређаја и других области технологије графичких језгара. Технологија припреме чипова у полупроводничким интегрисаним колима укључује припрему милиона транзистора на монокристалној силицијумској плочици пречника Φ12 инча (Φ304,8 мм). Сваки транзистор је конструисан од више слојева танких филмова са различитим функцијама, који се састоје од активног слоја, изолационог слоја, изолационог слоја и проводног слоја. Сваки функционални слој има свој образац, тако да након што се сваки слој функционалног филма нанесе, бескорисни делови морају бити нагризани јонским снопом, остављајући корисне компоненте филма нетакнутим. Данас је ширина жице чипа достигла 7 мм, а нагризање јонским снопом је неопходно за припрему тако финог узорка. Нагризање јонским снопом је метода сувог нагризања са високом тачношћу нагризања у поређењу са методом влажног нагризања која се користила у почетку.

Технологија нагризања јонским снопом укључује две врсте нагризања: неактивно нагризање јонским снопом и активно нагризање јонским снопом. Прво, нагризање јонским снопом аргона, припада физичкој реакцији; друго, распршивање јонским снопом флуора, где јонски сноп флуора поред високе енергије ствара улогу трампа, а јонски сноп флуора може се нагризати и са SiO2.₂Си₃N4, GaAs, W и други танки филмови имају хемијску реакцију, то је и физички процес реакције, али и хемијски процес технологије нагризања јонским снопом, брзина нагризања је велика. Корозивни гасови реакционог нагризања су CF.₄Ц₂F₆CCl4, BCl₃итд., генерисани реактанти за SiF₄SiCl₄GCl₃и ВФ₆ се екстрахују корозивни гасови. Технологија нагризања јонским снопом је кључна технологија за производњу високотехнолошких производа.

–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа