3 sputtering, gaar ahaan haddii plazma ka kooban yahay argon. Capacitively la isku daray balasma kuma habboona koritaanka filimada dheeman tayo sare leh tan iyo bombardment ka plazma waxay keeni kartaa dhaawac daran oo dheeman. Aflaanta dheemanka polycrystalline ayaa lagu koray iyadoo la adeegsanayo balasmaha RF ee hoos yimaada xaaladaha kaydinta ee la midka ah balasmaha microwave CVD. Filimada dheemanka ee isku midka ah ayaa sidoo kale la helay iyadoo la adeegsanayo RF-ku-abuuray balaasmaha CVD.
(4) DC Plasma CVD
Plasma DC waa hab kale oo lagu dhaqaajiyo ilaha gaaska (guud ahaan isku dhafka H2, iyo gaaska hydrocarbon) ee koritaanka filimka dheeman.DC plasma-caawiyay CVD waxay awood u leedahay in ay koraan meelo badan oo filimo dheeman ah, iyo xajmiga aagga kobaca ayaa xaddidan oo kaliya cabbirka elektiroonigga iyo korontada DC. Faa'iidada kale ee DC Plasma-caawin CVD waa samaynta nidaamka dheemanka caadiga ah ee DC8 ayaa la helay dheemanka caadiga ah ee DC8. mm/h Intaa waxaa dheer, maadaama hababka kala duwan ee DC arc ay ku dhejin karaan filimyo dheeman ah oo tayo sare leh oo ku saabsan substrate-ka aan dheemanka ahayn ee heerarka sare ee dhigaalka, waxay bixiyaan hab suuq-geyn ah oo loogu talagalay dhigista filimada dheeman.
(5) Electron cyclotron resonance microwave plasma wanaajiyay kayd kiimikaad kiimikaad ah (ECR-MPECVD) Plasma DC, RF balasmaha, iyo balasmaha mikrowave ayaa horay loogu sifeeyay dhammaan kala-baxa iyo baaba'a H2, ama hydrocarbons, galay hydrogen iyo kaarboon-hydrogen atomi kooxaha, taas oo ka qayb qaadanaysa samaynta filimada khafiifka ah dheeman. Tan iyo plasma resonance resonance electron cyclotron soo saari kartaa Plasma cufnaanta sare (> 1x1011cm-3), ECR-MPECVD aad ugu habboon koritaanka iyo dhigista filimada dheeman. Si kastaba ha ahaatee, ay sabab u tahay cadaadiska gaaska hooseeya (10-4- ilaa 10-2 Torr) ee loo isticmaalo habka ECR, taas oo keenta in heerka meelaynta hoose ee dheeman ee filimada dheeman ee hadda ku haboon yahay habka filimka.
-Maqaalkan waxaa sii daayay soo saaraha mashiinka daahan vacuum Guangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Juun-19-2024